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講演抄録/キーワード
講演名 2022-07-19 09:45
CO2レーザーによるITO電極パターニングと有機ELデバイス作製
畑佐達也森本勝大中 茂樹富山大OME2022-19
抄録 (和) ITO電極のパターニングには、一般的にフォトリソグラフィが採用されているが、作製プロセスが複雑であり時間を要する。本研究ではITO電極の簡便かつ短時間でパターニング可能な技術として、CO2レーザーによるレーザーパターニングを採用し、有機ELデバイスの作製およびデバイス性能を評価した。レーザーパターニングしたデバイスは、レーザー照射の影響によってITO端面に表面隆起が生じ、その部分のみ強い発光が確認された。PEDOT:PSSを正孔注入層としてスピンコート成膜することでITO端面での隆起が緩和され、市販のパターニング済みITO基板のデバイスと同等な特性を得た。 
(英) Laser patterning using a CO2 laser was examined as a simple patterning technique for ITO electrodes, and an organic light-emitting diode (OLED) devices were fabricated. OLED devices with laser-patterned showed a surface roughness and a strong emission at ITO edge. PEDOT:PSS layer as the hole injection layer was spin-coated on laser-patterned ITO to reduce the surface roughness. As a result, the OLED with laser-patterned ITO showed uniformity emission and the equivalent properties similar to typical devices.
キーワード (和) 有機EL / CO2レーザー / パターニング / ITO電極 / / / /  
(英) organic light-emitting diode / CO2 laser / patterning / ITO electrode / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 122, no. 116, OME2022-19, pp. 26-30, 2022年7月.
資料番号 OME2022-19 
発行日 2022-07-11 (OME) 
ISSN Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード OME2022-19

研究会情報
研究会 OME IEE-DEI  
開催期間 2022-07-18 - 2022-07-19 
開催地(和) 軽井沢観光振興センター会議室 
開催地(英) Karuizawa-machi Tourism promotion center 
テーマ(和) 有機薄膜,有機・バイオデバイス,一般 
テーマ(英) Organic film, Organic-Bio devices, etc. 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 OME 
会議コード 2022-07-OME-DEI 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) CO2レーザーによるITO電極パターニングと有機ELデバイス作製 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) CO2 laser patterning of ITO electrode for Organic Light-emitting Diode devices 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) 有機EL / organic light-emitting diode  
キーワード(2)(和/英) CO2レーザー / CO2 laser  
キーワード(3)(和/英) パターニング / patterning  
キーワード(4)(和/英) ITO電極 / ITO electrode  
キーワード(5)(和/英) /  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 畑佐 達也 / Tatsuya Hatasa / ハタサ タツヤ
第1著者 所属(和/英) 富山大学 (略称: 富山大)
University of Toyama (略称: Univ. Toyama)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 森本 勝大 / Masahiro Morimoto / モリモト マサヒロ
第2著者 所属(和/英) 富山大学 (略称: 富山大)
University of Toyama (略称: Univ. Toyama)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 中 茂樹 / Shigeki Naka / ナカ シゲキ
第3著者 所属(和/英) 富山大学 (略称: 富山大)
University of Toyama (略称: Univ. Toyama)
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講演者 第1著者 
発表日時 2022-07-19 09:45:00 
発表時間 25分 
申込先研究会 OME 
資料番号 OME2022-19 
巻番号(vol) vol.122 
号番号(no) no.116 
ページ範囲 pp.26-30 
ページ数
発行日 2022-07-11 (OME) 


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