| 講演抄録／キーワード |
| 講演名 |
2023-02-07 13:20
［招待講演］BSIピクセルピッチハイブリッド接合および3層積層技術
○谷田一真・鈴木 繁・瀬尾俊紀・森永泰規・興梠隼人・手谷道成・浜田政一・江藤竜二・山下武志・加藤靖啓・佐藤直昭・清水但美・塙 哲郎・久保裕子・伊藤史隆・野口佳裕・中村成志・水越隆司・竹内雅彦・鈴木政勝・新添真人・宮永 績・池田 敦・松本 晋（パナソニック・タワージャズセミコンダクター）  SDM2022-88 |
| 抄録 |
（和） |
裏面照射型(BSI)イメージセンサに用いるピクセルピッチハイブリッド接合(1.35µm)およびフルハイブリッド接合による3層積層技術を開発した。ウェハ接合時のプラズマ活性によるCu電極表面の窒化が微細なCu-Cu接続歩留り影響要因であることを明らかにした。Cu電極表面の窒化を抑制することで、1.35µmピッチCu-Cu接続の接続歩留りを改善し、良好な電気特性および信頼性を確認した。更に、3層積層の中間層のSi貫通ビア(TSV)と2回のハイブリッド接合による3層積層構造は良好な電気特性を示した。本論文で開発したピクセルピッチハイブリッド接合および3層積層技術は、様々なアプリケーションに適用することができる大変有望な技術である。 |
| （英） |
(Not available yet) |
| キーワード |
（和） |
BSI / ピクセルピッチ / ハイブリッド接合 / プラズマ活性 / Cu-Cu / TSV / 3層積層 / |
| （英） |
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| 文献情報 |
信学技報, vol. 122, no. 377, SDM2022-88, pp. 13-16, 2023年2月. |
| 資料番号 |
SDM2022-88 |
| 発行日 |
2023-01-31 (SDM) |
| ISSN |
Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に
ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
| PDFダウンロード |
SDM2022-88 |
| 研究会情報 |
| 研究会 |
SDM |
| 開催期間 |
2023-02-07 - 2023-02-07 |
| 開催地（和） |
東京大学 武田ホール |
| 開催地（英） |
Tokyo Univ. |
| テーマ（和） |
配線・実装技術と関連材料技術 |
| テーマ（英） |
|
| 講演論文情報の詳細 |
| 申込み研究会 |
SDM |
| 会議コード |
2023-02-SDM |
| 本文の言語 |
日本語 |
| タイトル（和） |
BSIピクセルピッチハイブリッド接合および3層積層技術 |
| サブタイトル（和） |
|
| タイトル（英） |
Pixel Pitch Hybrid Bonding and Three Layer Stacking Technology for BSI |
| サブタイトル（英） |
|
| キーワード(1)（和/英） |
BSI / |
| キーワード(2)（和/英） |
ピクセルピッチ / |
| キーワード(3)（和/英） |
ハイブリッド接合 / |
| キーワード(4)（和/英） |
プラズマ活性 / |
| キーワード(5)（和/英） |
Cu-Cu / |
| キーワード(6)（和/英） |
TSV / |
| キーワード(7)（和/英） |
3層積層 / |
| キーワード(8)（和/英） |
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| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） |
谷田 一真 / Kazumasa Tanida / タニダ カズマサ |
| 第1著者 所属（和/英） |
タワー パートナーズ セミコンダクター株式会社 (略称： パナソニック・タワージャズセミコンダクター)
Tower Partners Semiconductor Co., Ltd. (略称： TPSCo) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） |
鈴木 繁 / Shigeru Suzuki / スズキ シゲル |
| 第2著者 所属（和/英） |
タワー パートナーズ セミコンダクター株式会社 (略称： パナソニック・タワージャズセミコンダクター)
Tower Partners Semiconductor Co., Ltd. (略称： TPSCo) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） |
瀬尾 俊紀 / Toshiki Seo / セオ トシキ |
| 第3著者 所属（和/英） |
タワー パートナーズ セミコンダクター株式会社 (略称： パナソニック・タワージャズセミコンダクター)
Tower Partners Semiconductor Co., Ltd. (略称： TPSCo) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） |
森永 泰規 / Yasunori Morinaga / モリナガ ヤスヒロ |
| 第4著者 所属（和/英） |
タワー パートナーズ セミコンダクター株式会社 (略称： パナソニック・タワージャズセミコンダクター)
Tower Partners Semiconductor Co., Ltd. (略称： TPSCo) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） |
興梠 隼人 / Hayato Korogi / コウロギ ハヤト |
| 第5著者 所属（和/英） |
タワー パートナーズ セミコンダクター株式会社 (略称： パナソニック・タワージャズセミコンダクター)
