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講演抄録/キーワード
講演名 2022-11-07 14:35
[招待講演]異方性エッチングを用いた二段導波路型スポットサイズ変換器
田中 肇住友電工)・山日竜二住友電工デバイス・イノベーション)・北村崇光住友電工デバイス・イノベーション/住友電工)・堀野和彦住友電工デバイス・イノベーション)・石川 務住友電工)・江川 満住友電工デバイス・イノベーション/住友電工PN2022-25
抄録 (和) 年々増加する通信量に対応するため,コヒーレント通信は従来の遠距離通信から都市間・都市内やデータセンターなどの中~近距離に用いられるようになってきた.化合物半導体であるInPは高速変調を実現する材料特性を保有しており,我々はInPを用いて小型かつ高速な多値変調素子を開発してきた.外部光学系と素子間における光結合損失の低減に有効とされるスポットサイズ変換器は,高効率とするために結晶再成長で集積されることが多い.本報告では異方性エッチングを利用することで,1回の結晶成長のみで集積可能とし,波長1.55 mにおいて0.93 dB,1.52~1.58 mの範囲で1.3 dB以下の結合損失を実現した. 
(英) Coherent technology has been widely used from long haul to metro network. InP is a material having unique characteristics for realizing high speed modulation, and we have developed high speed and small size InP-based dual-polarization In-phase and Quadrature modulator. Spot size converter (SSC) is key structure for reducing optical loss between modulator and optical lens. However, SSC with low optical loss needed 2nd epitaxial growth to integrate with modulator. We demonstrated SSC having two stories employing anisotropic etching process with 1.3 dB loss in 1.52~1.58 m wavelength.
キーワード (和) スポットサイズ変換器 / 異方性エッチング / 多値変調素子 / InP / コヒーレント / / /  
(英) SSC / Spot size converter / Anisotropic etching / In-phase and Quadrature modulator / InP / Coherent / /  
文献情報 信学技報, vol. 122, no. 242, PN2022-25, pp. 22-27, 2022年11月.
資料番号 PN2022-25 
発行日 2022-10-31 (PN) 
ISSN Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード PN2022-25

研究会情報
研究会 PN  
開催期間 2022-11-07 - 2022-11-08 
開催地(和) 高知城歴史博物館 
開催地(英)  
テーマ(和) エラスティックネットワーク、フレキシブルネットワーク、光ネットワーク制御・プロトコル、トランスポートSDN、IPバックボーン、空間多重(SDM)、モード多重、光ネットワークデバイス、JPNモデル、EXATおよび一般 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 PN 
会議コード 2022-11-PN 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 異方性エッチングを用いた二段導波路型スポットサイズ変換器 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Spot size converter having two stories employing anisotropic etching process 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) スポットサイズ変換器 / SSC  
キーワード(2)(和/英) 異方性エッチング / Spot size converter  
キーワード(3)(和/英) 多値変調素子 / Anisotropic etching  
キーワード(4)(和/英) InP / In-phase and Quadrature modulator  
キーワード(5)(和/英) コヒーレント / InP  
キーワード(6)(和/英) / Coherent  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 田中 肇 / Hajime Tanaka / タナカ ハジメ
第1著者 所属(和/英) 住友電気工業株式会社 (略称: 住友電工)
Sumitomo Electric Industries, Ltd. (略称: SEI)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 山日 竜二 / Ryuji Yamabi / ヤマビ リュウジ
第2著者 所属(和/英) 住友電工デバイス・イノベーション株式会社 (略称: 住友電工デバイス・イノベーション)
SUMITOMO ELECTRIC DEVICE INNOVATIONS, INC. (略称: SEDI)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 北村 崇光 / Takamitsu Kitamura / キタムラ タカミツ
第3著者 所属(和/英) 住友電工デバイス・イノベーション株式会社/住友電気工業株式会社 (略称: 住友電工デバイス・イノベーション/住友電工)
SUMITOMO ELECTRIC DEVICE INNOVATIONS, INC./Sumitomo Electric Industries, Ltd. (略称: SEDI/SEI)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 堀野 和彦 / Hotino Kazuhiko / ホリノ カズヒコ
第4著者 所属(和/英) 住友電工デバイス・イノベーション株式会社 (略称: 住友電工デバイス・イノベーション)
SUMITOMO ELECTRIC DEVICE INNOVATIONS, INC. (略称: SEDI)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 石川 務 / Ishikawa Tsutomu / イシカワ ツトム
第5著者 所属(和/英) 住友電気工業株式会社 (略称: 住友電工)
Sumitomo Electric Industries, Ltd. (略称: SEI)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) 江川 満 / Mitsuru Ekawa / エカワ ミツル
第6著者 所属(和/英) 住友電工デバイス・イノベーション株式会社/住友電気工業株式会社 (略称: 住友電工デバイス・イノベーション/住友電工)
SUMITOMO ELECTRIC DEVICE INNOVATIONS, INC./Sumitomo Electric Industries, Ltd. (略称: SEDI/SEI)
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講演者 第1著者 
発表日時 2022-11-07 14:35:00 
発表時間 50分 
申込先研究会 PN 
資料番号 PN2022-25 
巻番号(vol) vol.122 
号番号(no) no.242 
ページ範囲 pp.22-27 
ページ数
発行日 2022-10-31 (PN) 


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