講演抄録/キーワード |
講演名 |
2023-03-01 15:45
リソグラフィホットスポット検出のための光学系の特性を考慮した特徴量 ○山本真大・稲木雅人・永山 忍(広島市大) VLD2022-81 HWS2022-52 |
抄録 |
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キーワード |
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文献情報 |
信学技報, vol. 122, no. 402, VLD2022-81, pp. 49-54, 2023年3月. |
資料番号 |
VLD2022-81 |
発行日 |
2023-02-22 (VLD, HWS) |
ISSN |
Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
PDFダウンロード |
VLD2022-81 HWS2022-52 |
研究会情報 |
研究会 |
HWS VLD |
開催期間 |
2023-03-01 - 2023-03-04 |
開催地(和) |
沖縄県青年会館 |
開催地(英) |
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テーマ(和) |
システムオンシリコンを支える設計技術, ハードウェアセキュリティ, 一般 |
テーマ(英) |
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講演論文情報の詳細 |
申込み研究会 |
VLD |
会議コード |
2023-03-HWS-VLD |
本文の言語 |
日本語 |
タイトル(和) |
リソグラフィホットスポット検出のための光学系の特性を考慮した特徴量 |
サブタイトル(和) |
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タイトル(英) |
A Feature Vector Considering Characteristics of Optical System for Lithography Hotspot Detection |
サブタイトル(英) |
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第1著者 氏名(和/英/ヨミ) |
山本 真大 / Masahiro Yamamoto / ヤマモト マサヒロ |
第1著者 所属(和/英) |
広島市立大学 (略称: 広島市大)
Hiroshima City University (略称: HCU) |
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) |
稲木 雅人 / Masato Inagi / イナギ マサト |
第2著者 所属(和/英) |
広島市立大学 (略称: 広島市大)
Hiroshima City University (略称: HCU) |
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) |
永山 忍 / Shinobu Nagayama / ナガヤマ シノブ |
第3著者 所属(和/英) |
広島市立大学 (略称: 広島市大)
Hiroshima City University (略称: HCU) |
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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講演者 |
第1著者 |
発表日時 |
2023-03-01 15:45:00 |
発表時間 |
25分 |
申込先研究会 |
VLD |
資料番号 |
VLD2022-81, HWS2022-52 |
巻番号(vol) |
vol.122 |
号番号(no) |
no.402(VLD), no.403(HWS) |
ページ範囲 |
pp.49-54 |
ページ数 |
6 |
発行日 |
2023-02-22 (VLD, HWS) |
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