Tower Partners Semiconductor Co., Ltd. (略称： TPSCo) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） |
手谷 道成 / Michinari Tetani / テタニ ミチナリ |
| 第6著者 所属（和/英） |
タワー パートナーズ セミコンダクター株式会社 (略称： パナソニック・タワージャズセミコンダクター)
Tower Partners Semiconductor Co., Ltd. (略称： TPSCo) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） |
浜田 政一 / Masakazu Hamada / ハマダ マサカズ |
| 第7著者 所属（和/英） |
タワー パートナーズ セミコンダクター株式会社 (略称： パナソニック・タワージャズセミコンダクター)
Tower Partners Semiconductor Co., Ltd. (略称： TPSCo) |
| 第8著者 氏名（和/英/ヨミ） |
江藤 竜二 / Ryuji Eto / エトウ リュウジ |
| 第8著者 所属（和/英） |
タワー パートナーズ セミコンダクター株式会社 (略称： パナソニック・タワージャズセミコンダクター)
Tower Partners Semiconductor Co., Ltd. (略称： TPSCo) |
| 第9著者 氏名（和/英/ヨミ） |
山下 武志 / Takeshi Yamashita / ヤマシタ タケシ |
| 第9著者 所属（和/英） |
タワー パートナーズ セミコンダクター株式会社 (略称： パナソニック・タワージャズセミコンダクター)
Tower Partners Semiconductor Co., Ltd. (略称： TPSCo) |
| 第10著者 氏名（和/英/ヨミ） |
加藤 靖啓 / Yasuhiro Kato / カトウ ヤスヒロ |
| 第10著者 所属（和/英） |
タワー パートナーズ セミコンダクター株式会社 (略称： パナソニック・タワージャズセミコンダクター)
Tower Partners Semiconductor Co., Ltd. (略称： TPSCo) |
| 第11著者 氏名（和/英/ヨミ） |
佐藤 直昭 / Naoaki Sato / サトウ ナオアキ |
| 第11著者 所属（和/英） |
タワー パートナーズ セミコンダクター株式会社 (略称： パナソニック・タワージャズセミコンダクター)
Tower Partners Semiconductor Co., Ltd. (略称： TPSCo) |
| 第12著者 氏名（和/英/ヨミ） |
清水 但美 / Tadami Shimizu / シミズ タダミ |
| 第12著者 所属（和/英） |
タワー パートナーズ セミコンダクター株式会社 (略称： パナソニック・タワージャズセミコンダクター)
Tower Partners Semiconductor Co., Ltd. (略称： TPSCo) |
| 第13著者 氏名（和/英/ヨミ） |
塙 哲郎 / Tetsuro Hanawa / ハナワ テツロウ |
| 第13著者 所属（和/英） |
タワー パートナーズ セミコンダクター株式会社 (略称： パナソニック・タワージャズセミコンダクター)
Tower Partners Semiconductor Co., Ltd. (略称： TPSCo) |
| 第14著者 氏名（和/英/ヨミ） |
久保 裕子 / Hiroko Kubo / クボ ユウコ |
| 第14著者 所属（和/英） |
タワー パートナーズ セミコンダクター株式会社 (略称： パナソニック・タワージャズセミコンダクター)
Tower Partners Semiconductor Co., Ltd. (略称： TPSCo) |
| 第15著者 氏名（和/英/ヨミ） |
伊藤 史隆 / Fumitaka Ito / イトウ フミタカ |
| 第15著者 所属（和/英） |
タワー パートナーズ セミコンダクター株式会社 (略称： パナソニック・タワージャズセミコンダクター)
Tower Partners Semiconductor Co., Ltd. (略称： TPSCo) |
| 第16著者 氏名（和/英/ヨミ） |
野口 佳裕 / Yoshihiro Noguchi / ノグチ ヨシヒロ |
| 第16著者 所属（和/英） |
タワー パートナーズ セミコンダクター株式会社 (略称： パナソニック・タワージャズセミコンダクター)
Tower Partners Semiconductor Co., Ltd. (略称： TPSCo) |
| 第17著者 氏名（和/英/ヨミ） |
中村 成志 / Masayuki Nakamura / ナカムラ マサユキ |
| 第17著者 所属（和/英） |
タワー パートナーズ セミコンダクター株式会社 (略称： パナソニック・タワージャズセミコンダクター)
Tower Partners Semiconductor Co., Ltd. (略称： TPSCo) |
| 第18著者 氏名（和/英/ヨミ） |
水越 隆司 / Ryuji Mizukoshi / ミズコシ リュウジ |
| 第18著者 所属（和/英） |
タワー パートナーズ セミコンダクター株式会社 (略称： パナソニック・タワージャズセミコンダクター)
Tower Partners Semiconductor Co., Ltd. (略称： TPSCo) |
| 第19著者 氏名（和/英/ヨミ） |
竹内 雅彦 / Masahiko Takeuchi / タケウチ マサヒコ |
| 第19著者 所属（和/英） |
タワー パートナーズ セミコンダクター株式会社 (略称： パナソニック・タワージャズセミコンダクター)
Tower Partners Semiconductor Co., Ltd. (略称： TPSCo) |
