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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2022-06-21 14:30 ［依頼講演］オペランド・ナノX線分光を活用した次世代高周波デバイス研究 ○吹留博一（東北大）  SDM2022-27 |
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| 抄録 | （和） | DGs実現に向けて、低環境負荷物質を駆使してデバイス、例えば、二次元物質を用いた超高速トランジスタを開発しなければならない。そのために、我々は、「動作下におけるデバイスの電子状態を観測する」オペランド・ナノX線分光を開拓した。本法により、通常の計測手法では観測できない、界面物性のダイナミクスを計測することができた。観測結果を基に、デバイスの高性能化を図っているところである。 |
| （英） | For realizing SDGs, the ultrahigh-speed transistors using low-environmnetal load materias, such as those suing 2D materials, should be developed. For this purpose, we have exploited operando nano x-ray microscopies which observe electronic states under device operation conditions. These spectroscopies found interfacial dynamics of electronic properties which could not be observed traditional methods. We are trying in improving device performamces, based on the findings. | |
| キーワード | （和） | オペランド・ナノX線分光 / 二次元物質 / トランジスタ / / / / / |
| （英） | operando nano x-ray spectroscopy / 2D materials / Trnasistor / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 122, no. 84, SDM2022-27, pp. 13-15, 2022年6月. | |
| 資料番号 | SDM2022-27 | |
| 発行日 | 2022-06-14 (SDM) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | SDM2022-27 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
| 開催期間 | 2022-06-21 - 2022-06-21 |
| 開催地（和） | 名古屋大学 VBL３F |
| 開催地（英） | Nagoya Univ. VBL3F |
| テーマ（和） | MOSデバイス・メモリ・パワーデバイス高性能化－材料・プロセス技術 （応用物理学会 シリコンテクノロジー分科会との合同開催） |
| テーマ（英） | Material Science and Process Technology for MOS Devices, Memories, and Power Devices |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | SDM |
| 会議コード | 2022-06-SDM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | オペランド・ナノX線分光を活用した次世代高周波デバイス研究 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Study on the next-generation high frequency deivices using operando nano x-ray spectroscopy |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | オペランド・ナノX線分光 / operando nano x-ray spectroscopy |
| キーワード(2)（和/英） | 二次元物質 / 2D materials |
| キーワード(3)（和/英） | トランジスタ / Trnasistor |
| キーワード(4)（和/英） | / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 吹留 博一 / Hirokakazu Fukidome / |
| 第1著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2022-06-21 14:30:00 |
| 発表時間 | 40分 |
| 申込先研究会 | SDM |
| 資料番号 | SDM2022-27 |
| 巻番号（vol） | vol.122 |
| 号番号（no） | no.84 |
| ページ範囲 | pp.13-15 |
| ページ数 | 3 |
| 発行日 | 2022-06-14 (SDM) |
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