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講演抄録/キーワード
講演名 2019-08-08 11:00
[招待講演]雑音低減デジタル技術を適用した低雑音低電力MEMS型加速度センサ
古林優希大島 俊鎌田雄大礒部 敦日立SDM2019-43 ICD2019-8 エレソ技報アーカイブへのリンク:SDM2019-43 ICD2019-8
抄録 (和) 次世代の資源探査やインフラモニタリングなどを可能にする、超低ノイズ(22ng/√Hz)かつ低電力(17mW)のMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)加速度センサを開発した。独自のMEMS構造や、ノイズ生成過程への深い洞察に基づくデジタル領域でのノイズ低減回路などを適用することで、従来の低電力低ノイズのMEMS加速度センサと比較して、11倍優れたFoMと1/9のノイズレベルを達成した。本発表ではさらに、本センサにより可能になるアプリケーションとして、上水道の漏水検知の事例を説明する。 
(英) A fully integrated MEMS(Micro Electro Mechanical Systems) accelerometer with extremely low noise (22ng/√Hz) and sufficiently low power (17mW) was developed for emerging applications such as next-generation oil and gas exploration and infrastructure monitoring. It achieved 11x FoM and 1/9 noise level among state-of-the-art low-noise low-power MEMS accelerometers by applying a unique MEMS structure and noise reduction in the digital domain based on awareness of unfamiliar noise mechanisms. In this paper, as an application enabled by the noise performance, an example which has applied this sensor to the water-leakage detection is explained.
キーワード (和) 加速度センサ / MEMS / 低消費電力 / 低雑音 / 資源探査 / インフラモニタリング / /  
(英) Accelerometer / MEMS / Low power / Low noise / Oil and gas exploration / Infrastructure monitoring / /  
文献情報 信学技報, vol. 119, no. 162, ICD2019-8, pp. 35-40, 2019年8月.
資料番号 ICD2019-8 
発行日 2019-07-31 (SDM, ICD) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685    Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード SDM2019-43 ICD2019-8 エレソ技報アーカイブへのリンク:SDM2019-43 ICD2019-8

研究会情報
研究会 SDM ICD ITE-IST  
開催期間 2019-08-07 - 2019-08-09 
開催地(和) 北海道大学 情報科学院 3F A31 
開催地(英) Hokkaido Univ., Graduate School /Faculty of Information Science and 
テーマ(和) アナログ、アナデジ混載、RF及びセンサインタフェース回路、低電圧・低消費電力技術、新デバイス・回路とその応用 
テーマ(英) Analog, Mixed Analog and Digital, RF, and Sensor Interface, Low Voltage/Low Power Techniques, Novel Devices/Circuits, and the Applications 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 ICD 
会議コード 2019-08-SDM-ICD-IST 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 雑音低減デジタル技術を適用した低雑音低電力MEMS型加速度センサ 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Low-Noise Low-Power MEMS Accelerometer with Digital Noise-Reduction Techniques 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) 加速度センサ / Accelerometer  
キーワード(2)(和/英) MEMS / MEMS  
キーワード(3)(和/英) 低消費電力 / Low power  
キーワード(4)(和/英) 低雑音 / Low noise  
キーワード(5)(和/英) 資源探査 / Oil and gas exploration  
キーワード(6)(和/英) インフラモニタリング / Infrastructure monitoring  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 古林 優希 / Yuki Furubayashi / フルバヤシ ユウキ
第1著者 所属(和/英) 株式会社日立製作所 (略称: 日立)
Hitachi, Ltd. (略称: Hitachi, Ltd.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 大島 俊 / Takashi Oshima / オオシマ タカシ
第2著者 所属(和/英) 株式会社日立製作所 (略称: 日立)
Hitachi, Ltd. (略称: Hitachi, Ltd.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 鎌田 雄大 / Yudai Kamada / カマダ ユウダイ
第3著者 所属(和/英) 株式会社日立製作所 (略称: 日立)
Hitachi, Ltd. (略称: Hitachi, Ltd.)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 礒部 敦 / Atsushi Isobe / イソベ アツシ
第4著者 所属(和/英) 株式会社日立製作所 (略称: 日立)
Hitachi, Ltd. (略称: Hitachi, Ltd.)
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講演者 第1著者 
発表日時 2019-08-08 11:00:00 
発表時間 45分 
申込先研究会 ICD 
資料番号 SDM2019-43, ICD2019-8 
巻番号(vol) vol.119 
号番号(no) no.161(SDM), no.162(ICD) 
ページ範囲 pp.35-40 
ページ数
発行日 2019-07-31 (SDM, ICD) 


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