講演抄録/キーワード |
講演名 |
2022-03-01 16:10
[依頼講演]非線形スペクトル変化によるシリコン導波路の内部構造モデリング手法の感度の向上 ○倉橋朋也・牧野将之・上川涼平・小西 毅(阪大) PN2021-64 |
抄録 |
(和) |
シリコン導波路デバイスをはじめ微細加工技術を用いた光デバイスの製造評価には内部構造のモデリングが重要であり,伝搬軸に沿った構造の分布計測が必要となる.これまでに我々は,プローブ光パルスの誘引する非線形スペクトル変化を用いた非破壊な内部構造モデリング手法を提案し,シリコン導波路の構造モデリングに対する有効性を確認している.本手法を用いてシリコン導波路の内部構造モデリングを精度よく行う際には,導波路内での非線形スペクトル変化の十分な誘引が重要となる.本研究では,導波路内での非線形スペクトル変化が十分に得られない状況において,計測の感度を向上させる方法を提案し,その有効性について検討する. |
(英) |
The evaluation of the fabrication quality of microfabricated optical devices requires modeling their internal structures along with the propagation axis. Previously, we have proposed an evaluation method for the internal structure models along with the propagation axis based on the accumulated nonlinear spectral change and data assimilation. However, if the spectral change is not sufficient, the assessment error could increase. In this study, we propose a new measurement system for structure modeling to improve its accuracy and confirm its effectiveness. |
キーワード |
(和) |
シリコンフォトニクス / 非線形光学効果 / 光デバイス / 構造モデリング / / / / |
(英) |
Silicon photonics / Nonlinear optical effect / Optical devices / Structure modeling / / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 121, no. 386, PN2021-64, pp. 60-64, 2022年3月. |
資料番号 |
PN2021-64 |
発行日 |
2022-02-22 (PN) |
ISSN |
Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
PDFダウンロード |
PN2021-64 |
研究会情報 |
研究会 |
PN |
開催期間 |
2022-03-01 - 2022-03-02 |
開催地(和) |
オンライン開催 |
開催地(英) |
Online |
テーマ(和) |
フォトニックネットワーク関連技術,一般 |
テーマ(英) |
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講演論文情報の詳細 |
申込み研究会 |
PN |
会議コード |
2022-03-PN |
本文の言語 |
日本語 |
タイトル(和) |
非線形スペクトル変化によるシリコン導波路の内部構造モデリング手法の感度の向上 |
サブタイトル(和) |
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タイトル(英) |
Enhancement of measurement sensitivity in an internal structure modeling method for silicon waveguides using nonlinear spectral change |
サブタイトル(英) |
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キーワード(1)(和/英) |
シリコンフォトニクス / Silicon photonics |
キーワード(2)(和/英) |
非線形光学効果 / Nonlinear optical effect |
キーワード(3)(和/英) |
光デバイス / Optical devices |
キーワード(4)(和/英) |
構造モデリング / Structure modeling |
キーワード(5)(和/英) |
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キーワード(6)(和/英) |
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キーワード(7)(和/英) |
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キーワード(8)(和/英) |
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第1著者 氏名(和/英/ヨミ) |
倉橋 朋也 / Tomoya Kurahashi / クラハシ トモヤ |
第1著者 所属(和/英) |
大阪大学 (略称: 阪大)
Osaka University (略称: Osaka Univ.) |
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) |
牧野 将之 / Masayuki Makino / マキノ マサユキ |
第2著者 所属(和/英) |
大阪大学 (略称: 阪大)
Osaka University (略称: Osaka Univ.) |
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) |
上川 涼平 / Ryohei Kamikawa / カミカワ リョウヘイ |
第3著者 所属(和/英) |
大阪大学 (略称: 阪大)
Osaka University (略称: Osaka Univ.) |
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) |
小西 毅 / Tsuyoshi Konishi / コニシ ツヨシ |
第4著者 所属(和/英) |
大阪大学 (略称: 阪大)
Osaka University (略称: Osaka Univ.) |
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第5著者 所属(和/英) |
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第6著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第10著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第11著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第12著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第13著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第14著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第15著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第16著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第17著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第18著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第19著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第20著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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講演者 |
第1著者 |
発表日時 |
2022-03-01 16:10:00 |
発表時間 |
20分 |
申込先研究会 |
PN |
資料番号 |
PN2021-64 |
巻番号(vol) |
vol.121 |
号番号(no) |
no.386 |
ページ範囲 |
pp.60-64 |
ページ数 |
5 |
発行日 |
2022-02-22 (PN) |