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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2021-02-05 13:45 Co-Zr合金の単層バリア材料としての特性 ○山田裕貴・矢作政隆・小池淳一（東北大）  SDM2020-56 エレソ技報アーカイブへのリンク：SDM2020-56 |
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| 抄録 | （和） | 本研究の目的は，Cu配線を圧迫する厚い二重構造のTaライナーとTaNバリアを，熱的に安定なアモルファス構造で，ライナーとバリアの両方の機能を有する単層のCo合金に置き換えることである．アモルファス安定性の指標としてCALPHAD法を用いて様々なCo合金系を対象にT0曲線を計算した．その結果，Co-Zr系が有力候補として見出された．そこで，Co-Zr系合金の極薄膜の密着性とバリア性を実験により検証したところ，Cu/Co-Zr/SiO2積層サンプルは良好な密着性と優れたバリア性を示した．しかし，高温ではCo-Zr層が分解し，CoがCu層へ拡散したために，薄膜の抵抗率が上昇した． |
| （英） | The purpose of this work is to replace the thick double layer of Ta liner and TaN barrier with a single layer of Co alloy having liner/barrier functions with thermally stable amorphous structure. The CALPHAD method was employed to calculate T0 curve as an indicator of amorphous stability in various Co alloy systems. Co-Zr system was predicted to be a potential candidate. Based on the calculated results, ultra-thin Co-Zr films were investigated for adhesion and barrier property. Cu/Co-Zr/SiO2 samples exhibited a good barrier property. However, the Co-Zr layer was decomposed at high temperature, which caused an increase in film resistivity due to Co diffusion to the Cu overlayer. | |
| キーワード | （和） | LSI / Cu配線 / 拡散バリア / CALPHAD法 / / / / |
| （英） | LSI / Cu interconnect / diffusion barrier / CALPHAD method / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 120, no. 359, SDM2020-56, pp. 7-10, 2021年2月. | |
| 資料番号 | SDM2020-56 | |
| 発行日 | 2021-01-29 (SDM) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | SDM2020-56 エレソ技報アーカイブへのリンク：SDM2020-56 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
| 開催期間 | 2021-02-05 - 2021-02-05 |
| 開催地（和） | オンライン開催 |
| 開催地（英） | Online |
| テーマ（和） | 配線・実装技術と関連材料技術 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | SDM |
| 会議コード | 2021-02-SDM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | Co-Zr合金の単層バリア材料としての特性 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Characteristic properties of Co-Zr alloy as a single-layer barrier |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | LSI / LSI |
| キーワード(2)（和/英） | Cu配線 / Cu interconnect |
| キーワード(3)（和/英） | 拡散バリア / diffusion barrier |
| キーワード(4)（和/英） | CALPHAD法 / CALPHAD method |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 山田 裕貴 / Yuki Yamada / ヤマダ ユウキ |
| 第1著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 矢作 政隆 / Masataka Yahagi / ヤハギ マサタカ |
| 第2著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 小池 淳一 / Junichi Koike / コイケ ジュンイチ |
| 第3著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2021-02-05 13:45:00 |
| 発表時間 | 20分 |
| 申込先研究会 | SDM |
| 資料番号 | SDM2020-56 |
| 巻番号（vol） | vol.120 |
| 号番号（no） | no.359 |
| ページ範囲 | pp.7-10 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2021-01-29 (SDM) |
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