| 講演抄録/キーワード |
| 講演名 |
2019-10-24 13:00
[招待講演]ナノ人工物メトリクスを実現するランダムナノ構造形成と電気的読出技術 ○葛西誠也・呂 任鵬・清水克真・殷 翔(北大)・上羽陽介・石川幹雄・北村 満(大日本印刷)・法元盛久(産総研)・成瀬 誠(東大)・松本 勉(横浜国大) SDM2019-62 |
| 抄録 |
(和) |
ナノスケールのランダム構造を用いた安全性が高い認証技術であるナノ人工物メトリクスのコンセプト,そしてこれを実現するための要素技術であるレジスト倒壊を用いたランダム2次元ナノ構造形成,および,形成した構造を電気的に読み出しに関する最近の研究について述べる. |
| (英) |
We introduce a basic concept of nano-artifact metrics, expected to be a highly secure authentication technique using nano-scale random structures. Recent development of the basic technologies for the nano-artifact metrics including formation of two-dimensional random nanostructure using a resist collapse and a novel electric readout of the formed nanostructures. |
| キーワード |
(和) |
人工物メトリクス / ランダムナノ構造 / レジスト倒壊 / 電気的読み出し / Si MOSFET / / / |
| (英) |
Artifact metrics / Random nanostructure / Resist collapse / Electric readout / Si MOSFET / / / |
| 文献情報 |
信学技報, vol. 119, no. 239, SDM2019-62, pp. 45-50, 2019年10月. |
| 資料番号 |
SDM2019-62 |
| 発行日 |
2019-10-16 (SDM) |
| ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
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