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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2023-01-30 15:25 ［招待講演］Ge2Sb2Te3S2を用いた不揮発性相変化中赤外光位相シフタ ○宮武悠人（東大）・牧野孝太郎・富永淳二・宮田典幸・中野隆志・岡野 誠（産総研）・トープラサートポン カシディット・高木信一・竹中 充（東大）  SDM2022-83 |
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| 抄録 | （和） | 相変化材料に基づく光位相シフタは, シリコンフォトニクスプラットフォームにおいて中赤外領域で動作する量子光回路の有望な構成要素である. 本研究では, 新たに開発したSeフリーのワイドギャップ相変化材料であるGe2Sb2Te3S2（GSTS）を用いて, 中赤外領域で動作する低損失の不揮発性光位相シフタを実証した. 分光エリプソメトリーを用いた光学定数測定の結果, 従来の相変化材料と比べてGSTSは光位相シフタに非常に適した光学特性を中赤外領域において持つことが分かった. 我々はGSTSを用いた光位相シフタを波長2.34 μmで動作させることで, π位相シフトあたりの損失0.29 dB/πを達成した. これはシリコン光導波路上に集積された相変化光位相シフタとして最も低い損失である. |
| （英） | An optical phase shifter based on phase-change materials (PCMs) is a promising building block of quantum photonic integrated circuits operating at mid-infrared (MIR) wavelengths on a Si photonics platform. In this paper, we propose a record low-loss non-volatile phase PCM phase shifter operating at mid-infrared wavelengths based on Ge2Sb2Te3S2 (GSTS), which is a new Se-free widegap PCM. Based on the refractive index and extinction coefficient spectra measured by spectroscopic ellipsometry, we show that GSTS has excellent material properties for optical phase shifters. By using GSTS in the MIR range, the optical absorption of a PCM phase shifter can be considerably reduced. We achieved an optical loss of 0.29 dB for a π phase shift, which is the lowest loss ever reported for a PCM phase shifter integrated with a Si waveguide. | |
| キーワード | （和） | シリコンフォトニクス / 光位相シフタ / 相変化材料 / 中赤外 / 不揮発性 / / / |
| （英） | Silicon photonics / Optical phase shifter / Phase change materials / Mid-infrared / Non-volatile / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 122, no. 375, SDM2022-83, pp. 17-20, 2023年1月. | |
| 資料番号 | SDM2022-83 | |
| 発行日 | 2023-01-23 (SDM) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | SDM2022-83 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
| 開催期間 | 2023-01-30 - 2023-01-30 |
| 開催地（和） | 機械振興会館（B3-1） |
| 開催地（英） | Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. B3-1 |
| テーマ（和） | 先端ＣＭＯＳデバイス・ プロセス技術（ＩＥＤＭ特集） |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | SDM |
| 会議コード | 2023-01-SDM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | Ge2Sb2Te3S2を用いた不揮発性相変化中赤外光位相シフタ |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Non-volatile Mid-infrared Phase Change Material Optical Phase Shifter Based on Ge2Sb2Te3S2 |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | シリコンフォトニクス / Silicon photonics |
| キーワード(2)（和/英） | 光位相シフタ / Optical phase shifter |
| キーワード(3)（和/英） | 相変化材料 / Phase change materials |
| キーワード(4)（和/英） | 中赤外 / Mid-infrared |
| キーワード(5)（和/英） | 不揮発性 / Non-volatile |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 宮武 悠人 / Yuto Miyatake / ミヤタケ ユウト |
| 第1著者 所属（和/英） | 東京大学 (略称： 東大) University of Tokyo (略称： Univ. of Tokyo) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 牧野 孝太郎 / Kotaro Makino / マキノ コウタロウ |
| 第2著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所 (略称： 産総研) National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (略称： AIST) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 富永 淳二 / Junji Tominaga / トミナガ ジュンジ |
| 第3著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所 (略称： 産総研) National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (略称： AIST) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 宮田 典幸 / Noriyuki Miyata / ミヤタ ノリユキ |
| 第4著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所 (略称： 産総研) National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (略称： AIST) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 中野 隆志 / Takashi Nakano / ナカノ タカシ |
| 第5著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所 (略称： 産総研) National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (略称： AIST) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 岡野 誠 / Makoto Okano / オカノ マコト |
| 第6著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所 (略称： 産総研) National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (略称： AIST) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） | トープラサートポン カシディット / Kasidit Toprasertpong / トープラサートポン カシディット |
| 第7著者 所属（和/英） | 東京大学 (略称： 東大) University of Tokyo (略称： Univ. of Tokyo) |
| 第8著者 氏名（和/英/ヨミ） | 高木 信一 / Shinichi Takagi / タカギ シンイチ |
| 第8著者 所属（和/英） | 東京大学 (略称： 東大) University of Tokyo (略称： Univ. of Tokyo) |
| 第9著者 氏名（和/英/ヨミ） | 竹中 充 / Mitsuru Takenaka / タケナカ ミツル |
| 第9著者 所属（和/英） | 東京大学 (略称： 東大) University of Tokyo (略称： Univ. of Tokyo) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2023-01-30 15:25:00 |
| 発表時間 | 30分 |
| 申込先研究会 | SDM |
| 資料番号 | SDM2022-83 |
| 巻番号（vol） | vol.122 |
| 号番号（no） | no.375 |
| ページ範囲 | pp.17-20 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2023-01-23 (SDM) |
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