| 電子情報通信学会 研究会発表申込システム 講演論文 詳細 |
技報閲覧サービス [ログイン] 技報アーカイブ |
| トップに戻る | 前のページに戻る | [Japanese] / [English] |
| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2021-04-23 14:20 絶縁基板上Si薄膜の結晶化における課題 ○野口 隆・岡田竜弥（琉球大）  SDM2021-3 OME2021-3 |
|
| 抄録 | （和） | 概要 現在、ポリSi TFTは、LTPS（低温ポリSi）TFTともよばれ、その優れた素子特性により、携帯電話、スマホ、電子カメラ等の小型のLCDやOLEDパネルにつかわれている。しかし、膜の結晶化法、TFTの作製法などに関していくつかの課題があり、改善がもとめられる。 その主な技術的課題に関して述べ、討議する。 |
| （英） | Abstract Currently, poly Si TFTs are mounted on glass and are adopted for display panel s such as smart-phone, electric camera etc.. However, there are still some issues to be solved for the fabrication of LTPS TFTs TFTs. The issues of the crystallization of Si films for TFT are described and will be discussed. |
|
| キーワード | （和） | 生産コスト / レーザアニール課題 / ブルーレーザ / エキシマレーザ / 薄膜トランジスタ / スパッタ / スマホ / ケイタイ |
| （英） | LTPS / ELA / BLDA / Smart-phone, / TFT / Poly Si / Kei / Issue of ELA | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 121, no. 8, SDM2021-3, pp. 13-14, 2021年4月. | |
| 資料番号 | SDM2021-3 | |
| 発行日 | 2021-04-16 (SDM, OME) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | SDM2021-3 OME2021-3 |
|
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM OME |
| 開催期間 | 2021-04-23 - 2021-04-24 |
| 開催地（和） | 沖縄県青年会館 |
| 開催地（英） | Okinawaken Seinen Kaikan |
| テーマ（和） | 薄膜（Si,化合物,有機,フレキシブル）機能デバイス・バイオテクノロジー・材料・評価技術および一般 |
| テーマ（英） | Thin film devices (Si, compound, organic, flexible), Biotechnology, Materials, Characterization, etc. |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | SDM |
| 会議コード | 2021-04-SDM-OME |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 絶縁基板上Si薄膜の結晶化における課題 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Issue of crystallization for LTPS TFT |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 生産コスト / LTPS |
| キーワード(2)（和/英） | レーザアニール課題 / ELA |
| キーワード(3)（和/英） | ブルーレーザ / BLDA |
| キーワード(4)（和/英） | エキシマレーザ / Smart-phone, |
| キーワード(5)（和/英） | 薄膜トランジスタ / TFT |
| キーワード(6)（和/英） | スパッタ / Poly Si |
| キーワード(7)（和/英） | スマホ / Kei |
| キーワード(8)（和/英） | ケイタイ / Issue of ELA |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 野口 隆 / Noguchi Takashi / ノグチ タカシ |
| 第1著者 所属（和/英） | 琉球大学 (略称： 琉球大) University of the Ryukyus (略称： Univ. Ryukyus) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 岡田 竜弥 / OkadaTatsuya / |
| 第2著者 所属（和/英） | 琉球大学 (略称： 琉球大) Unversity of the Ryukyus (略称： Univ. Ryukyus) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2021-04-23 14:20:00 |
| 発表時間 | 20分 |
| 申込先研究会 | SDM |
| 資料番号 | SDM2021-3, OME2021-3 |
| 巻番号（vol） | vol.121 |
| 号番号（no） | no.8(SDM), no.9(OME) |
| ページ範囲 | pp.13-14 |
| ページ数 | 2 |
| 発行日 | 2021-04-16 (SDM, OME) |
[研究会発表申込システムのトップページに戻る]