講演抄録/キーワード |
講演名 |
2020-02-07 13:30
[特別招待講演]極微細配線の課題解決に向けた金属間化合物の可能性 ○小池淳一・チェン リンハン(東北大)・横川慎二(電通大) SDM2019-93 エレソ技報アーカイブへのリンク:SDM2019-93 |
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文献情報 |
信学技報, vol. 119, no. 410, SDM2019-93, pp. 25-25, 2020年2月. |
資料番号 |
SDM2019-93 |
発行日 |
2020-01-31 (SDM) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
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