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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2019-08-23 09:25 ［招待講演］III-V族半導体薄膜を用いたハイブリッド光変調器の展望 ○竹中 充・李 強・関根尚希・高木信一（東大）  R2019-28 EMD2019-26 CPM2019-27 OPE2019-55 LQE2019-33 |
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| 抄録 | （和） | 我々はSi導波路とIII-V族半導体薄膜をゲート絶縁膜となるAl2O3で貼り合わせたハイブリッドMOS構造に蓄積した電子による光変調により極めて高い変調効率を実現した．また同じハイブリッドMOS構造に逆バイアスを印加し，空乏層中のフランツ・ケルディッシュ効果を用いることで，変調効率と変調速度を両立した光変調が可能であることを明らかにした．III-V族半導体薄膜を熱酸化Si基板上に貼り合わせたIII-V CMOSフォトニクス・プラットフォームを用いた光変調器の研究も進めている．InPスロット導波路とEOポリマーを組み合わせた変調器を提唱している．本講演では，III-V族半導体薄膜を用いたハイブリッド光変調器の展望について議論する． |
| （英） | We have achieved extremely-high modulation efficiency using accumulated electrons in a hybrid MOS structure where a III-V membrane is bonded on a Si waveguide with Al2O3 gate dielectric. We have also revealed that high-efficiency modulation and high-speed modulation can be obtained simultaneously using the Franz–Keldysh effect in a deletion layer of a reverse-biased hybrid MOS structure. An optical modulator on the III-V CMOS photonics platform where a III-V membrane is bonded on a SiO2/Si wafer. We have proposed an optical modulator based on an InP slot waveguide with EO polymer. We discuss the potential of a hybrid optical modulator based on a III-V membrane. | |
| キーワード | （和） | シリコンフォトニクス / 光変調器 / 化合物半導体薄膜 / 基板貼り合わせ / 電界効果 / EOポリマー / / |
| （英） | Si photonics / Optical Modulator / III-V membrane / Wafer Bonding / EO effect / EO polymer / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 119, no. 173, LQE2019-33, pp. 43-46, 2019年8月. | |
| 資料番号 | LQE2019-33 | |
| 発行日 | 2019-08-15 (R, EMD, CPM, OPE, LQE) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | R2019-28 EMD2019-26 CPM2019-27 OPE2019-55 LQE2019-33 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | LQE OPE CPM EMD R |
| 開催期間 | 2019-08-22 - 2019-08-23 |
| 開催地（和） | 東北大学 電気通信研究 本館オープンセミナールーム（M153) |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 受光素子，変調器，光部品・電子デバイス実装・信頼性，及び一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | LQE |
| 会議コード | 2019-08-LQE-OPE-CPM-EMD-R |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | III-V族半導体薄膜を用いたハイブリッド光変調器の展望 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Prospect of hybrid optical modulators using III-V membrane |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | シリコンフォトニクス / Si photonics |
| キーワード(2)（和/英） | 光変調器 / Optical Modulator |
| キーワード(3)（和/英） | 化合物半導体薄膜 / III-V membrane |
| キーワード(4)（和/英） | 基板貼り合わせ / Wafer Bonding |
| キーワード(5)（和/英） | 電界効果 / EO effect |
| キーワード(6)（和/英） | EOポリマー / EO polymer |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 竹中 充 / Mitsuru Takenaka / タケナカ ミツル |
| 第1著者 所属（和/英） | 東京大学 (略称： 東大) The University of Tokyo (略称： Univ.Tokyo) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 李 強 / Qiang Li / リ キョウ |
| 第2著者 所属（和/英） | 東京大学 (略称： 東大) The University of Tokyo (略称： Univ.Tokyo) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 関根 尚希 / Naoki Sekine / セキネ ナオキ |
| 第3著者 所属（和/英） | 東京大学 (略称： 東大) The University of Tokyo (略称： Univ.Tokyo) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 高木 信一 / Shinichi Takagi / タカギ シンイチ |
| 第4著者 所属（和/英） | 東京大学 (略称： 東大) The University of Tokyo (略称： Univ.Tokyo) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2019-08-23 09:25:00 |
| 発表時間 | 15分 |
| 申込先研究会 | LQE |
| 資料番号 | R2019-28, EMD2019-26, CPM2019-27, OPE2019-55, LQE2019-33 |
| 巻番号（vol） | vol.119 |
| 号番号（no） | no.169(R), no.170(EMD), no.171(CPM), no.172(OPE), no.173(LQE) |
| ページ範囲 | pp.43-46 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2019-08-15 (R, EMD, CPM, OPE, LQE) |
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