| 第20著者 氏名（和/英/ヨミ） |
鈴木 政勝 / Masakatsu Suzuki / スズキ マサカツ |
| 第20著者 所属（和/英） |
タワー パートナーズ セミコンダクター株式会社 (略称： パナソニック・タワージャズセミコンダクター)
Tower Partners Semiconductor Co., Ltd. (略称： TPSCo) |
| 第21著者 氏名（和/英/ヨミ） |
新添 真人 / Naoto Niisoe / ニイソエ ナオト |
| 第21著者 所属（和/英） |
タワー パートナーズ セミコンダクター株式会社 (略称： パナソニック・タワージャズセミコンダクター)
Tower Partners Semiconductor Co., Ltd. (略称： TPSCo) |
| 第22著者 氏名（和/英/ヨミ） |
宮永 績 / Isao Miyanaga / ミヤナガ イサオ |
| 第22著者 所属（和/英） |
タワー パートナーズ セミコンダクター株式会社 (略称： パナソニック・タワージャズセミコンダクター)
Tower Partners Semiconductor Co., Ltd. (略称： TPSCo) |
| 第23著者 氏名（和/英/ヨミ） |
池田 敦 / Atsushi Ikeda / イケダ アツシ |
| 第23著者 所属（和/英） |
タワー パートナーズ セミコンダクター株式会社 (略称： パナソニック・タワージャズセミコンダクター)
Tower Partners Semiconductor Co., Ltd. (略称： TPSCo) |
| 第24著者 氏名（和/英/ヨミ） |
松本 晋 / Susumu Matsumoto / マツモト ススム |
| 第24著者 所属（和/英） |
タワー パートナーズ セミコンダクター株式会社 (略称： パナソニック・タワージャズセミコンダクター)
Tower Partners Semiconductor Co., Ltd. (略称： TPSCo) |
| 第25著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第25著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第26著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第26著者 所属（和/英） |
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(略称： ) |
| 第27著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第27著者 所属（和/英） |
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| 第28著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第28著者 所属（和/英） |
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| 第29著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第29著者 所属（和/英） |
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| 第30著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第30著者 所属（和/英） |
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| 第31著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第31著者 所属（和/英） |
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| 第32著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第32著者 所属（和/英） |
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| 第33著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第33著者 所属（和/英） |
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| 第34著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第34著者 所属（和/英） |
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| 第35著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第35著者 所属（和/英） |
(略称： )
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| 第36著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第36著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 講演者 |
第1著者 |
| 発表日時 |
2023-02-07 13:20:00 |
| 発表時間 |
40分 |
| 申込先研究会 |
SDM |
| 資料番号 |
SDM2022-88 |
| 巻番号（vol） |
vol.122 |
| 号番号（no） |
no.377 |
| ページ範囲 |
pp.13-16 |
| ページ数 |
4 |
| 発行日 |
2023-01-31 (SDM) |