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講演抄録/キーワード
講演名 2022-11-17 10:00
エラー検出付き光学的線形判別フィルタを利用した誘電体表面の微細凹凸識別の汎化能力改善
島田慎吾杉坂純一郎平山浩一安井 崇北見工大EMT2022-53
抄録 (和) 物体表面の凹凸を高精度で識別するために,様々な光計測手法が開発されている.しかし,照明光の波長以下の微細な構造に関しては,形状と散乱波の関係が複雑になるため正確に凹凸を識別することは困難である.本研究では誘電体表面の微細な欠陥の凹凸を識別するための光学フィルタを設計する.このフィルタは,Fisher の線形判別分析を光学的に実装しており,フィルタ透過後の光強度値と閾値を比較することで識別することが可能である.1 枚のフィルタのみでは識別精度が十分でなく,識別エラーを検出する別のフィルタを追加し,識別精度の改善を試みる.数値シミュレーションで識別テストを行い,提案手法の効果を検証する. 
(英) Various optical measurement methods have been developed to precisely identify the defects on the surface of dielectric substrate. However, it is difficult to accurately identify when the defect is smaller than the wavelength of illumination because the relation of scattered waves and the defect shape becomes complicated. In this study, an optical filter is designed to discriminate the concavity and convexity of the defect. The filter is designed as optical implementation of Fisher’s linear discriminant analysis, and can discriminate by comparing the intensity after transmitting the filter with a threshold value. We further designed another filter to detect the discrimination error. Compared with a single filter, we show the effect of the second filter by numerical simulation.
キーワード (和) 逆散乱解析 / 光計測 / 計算機合成ホログラム / Fisherの線形判別分析 / 境界要素法 / / /  
(英) inverse-scattering analysis / optical measurement / computer-generated hologram / Fisher’s linear discriminant analysis / boundary element method / / /  
文献情報 信学技報, vol. 122, no. 256, EMT2022-53, pp. 53-58, 2022年11月.
資料番号 EMT2022-53 
発行日 2022-11-10 (EMT) 
ISSN Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード EMT2022-53

研究会情報
研究会 EMT IEE-EMT  
開催期間 2022-11-17 - 2022-11-19 
開催地(和) 機械振興会館 
開催地(英) Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. 
テーマ(和) 電磁界理論一般 
テーマ(英) Electromagnetic Theory, etc. 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 EMT 
会議コード 2022-11-EMT-EMT 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) エラー検出付き光学的線形判別フィルタを利用した誘電体表面の微細凹凸識別の汎化能力改善 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Generalization capability improvement of fine-defect discrimination on dielectric surface using optical linear discrimination analysis filter with error detection 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) 逆散乱解析 / inverse-scattering analysis  
キーワード(2)(和/英) 光計測 / optical measurement  
キーワード(3)(和/英) 計算機合成ホログラム / computer-generated hologram  
キーワード(4)(和/英) Fisherの線形判別分析 / Fisher’s linear discriminant analysis  
キーワード(5)(和/英) 境界要素法 / boundary element method  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 島田 慎吾 / Shingo Shimada / シマダ シンゴ
第1著者 所属(和/英) 北見工業大学 (略称: 北見工大)
Kitami Institute of Technology (略称: Kitami Inst. Tech.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 杉坂 純一郎 / Jun-ichiro Sugisaka / スギサカ ジュンイチロウ
第2著者 所属(和/英) 北見工業大学 (略称: 北見工大)
Kitami Institute of Technology (略称: Kitami Inst. Tech.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 平山 浩一 / Koichi Hirayama /
第3著者 所属(和/英) 北見工業大学 (略称: 北見工大)
Kitami Institute of Technology (略称: Kitami Inst. Tech.)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 安井 崇 / Takashi Yasui /
第4著者 所属(和/英) 北見工業大学 (略称: 北見工大)
Kitami Institute of Technology (略称: Kitami Inst. Tech.)
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講演者 第1著者 
発表日時 2022-11-17 10:00:00 
発表時間 25分 
申込先研究会 EMT 
資料番号 EMT2022-53 
巻番号(vol) vol.122 
号番号(no) no.256 
ページ範囲 pp.53-58 
ページ数
発行日 2022-11-10 (EMT) 


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