講演抄録/キーワード |
講演名 |
2022-11-17 10:00
エラー検出付き光学的線形判別フィルタを利用した誘電体表面の微細凹凸識別の汎化能力改善 ○島田慎吾・杉坂純一郎・平山浩一・安井 崇(北見工大) EMT2022-53 |
抄録 |
(和) |
物体表面の凹凸を高精度で識別するために,様々な光計測手法が開発されている.しかし,照明光の波長以下の微細な構造に関しては,形状と散乱波の関係が複雑になるため正確に凹凸を識別することは困難である.本研究では誘電体表面の微細な欠陥の凹凸を識別するための光学フィルタを設計する.このフィルタは,Fisher の線形判別分析を光学的に実装しており,フィルタ透過後の光強度値と閾値を比較することで識別することが可能である.1 枚のフィルタのみでは識別精度が十分でなく,識別エラーを検出する別のフィルタを追加し,識別精度の改善を試みる.数値シミュレーションで識別テストを行い,提案手法の効果を検証する. |
(英) |
Various optical measurement methods have been developed to precisely identify the defects on the surface of dielectric substrate. However, it is difficult to accurately identify when the defect is smaller than the wavelength of illumination because the relation of scattered waves and the defect shape becomes complicated. In this study, an optical filter is designed to discriminate the concavity and convexity of the defect. The filter is designed as optical implementation of Fisher’s linear discriminant analysis, and can discriminate by comparing the intensity after transmitting the filter with a threshold value. We further designed another filter to detect the discrimination error. Compared with a single filter, we show the effect of the second filter by numerical simulation. |
キーワード |
(和) |
逆散乱解析 / 光計測 / 計算機合成ホログラム / Fisherの線形判別分析 / 境界要素法 / / / |
(英) |
inverse-scattering analysis / optical measurement / computer-generated hologram / Fisher’s linear discriminant analysis / boundary element method / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 122, no. 256, EMT2022-53, pp. 53-58, 2022年11月. |
資料番号 |
EMT2022-53 |
発行日 |
2022-11-10 (EMT) |
ISSN |
Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
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EMT2022-53 |