講演抄録/キーワード |
講演名 |
2019-05-17 09:15
アクティブスクリーンプラズマによる窒化とその表面構造解析 ○市村 進・高島成剛(名古屋産業振興公社)・水流一平・大久保大地・松尾英明・後藤峰男(中日本炉工業) ED2019-20 CPM2019-11 SDM2019-18 エレソ技報アーカイブへのリンク:ED2019-20 CPM2019-11 SDM2019-18 |
抄録 |
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キーワード |
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文献情報 |
信学技報, vol. 119, no. 35, CPM2019-11, pp. 47-52, 2019年5月. |
資料番号 |
CPM2019-11 |
発行日 |
2019-05-09 (ED, CPM, SDM) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
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研究会情報 |
研究会 |
SDM ED CPM |
開催期間 |
2019-05-16 - 2019-05-17 |
開催地(和) |
静岡大学(浜松) |
開催地(英) |
Shizuoka Univ. (Hamamatsu) |
テーマ(和) |
機能性デバイス材料・作製・特性評価および関連技術 |
テーマ(英) |
Materials, Fabrication, and Characterization of Functional Devices, and Related Technology |
講演論文情報の詳細 |
申込み研究会 |
CPM |
会議コード |
2019-05-SDM-ED-CPM |
本文の言語 |
日本語 |
タイトル(和) |
アクティブスクリーンプラズマによる窒化とその表面構造解析 |
サブタイトル(和) |
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タイトル(英) |
Nitriding by active screen plasma and its surface structure analysis |
サブタイトル(英) |
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第1著者 氏名(和/英/ヨミ) |
市村 進 / Susumu Ichimura / イチムラ ススム |
第1著者 所属(和/英) |
公益財団法人 名古屋産業振興公社 (略称: 名古屋産業振興公社)
Nagoya Industries Promotion Corporation (略称: Nagoya Industries Promotion Corporation) |
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) |
高島 成剛 / Seigo Takashima / タカシマ セイゴ |
第2著者 所属(和/英) |
公益財団法人 名古屋産業振興公社 (略称: 名古屋産業振興公社)
Nagoya Industries Promotion Corporation (略称: Nagoya Industries Promotion Corporation) |
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) |
水流 一平 / Ippei Tsuru / ツル イッペイ |
第3著者 所属(和/英) |
中日本炉工業 株式会社 (略称: 中日本炉工業)
Nakanihon-Ro Kogyo Co., Ltd. (略称: Nakanihon-Ro Kogyo Co., Ltd.) |
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) |
大久保 大地 / Daichi Ohkubo / オオクボ ダイチ |
第4著者 所属(和/英) |
中日本炉工業 株式会社 (略称: 中日本炉工業)
Nakanihon-Ro Kogyo Co., Ltd. (略称: Nakanihon-Ro Kogyo Co., Ltd.) |
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) |
松尾 英明 / Hideaki Matsuo / マツオ ヒデアキ |
第5著者 所属(和/英) |
中日本炉工業 株式会社 (略称: 中日本炉工業)
Nakanihon-Ro Kogyo Co., Ltd. (略称: Nakanihon-Ro Kogyo Co., Ltd.) |
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) |
後藤 峰男 / Mineo Goto / ゴトウ ミネオ |
第6著者 所属(和/英) |
中日本炉工業 株式会社 (略称: 中日本炉工業)
Nakanihon-Ro Kogyo Co., Ltd. (略称: Nakanihon-Ro Kogyo Co., Ltd.) |
第7著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第7著者 所属(和/英) |
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第8著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第9著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第10著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第10著者 所属(和/英) |
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第11著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第12著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第13著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第14著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第15著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第16著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第17著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第18著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第19著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第20著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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講演者 |
第1著者 |
発表日時 |
2019-05-17 09:15:00 |
発表時間 |
25分 |
申込先研究会 |
CPM |
資料番号 |
ED2019-20, CPM2019-11, SDM2019-18 |
巻番号(vol) |
vol.119 |
号番号(no) |
no.34(ED), no.35(CPM), no.36(SDM) |
ページ範囲 |
pp.47-52 |
ページ数 |
6 |
発行日 |
2019-05-09 (ED, CPM, SDM) |