講演抄録/キーワード |
講演名 |
2020-10-29 14:30
ステアリング結晶を形成した多結晶Si基板上へのInNナノ柱状結晶の成長 ○薛 後耀・白石孝輝・飯塚洋介・谷口真悟・齋藤 宇・齋藤 翼・佐藤祐一(秋田大) CPM2020-15 エレソ技報アーカイブへのリンク:CPM2020-15 |
抄録 |
(和) |
低コスト太陽電池の形成に広く用いられている多結晶Siを基板としてInNナノ柱状結晶を形成した.その際,結晶の配向性を整えるステアリング結晶を基板上に形成し,ステアリング結晶およびその上部に形成するInNナノ柱状結晶の成長条件に対する構造の変化について明らかにした. |
(英) |
InN nanopillar-crystals were formed using multi-crystalline Si, which is widely used for low-cost solar cell formation, as a substrate. At that time, steering crystals that adjust the orientation of the crystals were formed on the substrate. The structural changes for the growth conditions of steering crystals and InN nano-pillar crystals formed on them were clarified. |
キーワード |
(和) |
ナノ構造 / 分子線エピタキシー / 窒化物 / 半導体材料 / / / / |
(英) |
Nanostructures / Molecular beam epitaxy / Nitrides / Semiconducting materials / / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 120, no. 217, CPM2020-15, pp. 15-18, 2020年10月. |
資料番号 |
CPM2020-15 |
発行日 |
2020-10-22 (CPM) |
ISSN |
Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
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