講演抄録/キーワード |
講演名 |
2021-12-02 15:10
代表クリップ生成を考慮したレイアウトパターン分類問題における改良手法 ~ Changらの判定法の解析に基づいた手法の提案 ~ ○桝谷智哉・石野修平・藤吉邦洋(東京農工大) VLD2021-44 ICD2021-54 DC2021-50 RECONF2021-52 エレソ技報アーカイブへのリンク:ICD2021-54 |
抄録 |
(和) |
近年、半導体の微細化が進んだために、露光の際に短絡や断線などの問題が生じる可能性が高い箇所(ホットスポット)の発生をデザインルールの遵守では十分に防げず、高い歩留まりを維持できなくなっている。ホットスポットの検出はリソグラフィシミュレーションで可能だが、多大な計算時間を要するため、近年では代替手法としてパターンマッチングによる検出手法が実用化されている。その検出で用いるライブラリは、既知のホットスポットを中心にして、指定サイズの正方形の枠で切り出した領域である「クリップ」について、どのクリップについても代表クリップの中に``似た''ものがあるという条件で、できるだけ少ない数の代表クリップを選出して作成する。しかし、入力として与えられたクリップのうち多くのものと類似したクリップを生成することができれば、よりライブラリのサイズを削減できる可能性がある。そこで本稿では、代表クリップの生成を考慮した分類手法について述べる。2つのクリップが``似た''と判断する基準には、「辺の移動幅条件」を一般化したものを用い、クリップ対がその条件を満たすか否かのChangらの判定法を利用する。それを基にして、「代表クリップ生成条件」を示し、2種類のアルゴリズム、分枝限定法による手法と逐次的な手法を考案し、それらの手法で代表クリップ候補を求める。そこで生成したクリップを用いて分類を行う問題を2部グラフの最小支配集合問題と捉え、代表クリップ生成を考慮した分類を計算機実装して実験を行い、有効性を確認する。 |
(英) |
Layout of VLSI is designed according to design rules, however, hotspots may remain due to feature size shrinking. Recently, we proposed a method of grouping layout clips of hotspots according to the similarity to create library, which will be used to detect hotspots from new layout. The grouping of layout clips is called Layout Pattern Classification. In this paper, we propose a method of Layout Pattern Classification considering representative clip creation in order to decrease the number of groups. Experimental results indicate the effectiveness of the proposed method. |
キーワード |
(和) |
レイアウトパターン分類 / クラスタリング / / / / / / |
(英) |
Layout Pattern Classification / Clustering / / / / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 121, no. 277, VLD2021-44, pp. 156-161, 2021年12月. |
資料番号 |
VLD2021-44 |
発行日 |
2021-11-24 (VLD, ICD, DC, RECONF) |
ISSN |
Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
PDFダウンロード |
VLD2021-44 ICD2021-54 DC2021-50 RECONF2021-52 エレソ技報アーカイブへのリンク:ICD2021-54 |
研究会情報 |
研究会 |
VLD DC RECONF ICD IPSJ-SLDM |
開催期間 |
2021-12-01 - 2021-12-02 |
開催地(和) |
オンライン開催 |
開催地(英) |
Online |
テーマ(和) |
デザインガイア2021 -VLSI設計の新しい大地- |
テーマ(英) |
Design Gaia 2021 -New Field of VLSI Design- |
講演論文情報の詳細 |
申込み研究会 |
VLD |
会議コード |
2021-12-VLD-DC-RECONF-ICD-SLDM |
本文の言語 |
日本語 |
タイトル(和) |
代表クリップ生成を考慮したレイアウトパターン分類問題における改良手法 |
サブタイトル(和) |
Changらの判定法の解析に基づいた手法の提案 |
タイトル(英) |
An Improved Method of Layout Pattern Classification with Creating Representative Clip |
サブタイトル(英) |
* |
キーワード(1)(和/英) |
レイアウトパターン分類 / Layout Pattern Classification |
キーワード(2)(和/英) |
クラスタリング / Clustering |
キーワード(3)(和/英) |
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キーワード(4)(和/英) |
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キーワード(5)(和/英) |
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キーワード(6)(和/英) |
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キーワード(7)(和/英) |
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キーワード(8)(和/英) |
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第1著者 氏名(和/英/ヨミ) |
桝谷 智哉 / Tomoya Masutani / マスタニ トモヤ |
第1著者 所属(和/英) |
東京農工大学 (略称: 東京農工大)
Tokyo University of Agriculture and Technology (略称: TUAT) |
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) |
石野 修平 / Ishino Shuhei / イシノ シュウヘイ |
第2著者 所属(和/英) |
東京農工大学 (略称: 東京農工大)
Tokyo University of Agriculture and Technology (略称: TUAT) |
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) |
藤吉 邦洋 / Kunihiro Fujiyoshi / フジヨシ クニヒロ |
第3著者 所属(和/英) |
東京農工大学 (略称: 東京農工大)
Tokyo University of Agriculture and Technology (略称: TUAT) |
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第5著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第6著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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講演者 |
第1著者 |
発表日時 |
2021-12-02 15:10:00 |
発表時間 |
25分 |
申込先研究会 |
VLD |
資料番号 |
VLD2021-44, ICD2021-54, DC2021-50, RECONF2021-52 |
巻番号(vol) |
vol.121 |
号番号(no) |
no.277(VLD), no.278(ICD), no.279(DC), no.280(RECONF) |
ページ範囲 |
pp.156-161 |
ページ数 |
6 |
発行日 |
2021-11-24 (VLD, ICD, DC, RECONF) |
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