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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2019-11-15 14:15 SOIウェハの直接接合を用いた3層構造リングオシレータとイメージセンサの試作 ○後藤正英（NHK）・本田悠葵（NHKエンジニアリングシステム）・渡部俊久・萩原 啓・難波正和・井口義則（NHK）・更屋拓哉・小林正治（東大）・日暮栄治（産総研）・年吉 洋・平本俊郎（東大）  ICD2019-38 IE2019-44 エレソ技報アーカイブへのリンク：ICD2019-38 |
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| 抄録 | （和） | 超高精細と高フレームレートとを両立する次世代のイメージセンサを目指して，画素並列信号処理を行う3次元構造イメージセンサの研究を進めている．これまでに，SOIウェハの直接接合技術により，画素内で入射光量に対応したパルスを発生してA/D変換を行う2層構造イメージセンサの開発を行い，その撮像動作を実証した．今回，本センサのさらなる高集積化や多機能化を可能とする多層構造の実現に向けて，3層のSOIウェハから構成されるリングオシレータおよびイメージセンサを設計し，直径5 μmのAu電極を埋め込んだ直接接合技術により試作を行った．その結果，3層のウェハが剥離なく接合していることを確認するとともに，101段リングオシレータの動作を実証することができ，将来の多層構造デバイスの実現に見通しを得た． |
| （英） | We have studied on pixel-parallel three-dimensional (3D) integrated CMOS image sensors. We previously reported double-layered image sensors by direct bonding of silicon on insulator (SOI) layers with embedded Au electrodes, which confirmed pixel-parallel video images. We have newly designed the triple-layered ring oscillator and image sensor to demonstrate the concept of the multi-layered devices which improve the resolution and enhance the functionality. The developed triple-stacked wafers are confirmed to have no voids or separation of layers even after the removal of the handle layer, thereby demonstrating the feasibility of multi-layered imaging devices for the next-generation video systems. | |
| キーワード | （和） | CMOSイメージセンサ / 3次元集積化技術 / リングオシレータ / 接合 / SOI / A/D変換回路 / / |
| （英） | CMOS image sensor / 3D integration / ring oscillator / bonding / SOI / A/D converter / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 119, no. 284, ICD2019-38, pp. 45-49, 2019年11月. | |
| 資料番号 | ICD2019-38 | |
| 発行日 | 2019-11-07 (ICD, IE) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | ICD2019-38 IE2019-44 エレソ技報アーカイブへのリンク：ICD2019-38 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | VLD DC CPSY RECONF ICD IE IPSJ-SLDM IPSJ-EMB |
| 開催期間 | 2019-11-13 - 2019-11-15 |
| 開催地（和） | 愛媛県男女共同参画センター |
| 開催地（英） | Ehime Prefecture Gender Equality Center |
| テーマ（和） | デザインガイア2019 -VLSI設計の新しい大地- |
| テーマ（英） | Design Gaia 2019 -New Field of VLSI Design- |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | ICD |
| 会議コード | 2019-11-VLD-DC-CPSY-RECONF-ICD-IE-SLDM-EMB-ARC |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | SOIウェハの直接接合を用いた3層構造リングオシレータとイメージセンサの試作 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Triple-Layered Ring Oscillators and Image Sensors Developed by Direct Bonding of SOI Wafers |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | CMOSイメージセンサ / CMOS image sensor |
| キーワード(2)（和/英） | 3次元集積化技術 / 3D integration |
| キーワード(3)（和/英） | リングオシレータ / ring oscillator |
| キーワード(4)（和/英） | 接合 / bonding |
| キーワード(5)（和/英） | SOI / SOI |
| キーワード(6)（和/英） | A/D変換回路 / A/D converter |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 後藤 正英 / Masahide Goto / ゴトウ マサヒデ |
| 第1著者 所属（和/英） | NHK放送技術研究所 (略称： NHK) NHK STRL (略称： NHK) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 本田 悠葵 / Yuki Honda / ホンダ ユウキ |
| 第2著者 所属（和/英） | NHKエンジニアリングシステム (略称： NHKエンジニアリングシステム) NHK Engineering System (略称： NHK-ES) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 渡部 俊久 / Toshihisa Watabe / ワタベ トシヒサ |
| 第3著者 所属（和/英） | NHK放送技術研究所 (略称： NHK) NHK STRL (略称： NHK) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 萩原 啓 / Kei Hagiwara / ハギワラ ケイ |
| 第4著者 所属（和/英） | NHK放送技術研究所 (略称： NHK) NHK STRL (略称： NHK) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 難波 正和 / Masakazu Nanba / ナンバ マサカズ |
| 第5著者 所属（和/英） | NHK放送技術研究所 (略称： NHK) NHK STRL (略称： NHK) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 井口 義則 / Yoshinori Iguchi / イグチ ヨシノリ |
| 第6著者 所属（和/英） | NHK放送技術研究所 (略称： NHK) NHK STRL (略称： NHK) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） | 更屋 拓哉 / Takuya Saraya / サラヤ タクヤ |
| 第7著者 所属（和/英） | 東京大学 (略称： 東大) The University of Tokyo (略称： Univ. of Tokyo) |
| 第8著者 氏名（和/英/ヨミ） | 小林 正治 / Masaharu Kobayashi / コバヤシ マサハル |
| 第8著者 所属（和/英） | 東京大学 (略称： 東大) The University of Tokyo (略称： Univ. of Tokyo) |
| 第9著者 氏名（和/英/ヨミ） | 日暮 栄治 / Eiji Higurashi / ヒグラシ エイジ |
| 第9著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所 (略称： 産総研) National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (略称： AIST) |
| 第10著者 氏名（和/英/ヨミ） | 年吉 洋 / Hiroshi Toshiyoshi / トシヨシ ヒロシ |
| 第10著者 所属（和/英） | 東京大学 (略称： 東大) The University of Tokyo (略称： Univ. of Tokyo) |
| 第11著者 氏名（和/英/ヨミ） | 平本 俊郎 / Toshiro Hiramoto / ヒラモト トシロウ |
| 第11著者 所属（和/英） | 東京大学 (略称： 東大) The University of Tokyo (略称： Univ. of Tokyo) |
| 第12著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2019-11-15 14:15:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | ICD |
| 資料番号 | ICD2019-38, IE2019-44 |
| 巻番号（vol） | vol.119 |
| 号番号（no） | no.284(ICD), no.285(IE) |
| ページ範囲 | pp.45-49 |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | 2019-11-07 (ICD, IE) |
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