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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2019-08-08 11:00 ［招待講演］雑音低減デジタル技術を適用した低雑音低電力MEMS型加速度センサ ○古林優希・大島 俊・鎌田雄大・礒部 敦（日立）  SDM2019-43 ICD2019-8 |
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| 抄録 | （和） | 次世代の資源探査やインフラモニタリングなどを可能にする、超低ノイズ(22ng/√Hz)かつ低電力(17mW)のMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)加速度センサを開発した。独自のMEMS構造や、ノイズ生成過程への深い洞察に基づくデジタル領域でのノイズ低減回路などを適用することで、従来の低電力低ノイズのMEMS加速度センサと比較して、11倍優れたFoMと1/9のノイズレベルを達成した。本発表ではさらに、本センサにより可能になるアプリケーションとして、上水道の漏水検知の事例を説明する。 |
| （英） | A fully integrated MEMS(Micro Electro Mechanical Systems) accelerometer with extremely low noise (22ng/√Hz) and sufficiently low power (17mW) was developed for emerging applications such as next-generation oil and gas exploration and infrastructure monitoring. It achieved 11x FoM and 1/9 noise level among state-of-the-art low-noise low-power MEMS accelerometers by applying a unique MEMS structure and noise reduction in the digital domain based on awareness of unfamiliar noise mechanisms. In this paper, as an application enabled by the noise performance, an example which has applied this sensor to the water-leakage detection is explained. | |
| キーワード | （和） | 加速度センサ / MEMS / 低消費電力 / 低雑音 / 資源探査 / インフラモニタリング / / |
| （英） | Accelerometer / MEMS / Low power / Low noise / Oil and gas exploration / Infrastructure monitoring / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 119, no. 162, ICD2019-8, pp. 35-40, 2019年8月. | |
| 資料番号 | ICD2019-8 | |
| 発行日 | 2019-07-31 (SDM, ICD) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | SDM2019-43 ICD2019-8 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM ICD ITE-IST |
| 開催期間 | 2019-08-07 - 2019-08-09 |
| 開催地（和） | 北海道大学 情報科学院 3F A31 |
| 開催地（英） | Hokkaido Univ., Graduate School /Faculty of Information Science and |
| テーマ（和） | アナログ、アナデジ混載、RF及びセンサインタフェース回路、低電圧・低消費電力技術、新デバイス・回路とその応用 |
| テーマ（英） | Analog, Mixed Analog and Digital, RF, and Sensor Interface, Low Voltage/Low Power Techniques, Novel Devices/Circuits, and the Applications |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | ICD |
| 会議コード | 2019-08-SDM-ICD-IST |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 雑音低減デジタル技術を適用した低雑音低電力MEMS型加速度センサ |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Low-Noise Low-Power MEMS Accelerometer with Digital Noise-Reduction Techniques |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 加速度センサ / Accelerometer |
| キーワード(2)（和/英） | MEMS / MEMS |
| キーワード(3)（和/英） | 低消費電力 / Low power |
| キーワード(4)（和/英） | 低雑音 / Low noise |
| キーワード(5)（和/英） | 資源探査 / Oil and gas exploration |
| キーワード(6)（和/英） | インフラモニタリング / Infrastructure monitoring |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 古林 優希 / Yuki Furubayashi / フルバヤシ ユウキ |
| 第1著者 所属（和/英） | 株式会社日立製作所 (略称： 日立) Hitachi, Ltd. (略称： Hitachi, Ltd.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 大島 俊 / Takashi Oshima / オオシマ タカシ |
| 第2著者 所属（和/英） | 株式会社日立製作所 (略称： 日立) Hitachi, Ltd. (略称： Hitachi, Ltd.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 鎌田 雄大 / Yudai Kamada / カマダ ユウダイ |
| 第3著者 所属（和/英） | 株式会社日立製作所 (略称： 日立) Hitachi, Ltd. (略称： Hitachi, Ltd.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 礒部 敦 / Atsushi Isobe / イソベ アツシ |
| 第4著者 所属（和/英） | 株式会社日立製作所 (略称： 日立) Hitachi, Ltd. (略称： Hitachi, Ltd.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2019-08-08 11:00:00 |
| 発表時間 | 45分 |
| 申込先研究会 | ICD |
| 資料番号 | SDM2019-43, ICD2019-8 |
| 巻番号（vol） | vol.119 |
| 号番号（no） | no.161(SDM), no.162(ICD) |
| ページ範囲 | pp.35-40 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2019-07-31 (SDM, ICD) |
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