| 講演抄録/キーワード |
| 講演名 |
2022-12-08 15:35
表面拡散法におけるPt薄膜積層数が単原子終端Wピラミッドの形成に与える効果 ○國枝夕夏・浅井泰尊・吉田真子・稲葉雪乃・村田英一・六田英治(名城大) ED2022-56 |
| 抄録 |
(和) |
W 針を貴金属単原子層で覆い加熱することにより、単原子終端 W ピラミッドを作製できる。この
ピラミッド構造は熱力学的平衡状態にあり、作製法の違いは、単原子層の貴金属をいかに供給するかから生じる。これまで、我々は、W 針先端から離れた表面に電気化学的に被膜した貴金属薄膜から加熱時の表面拡散により貴金属原子を W 針先端に供給し、ピラミッドを作製した(後方メッキ法と呼ぶ)。その際、供給源の貴金属薄膜内の貴金属原子数は、ピラミッドの再生回数を決めるだけでなく、過供給を誘起する可能性を含み、最適化すべき作製レシピの重要変数である。本研究では、積層数の異なる Pt 薄膜を擁する W 線を針化して、先端にピラミッド形成を試み、ピラミッド構造の積層数に対する依存を調査した。その結果、W 針先端の形成過程と過供給に達する加熱時間は、どちらとも積層数に依存することを見出した。 |
| (英) |
Surface diffusion method was used to produce tungsten (W) nanopyramids coated with monolayer films of platinum (Pt). In the method, Pt films used as a material source were electroplated in the rear regions of the W tip. In this study, we changed the thickness number of the Pt films from 22 to 274 layers, and investigated the dynamics of the nanopyramid formation as well as whether or not an excess supply of Pt atoms deformed the nanopyramid structures. As a result, both of them were clarified to depend on the number of layers of the electroplated Pt films. |
| キーワード |
(和) |
ピラミッド / ファセット / 積層数 / 表面拡散 / 過供給 / / / |
| (英) |
nanopyramids / layers / Surface diffusion / / / / / |
| 文献情報 |
信学技報, vol. 122, no. 298, ED2022-56, pp. 23-25, 2022年12月. |
| 資料番号 |
ED2022-56 |
| 発行日 |
2022-12-01 (ED) |
| ISSN |
Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
| PDFダウンロード |
ED2022-56 |
| 研究会情報 |
| 研究会 |
ED |
| 開催期間 |
2022-12-08 - 2022-12-09 |
| 開催地(和) |
12/8 名大,12/9 ウインク愛知(会場は「詳細はこちら」を参照ください) |
| 開催地(英) |
12/8 Nagoya University, 12/9 WINC AICHI |
| テーマ(和) |
電子・イオンビーム応用 |
| テーマ(英) |
Applications of electron and ion beam |
| 講演論文情報の詳細 |
| 申込み研究会 |
ED |
| 会議コード |
2022-12-ED |
| 本文の言語 |
日本語 |
| タイトル(和) |
表面拡散法におけるPt薄膜積層数が単原子終端Wピラミッドの形成に与える効果 |
| サブタイトル(和) |
|
| タイトル(英) |
Effect of the coverage of Pt thin films on the formation of W nano-pyramids in the surface diffusion method |
| サブタイトル(英) |
|
| キーワード(1)(和/英) |
ピラミッド / nanopyramids |
| キーワード(2)(和/英) |
ファセット / layers |
| キーワード(3)(和/英) |
積層数 / Surface diffusion |
| キーワード(4)(和/英) |
表面拡散 / |
| キーワード(5)(和/英) |
過供給 / |
| キーワード(6)(和/英) |
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| キーワード(7)(和/英) |
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| キーワード(8)(和/英) |
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| 第1著者 氏名(和/英/ヨミ) |
國枝 夕夏 / Yuka Kunieda / クニエダ ユウカ |
| 第1著者 所属(和/英) |
名城大学 (略称: 名城大)
Meijo University (略称: Meijo Univ.) |
| 第2著者 氏名(和/英/ヨミ) |
浅井 泰尊 / Asai Hirotaka / アサイ ヒロタカ |
| 第2著者 所属(和/英) |
名城大学 (略称: 名城大)
Meijo University (略称: Meijo Univ.) |
| 第3著者 氏名(和/英/ヨミ) |
吉田 真子 / Yoshida Mako / ヨシダ マコ |
| 第3著者 所属(和/英) |
名城大学 (略称: 名城大)
Meijo University (略称: Meijo Univ.) |
| 第4著者 氏名(和/英/ヨミ) |
稲葉 雪乃 / Yukino Inaba / イナバ ユキノ |
| 第4著者 所属(和/英) |
名城大学 (略称: 名城大)
Meijo University (略称: Meijo Univ.) |
| 第5著者 氏名(和/英/ヨミ) |
村田 英一 / Murata Hidekazu / ムラタ ヒデカズ |
| 第5著者 所属(和/英) |
名城大学 (略称: 名城大)
Meijo University (略称: Meijo Univ.) |
| 第6著者 氏名(和/英/ヨミ) |
六田 英治 / Rokuta Eiji / ロクタ エイジ |
| 第6著者 所属(和/英) |
名城大学 (略称: 名城大)
Meijo University (略称: Meijo Univ.) |
| 第7著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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| 講演者 |
第1著者 |
| 発表日時 |
2022-12-08 15:35:00 |
| 発表時間 |
25分 |
| 申込先研究会 |
ED |
| 資料番号 |
ED2022-56 |
| 巻番号(vol) |
vol.122 |
| 号番号(no) |
no.298 |
| ページ範囲 |
pp.23-25 |
| ページ数 |
3 |
| 発行日 |
2022-12-01 (ED) |