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講演抄録/キーワード
講演名 2022-03-01 16:10
[依頼講演]非線形スペクトル変化によるシリコン導波路の内部構造モデリング手法の感度の向上
倉橋朋也牧野将之上川涼平小西 毅阪大PN2021-64
抄録 (和) シリコン導波路デバイスをはじめ微細加工技術を用いた光デバイスの製造評価には内部構造のモデリングが重要であり,伝搬軸に沿った構造の分布計測が必要となる.これまでに我々は,プローブ光パルスの誘引する非線形スペクトル変化を用いた非破壊な内部構造モデリング手法を提案し,シリコン導波路の構造モデリングに対する有効性を確認している.本手法を用いてシリコン導波路の内部構造モデリングを精度よく行う際には,導波路内での非線形スペクトル変化の十分な誘引が重要となる.本研究では,導波路内での非線形スペクトル変化が十分に得られない状況において,計測の感度を向上させる方法を提案し,その有効性について検討する. 
(英) The evaluation of the fabrication quality of microfabricated optical devices requires modeling their internal structures along with the propagation axis. Previously, we have proposed an evaluation method for the internal structure models along with the propagation axis based on the accumulated nonlinear spectral change and data assimilation. However, if the spectral change is not sufficient, the assessment error could increase. In this study, we propose a new measurement system for structure modeling to improve its accuracy and confirm its effectiveness.
キーワード (和) シリコンフォトニクス / 非線形光学効果 / 光デバイス / 構造モデリング / / / /  
(英) Silicon photonics / Nonlinear optical effect / Optical devices / Structure modeling / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 121, no. 386, PN2021-64, pp. 60-64, 2022年3月.
資料番号 PN2021-64 
発行日 2022-02-22 (PN) 
ISSN Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード PN2021-64

研究会情報
研究会 PN  
開催期間 2022-03-01 - 2022-03-02 
開催地(和) オンライン開催 
開催地(英) Online 
テーマ(和) フォトニックネットワーク関連技術,一般 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 PN 
会議コード 2022-03-PN 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 非線形スペクトル変化によるシリコン導波路の内部構造モデリング手法の感度の向上 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Enhancement of measurement sensitivity in an internal structure modeling method for silicon waveguides using nonlinear spectral change 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) シリコンフォトニクス / Silicon photonics  
キーワード(2)(和/英) 非線形光学効果 / Nonlinear optical effect  
キーワード(3)(和/英) 光デバイス / Optical devices  
キーワード(4)(和/英) 構造モデリング / Structure modeling  
キーワード(5)(和/英) /  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 倉橋 朋也 / Tomoya Kurahashi / クラハシ トモヤ
第1著者 所属(和/英) 大阪大学 (略称: 阪大)
Osaka University (略称: Osaka Univ.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 牧野 将之 / Masayuki Makino / マキノ マサユキ
第2著者 所属(和/英) 大阪大学 (略称: 阪大)
Osaka University (略称: Osaka Univ.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 上川 涼平 / Ryohei Kamikawa / カミカワ リョウヘイ
第3著者 所属(和/英) 大阪大学 (略称: 阪大)
Osaka University (略称: Osaka Univ.)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 小西 毅 / Tsuyoshi Konishi / コニシ ツヨシ
第4著者 所属(和/英) 大阪大学 (略称: 阪大)
Osaka University (略称: Osaka Univ.)
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講演者 第1著者 
発表日時 2022-03-01 16:10:00 
発表時間 20分 
申込先研究会 PN 
資料番号 PN2021-64 
巻番号(vol) vol.121 
号番号(no) no.386 
ページ範囲 pp.60-64 
ページ数
発行日 2022-02-22 (PN) 


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