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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2022-12-09 16:00 電界誘起水及び酸素エッチングによるタングステン針からの特異な電子放出 ○稲葉雪乃・壁谷 桜・森岡咲帆・脇 彩花・吉田真子・國枝夕夏・村田英一・六田英治（名城大）  ED2022-69 |
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| 抄録 | （和） | 電界誘起酸素エッチングと呼ばれる真空中処理によりタングステン（W）針を先鋭化する試みがなされ、原子スケール終端をもつ収束性の高い電子ビームを放つ電子源が実現されている。本研究では、その研究副産物として単発的に報告された極低バイアス電子放出の再現を試みる。多数の試料準備を繰り返す中で、水を用いた電界誘起水エッチングを併用することで、極低バイアス電子放出を再現し、ならびに、電圧の顕著な低下を特徴とする電子放出を見い出すことができた。 |
| （英） | Field-assisted (FA)-oxygen etching is known as a method to change a typical tungsten (W) needle into highly coherent field emitters with tip apexes composed of countable atoms. On the other hand, although less known, the method also causes a peculiar electron emission characterized by extremely low biases with a very low frequency. In this study, we are aiming at the reproducible occurrence of the low-bias electron emission. So far, we found that effective is two-step process of FA-water etching followed by FA-oxygen one, which once caused the peculiar electron emission with low bias of 16 V. | |
| キーワード | （和） | ナノ電子源 / 電界放出 / 酸素エッチング / 水エッチング / タングステン / / / |
| （英） | nano electron source / electron emission / oxygen etching / water etching / tungsten / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 122, no. 298, ED2022-69, pp. 62-63, 2022年12月. | |
| 資料番号 | ED2022-69 | |
| 発行日 | 2022-12-01 (ED) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | ED2022-69 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED |
| 開催期間 | 2022-12-08 - 2022-12-09 |
| 開催地（和） | 12/8 名大，12/9 ウインク愛知（会場は「詳細はこちら」を参照ください） |
| 開催地（英） | 12/8 Nagoya University, 12/9 WINC AICHI |
| テーマ（和） | 電子・イオンビーム応用 |
| テーマ（英） | Applications of electron and ion beam |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | ED |
| 会議コード | 2022-12-ED |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 電界誘起水及び酸素エッチングによるタングステン針からの特異な電子放出 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Electron emission from W nano-tips fabricated via field-assisted - water and - oxygen etching |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | ナノ電子源 / nano electron source |
| キーワード(2)（和/英） | 電界放出 / electron emission |
| キーワード(3)（和/英） | 酸素エッチング / oxygen etching |
| キーワード(4)（和/英） | 水エッチング / water etching |
| キーワード(5)（和/英） | タングステン / tungsten |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 稲葉 雪乃 / Yukino Inaba / イナバ ユキノ |
| 第1著者 所属（和/英） | 名城大学 (略称： 名城大) Meijo University (略称： Meijo Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 壁谷 桜 / Sakura Kabeya / カベヤ サクラ |
| 第2著者 所属（和/英） | 名城大学 (略称： 名城大) Meijo University (略称： Meijo Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 森岡 咲帆 / Sakiho Morioka / モリオカ サキホ |
| 第3著者 所属（和/英） | 名城大学 (略称： 名城大) Meijo University (略称： Meijo Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 脇 彩花 / Ayaka Waki / ワキ アヤカ |
| 第4著者 所属（和/英） | 名城大学 (略称： 名城大) Meijo University (略称： Meijo Univ.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 吉田 真子 / Mako Yoshida / ヨシダ マコ |
| 第5著者 所属（和/英） | 名城大学 (略称： 名城大) Meijo University (略称： Meijo Univ.) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 國枝 夕夏 / Yuuka Kunieda / クニエダ ユウカ |
| 第6著者 所属（和/英） | 名城大学 (略称： 名城大) Meijo University (略称： Meijo Univ.) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） | 村田 英一 / Hidekazu Murata / ムラタ ヒデカズ |
| 第7著者 所属（和/英） | 名城大学 (略称： 名城大) Meijo University (略称： Meijo Univ.) |
| 第8著者 氏名（和/英/ヨミ） | 六田 英治 / Eiji Rokuta / ロクタ エイジ |
| 第8著者 所属（和/英） | 名城大学 (略称： 名城大) Meijo University (略称： Meijo Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2022-12-09 16:00:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | ED |
| 資料番号 | ED2022-69 |
| 巻番号（vol） | vol.122 |
| 号番号（no） | no.298 |
| ページ範囲 | pp.62-63 |
| ページ数 | 2 |
| 発行日 | 2022-12-01 (ED) |
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