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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2019-02-28 14:40 電子顕微鏡を利用した塗布型磁性ガーネット膜の表面観察 ○中筋大樹・船木佑也・嶋本紘己・板谷年也（鈴鹿高専）・西本光佑・中村雄一・内田裕久（豊橋技科大）・橋本良介（鈴鹿高専）  CPM2018-106 エレソ技報アーカイブへのリンク：CPM2018-106 |
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| 抄録 | （和） | 磁気光学イメージングは高空間分解能な非破壊検査手法として着目されている．しかし，先行研究ではセンサの材料である磁性ガーネット薄膜をスパッタ法により成膜していたため，成膜後に700℃程度の温度で結晶化熱処理が必要であった．したがって，成膜基板には耐熱性に優れる単結晶基板を利用していたため，センサのフレキシブル化が難しいという課題がある．本研究は，フレキシブルなセンサの作製手法として塗布法に着目し，ある程度の曲率を有する強磁性金属表面の磁気光学イメージングのためのセンサを開発することが目的である．本発表では，塗布したセンサ膜の表面を，電子顕微鏡を用いて観察した結果について報告する． |
| （英） | Magneto-optical (MO) imaging is a useful non-destructive testing method that can visualize defect two-dimensionally with high spatial resolution. However, in our previous work, crystalized annealing at the temperature of approximately 700 degree was necessary after sputtering because a MO sensor was deposited by the ion beam sputtering method. Therefore, it was not able to deal with the curved surface of measuring objects, i.e. the testing was limited to the flat surface of that. In this study, we focused on the spin-on prosecco in order to deposit magnetic iron garnet film on the flexible substrate, and we observed surface conditions of prepared film using by the scanning electron microscope. | |
| キーワード | （和） | 磁気光学効果 / 磁気光学イメージング / 磁性ガーネット / 非破壊検査 / / / / |
| （英） | Magneto-ptical effect / Magneto-optical imaging / Magnetic iron garnet / Non-destructive testing / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 118, no. 461, CPM2018-106, pp. 23-25, 2019年2月. | |
| 資料番号 | CPM2018-106 | |
| 発行日 | 2019-02-21 (CPM) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | CPM2018-106 エレソ技報アーカイブへのリンク：CPM2018-106 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
| 開催期間 | 2019-02-28 - 2019-03-01 |
| 開催地（和） | 電通大 |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 若手ミーティング |
| テーマ（英） | Young Researcher's Conference |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | CPM |
| 会議コード | 2019-02-CPM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 電子顕微鏡を利用した塗布型磁性ガーネット膜の表面観察 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Surface observation of coating iron garnet film using by the Scanning Electron Microscope |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 磁気光学効果 / Magneto-ptical effect |
| キーワード(2)（和/英） | 磁気光学イメージング / Magneto-optical imaging |
| キーワード(3)（和/英） | 磁性ガーネット / Magnetic iron garnet |
| キーワード(4)（和/英） | 非破壊検査 / Non-destructive testing |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 中筋 大樹 / Daiki Nakasuji / ナカスジ ダイキ |
| 第1著者 所属（和/英） | 鈴鹿工業高等専門学校 (略称： 鈴鹿高専) National Institute of Technology, Suzuka College (略称： SNIT) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 船木 佑也 / Yuya Funaki / フナキ ユウヤ |
| 第2著者 所属（和/英） | 鈴鹿工業高等専門学校 (略称： 鈴鹿高専) National Institute of Technology, Suzuka College (略称： SNIT) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 嶋本 紘己 / Hiroki Shimamoto / シマモト ヒロキ |
| 第3著者 所属（和/英） | 鈴鹿工業高等専門学校 (略称： 鈴鹿高専) National Institute of Technology, Suzuka College (略称： SNIT) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 板谷 年也 / Toshiya Itaya / イタヤ トシヤ |
| 第4著者 所属（和/英） | 鈴鹿工業高等専門学校 (略称： 鈴鹿高専) National Institute of Technology, Suzuka College (略称： SNIT) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 西本 光佑 / Kousuke Nishimoto / ニシモト コウスケ |
| 第5著者 所属（和/英） | 豊橋技術科学大学 (略称： 豊橋技科大) Toyohashi University of Technology (略称： TUT) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 中村 雄一 / Yuichi Nakamura / ナカムラ ユウイチ |
| 第6著者 所属（和/英） | 豊橋技術科学大学 (略称： 豊橋技科大) Toyohashi University of Technology (略称： TUT) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） | 内田 裕久 / Hironaga Uchida / ウチダ ヒロナガ |
| 第7著者 所属（和/英） | 豊橋技術科学大学 (略称： 豊橋技科大) Toyohashi University of Technology (略称： TUT) |
| 第8著者 氏名（和/英/ヨミ） | 橋本 良介 / Ryosuke Hashimoto / ハシモト リョウスケ |
| 第8著者 所属（和/英） | 鈴鹿工業高等専門学校 (略称： 鈴鹿高専) National Institute of Technology, Suzuka College (略称： SNIT) |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2019-02-28 14:40:00 |
| 発表時間 | 15分 |
| 申込先研究会 | CPM |
| 資料番号 | CPM2018-106 |
| 巻番号（vol） | vol.118 |
| 号番号（no） | no.461 |
| ページ範囲 | pp.23-25 |
| ページ数 | 3 |
| 発行日 | 2019-02-21 (CPM) |
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