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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2018-12-06 17:10 III-V/Siハイブリッド光集積回路に向けたチップオンウェーハプラズマ活性化接合の検討 ○白 柳（東工大）・菊地健彦（住友電工）・御手洗拓矢・西山伸彦（東工大）・八木英樹（住友電工）・雨宮智宏・荒井滋久（東工大）  OPE2018-127 LQE2018-137 SIPH2018-43 エレソ技報アーカイブへのリンク：OPE2018-127 LQE2018-137 |
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| 抄録 | （和） | (まだ登録されていません) |
| （英） | (Not available yet) | |
| キーワード | （和） | ハイブリッド / 光集積回路 / チップオンウェーハ / プラズマ活性化接合 / フォトルミネッセンス / 応力 / / |
| （英） | Hybrid / Photonic Integrated Circuits / Chip-on-Wafer / Plasma Activated Bonding / photoluminescence / stress / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 118, no. 348, OPE2018-127, pp. 149-153, 2018年12月. | |
| 資料番号 | OPE2018-127 | |
| 発行日 | 2018-11-29 (OPE, LQE) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | OPE2018-127 LQE2018-137 SIPH2018-43 エレソ技報アーカイブへのリンク：OPE2018-127 LQE2018-137 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | LQE OPE SIPH |
| 開催期間 | 2018-12-06 - 2018-12-07 |
| 開催地（和） | 慶應義塾大学 |
| 開催地（英） | Keio University |
| テーマ（和） | Photonic Device Workshop (半導体レーザ関連技術, パッシブデバイス技術, シリコンフォトニクス) |
| テーマ（英） | Photonic Device Workshop |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | OPE |
| 会議コード | 2018-12-LQE-OPE-SIPH |
| 本文の言語 | 英語（日本語タイトルあり） |
| タイトル（和） | III-V/Siハイブリッド光集積回路に向けたチップオンウェーハプラズマ活性化接合の検討 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Examination of Chip-on-Wafer Plasma Activated Bonding Technology for III-V on Si hybrid Photonic Integrated Circuits |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | ハイブリッド / Hybrid |
| キーワード(2)（和/英） | 光集積回路 / Photonic Integrated Circuits |
| キーワード(3)（和/英） | チップオンウェーハ / Chip-on-Wafer |
| キーワード(4)（和/英） | プラズマ活性化接合 / Plasma Activated Bonding |
| キーワード(5)（和/英） | フォトルミネッセンス / photoluminescence |
| キーワード(6)（和/英） | 応力 / stress |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 白 柳 / LIU BAI / |
| 第1著者 所属（和/英） | 東京工業大学 (略称： 東工大) Tokyo Institute of Technology (略称： Tokyo Tech) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 菊地 健彦 / Takehiko Kikuchi / キクチ タケヒコ |
| 第2著者 所属（和/英） | 住友電気工業株式会社 (略称： 住友電工) Sumitomo Electric Industries, Ltd (略称： SEI) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 御手洗 拓矢 / Takuya Mitarai / ミタライ タクヤ |
| 第3著者 所属（和/英） | 東京工業大学 (略称： 東工大) Tokyo Institute of Technology (略称： Tokyo Tech) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 西山 伸彦 / Nobuhiko Nishiyama / ニシヤマ ノブヒコ |
| 第4著者 所属（和/英） | 東京工業大学 (略称： 東工大) Tokyo Institute of Technology (略称： Tokyo Tech) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 八木 英樹 / Hideki Yagi / ヤギ ヒデキ |
| 第5著者 所属（和/英） | 住友電気工業株式会社 (略称： 住友電工) Sumitomo Electric Industries, Ltd (略称： SEI) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 雨宮 智宏 / Tomohiro Amemiya / アメミヤ トモヒロ |
| 第6著者 所属（和/英） | 東京工業大学 (略称： 東工大) Tokyo Institute of Technology (略称： Tokyo Tech) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） | 荒井 滋久 / Shigehisa Arai / アライ シゲヒサ |
| 第7著者 所属（和/英） | 東京工業大学 (略称： 東工大) Tokyo Institute of Technology (略称： Tokyo Tech) |
| 第8著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2018-12-06 17:10:00 |
| 発表時間 | 80分 |
| 申込先研究会 | OPE |
| 資料番号 | OPE2018-127, LQE2018-137, SIPH2018-43 |
| 巻番号（vol） | vol.118 |
| 号番号（no） | no.348(OPE), no.349(LQE) |
| ページ範囲 | pp.149-153 |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | 2018-11-29 (OPE, LQE) |
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