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講演抄録/キーワード
講演名 2020-10-29 14:30
ステアリング結晶を形成した多結晶Si基板上へのInNナノ柱状結晶の成長
薛 後耀白石孝輝飯塚洋介谷口真悟齋藤 宇齋藤 翼佐藤祐一秋田大CPM2020-15 エレソ技報アーカイブへのリンク:CPM2020-15
抄録 (和) 低コスト太陽電池の形成に広く用いられている多結晶Siを基板としてInNナノ柱状結晶を形成した.その際,結晶の配向性を整えるステアリング結晶を基板上に形成し,ステアリング結晶およびその上部に形成するInNナノ柱状結晶の成長条件に対する構造の変化について明らかにした. 
(英) InN nanopillar-crystals were formed using multi-crystalline Si, which is widely used for low-cost solar cell formation, as a substrate. At that time, steering crystals that adjust the orientation of the crystals were formed on the substrate. The structural changes for the growth conditions of steering crystals and InN nano-pillar crystals formed on them were clarified.
キーワード (和) ナノ構造 / 分子線エピタキシー / 窒化物 / 半導体材料 / / / /  
(英) Nanostructures / Molecular beam epitaxy / Nitrides / Semiconducting materials / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 120, no. 217, CPM2020-15, pp. 15-18, 2020年10月.
資料番号 CPM2020-15 
発行日 2020-10-22 (CPM) 
ISSN Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード CPM2020-15 エレソ技報アーカイブへのリンク:CPM2020-15

研究会情報
研究会 CPM  
開催期間 2020-10-29 - 2020-10-29 
開催地(和) オンライン開催 
開催地(英) Online 
テーマ(和) 機能性材料(半導体、磁性体、誘電体、透明導電体・半導体、等)薄膜プロセス/材料/デバイス,一般 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 CPM 
会議コード 2020-10-CPM 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) ステアリング結晶を形成した多結晶Si基板上へのInNナノ柱状結晶の成長 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Growth of InN nanopillar-crystals on steering-crystal-formed multi-crystalline Si substrates 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) ナノ構造 / Nanostructures  
キーワード(2)(和/英) 分子線エピタキシー / Molecular beam epitaxy  
キーワード(3)(和/英) 窒化物 / Nitrides  
キーワード(4)(和/英) 半導体材料 / Semiconducting materials  
キーワード(5)(和/英) /  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 薛 後耀 / Houyao Xue / セツ コウヨウ
第1著者 所属(和/英) 秋田大学 (略称: 秋田大)
Akita University (略称: Akita Univ)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 白石 孝輝 / Koki Shiraishi / シライシ コウキ
第2著者 所属(和/英) 秋田大学 (略称: 秋田大)
Akita University (略称: Akita Univ)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 飯塚 洋介 / Yosuke Izuka / イイヅカ ヨウスケ
第3著者 所属(和/英) 秋田大学 (略称: 秋田大)
Akita University (略称: Akita Univ)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 谷口 真悟 / Shingo Taniguchi / タニグチ シンゴ
第4著者 所属(和/英) 秋田大学 (略称: 秋田大)
Akita University (略称: Akita Univ)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 齋藤 宇 / Sora Saito / サイトウ ソラ
第5著者 所属(和/英) 秋田大学 (略称: 秋田大)
Akita University (略称: Akita Univ)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) 齋藤 翼 / Tsubasa Saito / サイトウ ツバサ
第6著者 所属(和/英) 秋田大学 (略称: 秋田大)
Akita University (略称: Akita Univ)
第7著者 氏名(和/英/ヨミ) 佐藤 祐一 / Yuichi Sato / サトウ ユウイチ
第7著者 所属(和/英) 秋田大学 (略称: 秋田大)
Akita University (略称: Akita Univ)
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講演者 第1著者 
発表日時 2020-10-29 14:30:00 
発表時間 20分 
申込先研究会 CPM 
資料番号 CPM2020-15 
巻番号(vol) vol.120 
号番号(no) no.217 
ページ範囲 pp.15-18 
ページ数
発行日 2020-10-22 (CPM) 


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