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講演抄録/キーワード
講演名 2022-11-16 14:45
プローブ後方反射法を利用したミリ波線路特性の予測
坂巻 亮小林 健産総研MW2022-130
抄録 (和) 5G無線通信の商用サービスがすでに開始されているが、既に国内外でポスト5Gや6G無線通信の規格についての議論が開始されている[1]。利用する周波数帯としては、340 GHz以下の帯域が候補とされている。そのため、340 GHz以下の帯域での材料計測方法は今後必須になると考えられる。産総研では、これまで高精度プローブ法を応用したプローブ後方反射(Probe-Backside Reflection, PBR)法を開発し340 GHz以下の周波数帯で誘電体材料の複素誘電特性を評価し、その測定結果の妥当性を材料の結晶構造から推測されるフォノンモデルと比較して検証し[2,3]、PBR法による300 GHz帯における材料の温度特性の評価を実施してきた[4]。さらに、PBR法を用いたミリ波デバイスの特性予想を実証してきた[5]。本稿においては、PBR法を用いて高抵抗シリコンを用いた時のデバイス特性の予測を行ない、thru-reflect-line(TRL)法[6]とその予測精度の比較を行なった。 
(英) (Not available yet)
キーワード (和) 材料計測 / ミリ波 / シリコン / オンウエハ / / / /  
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文献情報 信学技報, vol. 122, no. 250, MW2022-130, pp. 113-114, 2022年11月.
資料番号 MW2022-130 
発行日 2022-11-08 (MW) 
ISSN Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード MW2022-130

研究会情報
研究会 MW  
開催期間 2022-11-15 - 2022-11-16 
開催地(和) 福江文化会館 
開催地(英) Fukue-Bunka-Kaikan 
テーマ(和) マイクロ波一般 
テーマ(英) Microwave, etc. 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 MW 
会議コード 2022-11-MW 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) プローブ後方反射法を利用したミリ波線路特性の予測 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Estimation of transmission line loss with probe-backside reflection method 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) 材料計測 /  
キーワード(2)(和/英) ミリ波 /  
キーワード(3)(和/英) シリコン /  
キーワード(4)(和/英) オンウエハ /  
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キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 坂巻 亮 / Ryo Sakamaki / サカマキ リョウ
第1著者 所属(和/英) 産業技術総合研究所 (略称: 産総研)
National Institute of Advanced Industrial Science and Technologies (略称: AIST)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 小林 健 / Takeshi Kobayashi / コバヤシ タケシ
第2著者 所属(和/英) 産業技術総合研究所 (略称: 産総研)
National Institute of Advanced Industrial Science and Technologies (略称: AIST)
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講演者 第1著者 
発表日時 2022-11-16 14:45:00 
発表時間 25分 
申込先研究会 MW 
資料番号 MW2022-130 
巻番号(vol) vol.122 
号番号(no) no.250 
ページ範囲 pp.113-114 
ページ数
発行日 2022-11-08 (MW) 


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