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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2023-03-17 10:45 Wiped-Rate Estimation for Semiconductor Manufacturing Using DNN Based on 3D Body Tracking ○Takehiro Nagata（Univ. of Tsukuba）・Li-Wei Cheng（NCKU）・Hidehiko Shishido（Univ. of Tsukuba）・Hyejin Kim・Chanya Mahapun・Naoki Yoshii・Tsuyoshi Moriya（TEL）・Itaru Kitahara（Univ. of Tsukuba）  IMQ2022-67 IE2022-144 MVE2022-97 |
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| 抄録 | （和） | (まだ登録されていません) |
| （英） | This research presents a method to calculate the corresponding wiped rate from upper body wiping movements to determine the optimal wiping motion. Fifty sequential 3D body motion data were recorded while wiping particles on a quartz ring using an RGB-D camera. The number of particles on the surface of the quartz ring was determined by calculating the particle area under UV light to estimate the wiped rate. The captured 3D body motion data and the wiped rate were combined as a dataset for deep learning. Three types of deep learning models were used: standalone Long Short-Term Memory (LSTM), Autoencoder (NN)-LSTM, and Autoencoder (LSTM)-LSTM. The results were compared and evaluated for their learning rate and accuracy. | |
| キーワード | （和） | / / / / / / / |
| （英） | LSTM / Autoencoder / RGB-D camera / Semiconductor Manufacturing / 3D Body Tracking / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 122, no. 440, MVE2022-97, pp. 235-240, 2023年3月. | |
| 資料番号 | MVE2022-97 | |
| 発行日 | 2023-03-08 (IMQ, IE, MVE) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | IMQ2022-67 IE2022-144 MVE2022-97 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | IMQ IE MVE CQ |
| 開催期間 | 2023-03-15 - 2023-03-17 |
| 開催地（和） | 沖縄県青年会館（那覇市） |
| 開催地（英） | Okinawaken Seinenkaikan (Naha-shi) |
| テーマ（和） | 五感に訴えるオンラインメディアとその評価，および一般（魅力工学研究会協賛） |
| テーマ（英） | Media of five senses, Multimedia, Media experience, Picture codinge, Image media quality, Network,quality and reliability, etc（AC） |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | MVE |
| 会議コード | 2023-03-IMQ-IE-MVE-CQ |
| 本文の言語 | 英語 |
| タイトル（和） | |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Wiped-Rate Estimation for Semiconductor Manufacturing Using DNN Based on 3D Body Tracking |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | / LSTM |
| キーワード(2)（和/英） | / Autoencoder |
| キーワード(3)（和/英） | / RGB-D camera |
| キーワード(4)（和/英） | / Semiconductor Manufacturing |
| キーワード(5)（和/英） | / 3D Body Tracking |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 長田 健宏 / Takehiro Nagata / ナガタ タケヒロ |
| 第1著者 所属（和/英） | 筑波大学 (略称： 筑波大) University of Tsukuba (略称： Univ. of Tsukuba) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 鄭 立偉 / Li-Wei Cheng / チェン リーウェイ |
| 第2著者 所属（和/英） | 國立成功大學 (略称： 国立成功大) National Cheng Kung University (略称： NCKU) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 宍戸 英彦 / Hidehiko Shishido / シシド ヒデヒコ |
| 第3著者 所属（和/英） | 筑波大学 (略称： 筑波大) University of Tsukuba (略称： Univ. of Tsukuba) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 金 惠眞 / Hyejin Kim / キン ヘジン |
| 第4著者 所属（和/英） | 東京エレクトロン株式会社 (略称： 東京エレクトロン) Tokyo Electron Limited (略称： TEL) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | マハパン チャンヤ / Chanya Mahapun / マハパン チャンヤ |
| 第5著者 所属（和/英） | 東京エレクトロン株式会社 (略称： 東京エレクトロン) Tokyo Electron Limited (略称： TEL) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 吉井 直樹 / Naoki Yoshii / ヨシイ ナオキ |
| 第6著者 所属（和/英） | 東京エレクトロン株式会社 (略称： 東京エレクトロン) Tokyo Electron Limited (略称： TEL) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） | 守屋 剛 / Tsuyoshi Moriya / モリヤ ツヨシ |
| 第7著者 所属（和/英） | 東京エレクトロン株式会社 (略称： 東京エレクトロン) Tokyo Electron Limited (略称： TEL) |
| 第8著者 氏名（和/英/ヨミ） | 北原 格 / Itaru Kitahara / キタハラ イタル |
| 第8著者 所属（和/英） | 筑波大学 (略称： 筑波大) University of Tsukuba (略称： Univ. of Tsukuba) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2023-03-17 10:45:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | MVE |
| 資料番号 | IMQ2022-67, IE2022-144, MVE2022-97 |
| 巻番号（vol） | vol.122 |
| 号番号（no） | no.437(IMQ), no.439(IE), no.440(MVE) |
| ページ範囲 | pp.235-240 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2023-03-08 (IMQ, IE, MVE) |
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