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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2019-11-07 15:50 ［招待講演］触媒反応支援化学気相成長法を用いた金属酸化物薄膜の成長 ○安井寛治（長岡技科大）  CPM2019-48 |
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| 抄録 | （和） | 触媒反応を利用して高エネルギーH2O分子を生成、有機金属ガスと気相中で反応させ金属酸化物薄膜を成長させるCVD法の開発とそれに至る経緯について紹介する。そしてこのCVD法により作製した高品位酸化亜鉛(ZnO)結晶膜の結晶性、配向性、電気伝導特性、ならびに光学特性についても説明する。更に微量のN2Oガスを添加したことによる結晶性、電気伝導特性、光学特性の改善効果について説明する。 |
| （英） | Author reports a new CVD method for thin film growth of metal oxides using a reaction between organometallic compounds and high-energy H2O produced by a Pt-catalyzed H2-O2 reaction. The ZnO film properties such as crystallinity, electrical and optical properties are reported. In addition, improvement of the electron mobility and optical emission property by the addition of N2O gas is also reported. | |
| キーワード | （和） | 触媒反応 / 化学気相成長法 / 金属酸化物薄膜 / / / / / |
| （英） | Catalytic reaction / Chemical vapor deposition / Metal-oxide thin film / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 119, no. 271, CPM2019-48, pp. 21-26, 2019年11月. | |
| 資料番号 | CPM2019-48 | |
| 発行日 | 2019-10-31 (CPM) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | CPM2019-48 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
| 開催期間 | 2019-11-07 - 2019-11-08 |
| 開催地（和） | 福井大学 文京キャンパス |
| 開催地（英） | Fukui univ. |
| テーマ（和） | 機能性材料(半導体、磁性体、誘電体、透明導電体・半導体、等)薄膜プロセス/材料/デバイス，一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | CPM |
| 会議コード | 2019-11-CPM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 触媒反応支援化学気相成長法を用いた金属酸化物薄膜の成長 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Metal-oxide film growth by catalytic-reaction assisted chemical vapor deposition |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 触媒反応 / Catalytic reaction |
| キーワード(2)（和/英） | 化学気相成長法 / Chemical vapor deposition |
| キーワード(3)（和/英） | 金属酸化物薄膜 / Metal-oxide thin film |
| キーワード(4)（和/英） | / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 安井 寛治 / Kanji Yasui / ヤスイ カンジ |
| 第1著者 所属（和/英） | 長岡技術科学大学 (略称： 長岡技科大) Nagaoka University of Technology (略称： Nagaoka Univ. Technol.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2019-11-07 15:50:00 |
| 発表時間 | 50分 |
| 申込先研究会 | CPM |
| 資料番号 | CPM2019-48 |
| 巻番号（vol） | vol.119 |
| 号番号（no） | no.271 |
| ページ範囲 | pp.21-26 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2019-10-31 (CPM) |
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