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| 講演名 | 2022-12-22 16:50 ［ポスター講演］基板付き圧電薄膜のkt2評価における電極面積の影響 ○関 崚・清水祐樹・近藤圭太・柳谷隆彦（早大）  US2022-63 |
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| 抄録 | （和） | 電気機械結合係数kt2はBAWデバイスの性能を評価する重要なパラメータの一つである。kt2評価にはIEEE standardの共振・反共振法がよく用いられるが、本手法では薄膜自立構造(FBAR)が必要である。一方で、我々は共振周波数比法、電磁結合信号による変換損失(CL)法(電磁結合信号法)、推定した音響損失を差し引いたCL法(減衰推定法)といった基板除去を必要としない様々なkt2評価法を報告してきた。従来のCL法では基板内の回折損失と伝搬損失によってkt2が低く見積もられてしまうが、電磁結合信号法と減衰推定法はこの過小評価問題を解決している。本研究では、実測で同じScAlN薄膜の同一箇所における7つのkt2値評価法の比較を行なった。また、その際に確認されたkt2値の電極面積依存性について、有限要素解析を用いたシミュレーションによる検証を行った。 |
| （英） | Electromechanical coupling coefficient (kt2) is one of the important parameters to determine the performance of BAW devices. IEEE standard resonance-antiresonance method is one of the most suitable approaches to estimate kt2. However, this method needs self-standing film structure (FBAR). On the other hand, we previously proposed various kt2 determination methods without removing substrate, such as resonant frequency ratio method, conversion loss (CL) method with electromagnetic signal, and CL method with subtracting acoustic losses. In the conventional CL method, kt2 is underestimated due to diffraction loss and propagation loss in the substrate. However, CL method with electromagnetic signal, and CL method with subtracting acoustic losses eliminate these underestimations. In this study, we experimentally compared various kt2 extraction methods at the same point on the same ScAlN thin films. In addition, we experimentally and theoretically investigated the electrode size dependence on the result of kt2 estimation by using finite element analysis. | |
| キーワード | （和） | 電気機械結合係数(kt2) / 基板付き薄膜構造 / 圧電薄膜 / 電極面積 / 有限要素法 / / / |
| （英） | Electromechanical coupling coefficient(kt2) / HBAR / Piezoelectric film / Electrode area / FEM / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 122, no. 323, US2022-63, pp. 68-73, 2022年12月. | |
| 資料番号 | US2022-63 | |
| 発行日 | 2022-12-15 (US) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | US2022-63 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | EA US |
| 開催期間 | 2022-12-22 - 2022-12-23 |
| 開催地（和） | サテライトキャンパスひろしま |
| 開催地（英） | Satellite Campus Hiroshima |
| テーマ（和） | ＜音響・超音波サブソサイエティ合同研究会＞応用／電気音響，超音波一般 |
| テーマ（英） | [Joint Meeting on Acoustics and Ultrasonics Subsociety] Engineering/Electro Acoustics, Ultrasonics, etc. |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | US |
| 会議コード | 2022-12-EA-US |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 基板付き圧電薄膜のkt2評価における電極面積の影響 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Effect of electrode area on kt2 extraction methods from piezoelectric film/substrate structure |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 電気機械結合係数(kt2) / Electromechanical coupling coefficient(kt2) |
| キーワード(2)（和/英） | 基板付き薄膜構造 / HBAR |
| キーワード(3)（和/英） | 圧電薄膜 / Piezoelectric film |
| キーワード(4)（和/英） | 電極面積 / Electrode area |
| キーワード(5)（和/英） | 有限要素法 / FEM |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 関 崚 / Ryo Seki / セキ リョウ |
| 第1著者 所属（和/英） | 早稲田大学 (略称： 早大) Waseda University (略称： Waseda Univ) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 清水 祐樹 / Yuki Shimizu / シミズ ユウキ |
| 第2著者 所属（和/英） | 早稲田大学 (略称： 早大) Waseda University (略称： Waseda Univ) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 近藤 圭太 / Keita Kondo / コンドウ ケイタ |
| 第3著者 所属（和/英） | 早稲田大学 (略称： 早大) Waseda University (略称： Waseda Univ) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 柳谷 隆彦 / Takahiko Yanagitani / ヤナギタニ タカヒコ |
| 第4著者 所属（和/英） | 早稲田大学 (略称： 早大) Waseda University (略称： Waseda Univ) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2022-12-22 16:50:00 |
| 発表時間 | 120分 |
| 申込先研究会 | US |
| 資料番号 | US2022-63 |
| 巻番号（vol） | vol.122 |
| 号番号（no） | no.323 |
| ページ範囲 | pp.68-73 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2022-12-15 (US) |
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