| 講演抄録/キーワード |
| 講演名 |
2022-11-07 14:35
[招待講演]異方性エッチングを用いた二段導波路型スポットサイズ変換器 ○田中 肇(住友電工)・山日竜二(住友電工デバイス・イノベーション)・北村崇光(住友電工デバイス・イノベーション/住友電工)・堀野和彦(住友電工デバイス・イノベーション)・石川 務(住友電工)・江川 満(住友電工デバイス・イノベーション/住友電工) PN2022-25 |
| 抄録 |
(和) |
年々増加する通信量に対応するため,コヒーレント通信は従来の遠距離通信から都市間・都市内やデータセンターなどの中~近距離に用いられるようになってきた.化合物半導体であるInPは高速変調を実現する材料特性を保有しており,我々はInPを用いて小型かつ高速な多値変調素子を開発してきた.外部光学系と素子間における光結合損失の低減に有効とされるスポットサイズ変換器は,高効率とするために結晶再成長で集積されることが多い.本報告では異方性エッチングを利用することで,1回の結晶成長のみで集積可能とし,波長1.55 mにおいて0.93 dB,1.52~1.58 mの範囲で1.3 dB以下の結合損失を実現した. |
| (英) |
Coherent technology has been widely used from long haul to metro network. InP is a material having unique characteristics for realizing high speed modulation, and we have developed high speed and small size InP-based dual-polarization In-phase and Quadrature modulator. Spot size converter (SSC) is key structure for reducing optical loss between modulator and optical lens. However, SSC with low optical loss needed 2nd epitaxial growth to integrate with modulator. We demonstrated SSC having two stories employing anisotropic etching process with 1.3 dB loss in 1.52~1.58 m wavelength. |
| キーワード |
(和) |
スポットサイズ変換器 / 異方性エッチング / 多値変調素子 / InP / コヒーレント / / / |
| (英) |
SSC / Spot size converter / Anisotropic etching / In-phase and Quadrature modulator / InP / Coherent / / |
| 文献情報 |
信学技報, vol. 122, no. 242, PN2022-25, pp. 22-27, 2022年11月. |
| 資料番号 |
PN2022-25 |
| 発行日 |
2022-10-31 (PN) |
| ISSN |
Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
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PN2022-25 |