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講演抄録/キーワード
講演名 2020-10-29 15:30
共スパッタ法を用いた金添加酸化タンタル薄膜の作製と光触媒への応用に向けた基礎検討
伊藤 開橋本祐也三浦健太野口克也加田 渉花泉 修群馬大CPM2020-18 エレソ技報アーカイブへのリンク:CPM2020-18
抄録 (和) 簡便な共スパッタ法を用いて金添加酸化タンタル薄膜(Ta2O5:Au)を作製し,光触媒への応用に向けた基礎検討を行った.700℃で熱処理を行った金添加試料の透過スペクトルから,金ナノ粒子によるものと思われる光吸収が観測された.また,同試料のXRDパターンから,酸化タンタルの結晶化が進んでいることを確認した.我々の共スパッタ法を用いて,結晶性の高い酸化タンタル薄膜内に金ナノ粒子を形成し,高性能な薄膜型光触媒に応用できる可能性を見出した 
(英) Gold-doped tantalum pentoxide (Ta2O5:Au) thin films were deposited using a co-sputtering method. From a transmission spectrum of a Ta2O5:Au thin film after annealing, we observed a broad absorption peak that seems to be originated from Au nanoparticles. We found a possibility of producing Au nanoparticles in the film using our co-sputtering method.
キーワード (和) Auナノ粒子 / Ta2O5 / 共スパッタ / 表面プラズモン共鳴 / / / /  
(英) Au nanoparticle / Ta2O5 / co-sputtering, / surface plasmon resonance / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 120, no. 217, CPM2020-18, pp. 27-30, 2020年10月.
資料番号 CPM2020-18 
発行日 2020-10-22 (CPM) 
ISSN Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード CPM2020-18 エレソ技報アーカイブへのリンク:CPM2020-18

研究会情報
研究会 CPM  
開催期間 2020-10-29 - 2020-10-29 
開催地(和) オンライン開催 
開催地(英) Online 
テーマ(和) 機能性材料(半導体、磁性体、誘電体、透明導電体・半導体、等)薄膜プロセス/材料/デバイス,一般 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 CPM 
会議コード 2020-10-CPM 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 共スパッタ法を用いた金添加酸化タンタル薄膜の作製と光触媒への応用に向けた基礎検討 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Characterization of Photocatalytic Gold-Doped Tantalum Pentoxide Thin Films Prepared Using a Simple Co-Sputtering Method 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) Auナノ粒子 / Au nanoparticle  
キーワード(2)(和/英) Ta2O5 / Ta2O5  
キーワード(3)(和/英) 共スパッタ / co-sputtering,  
キーワード(4)(和/英) 表面プラズモン共鳴 / surface plasmon resonance  
キーワード(5)(和/英) /  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 伊藤 開 / Kai Ito / イトウ カイ
第1著者 所属(和/英) 群馬大学 (略称: 群馬大)
Gunma University (略称: Gunma Univ.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 橋本 祐也 / Yuya Hashimoto / ハシモト ユウヤ
第2著者 所属(和/英) 群馬大学 (略称: 群馬大)
Gunma University (略称: Gunma Univ.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 三浦 健太 / Kenta Miura / ミウラ ケンタ
第3著者 所属(和/英) 群馬大学 (略称: 群馬大)
Gunma University (略称: Gunma Univ.)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 野口 克也 / Katsuya Noguchi /
第4著者 所属(和/英) 群馬大学 (略称: 群馬大)
Gunma University (略称: Gunma Univ.)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 加田 渉 / Wataru Kada / カダ ワタル
第5著者 所属(和/英) 群馬大学 (略称: 群馬大)
Gunma University (略称: Gunma Univ.)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) 花泉 修 / Osamu Hanaizumi / ハナイズミ オサム
第6著者 所属(和/英) 群馬大学 (略称: 群馬大)
Gunma University (略称: Gunma Univ.)
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講演者 第1著者 
発表日時 2020-10-29 15:30:00 
発表時間 20分 
申込先研究会 CPM 
資料番号 CPM2020-18 
巻番号(vol) vol.120 
号番号(no) no.217 
ページ範囲 pp.27-30 
ページ数
発行日 2020-10-22 (CPM) 


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