研究会情報 |
研究会 |
ICD |
開催期間 |
2023-04-10 - 2023-04-11 |
開催地(和) |
川崎市産業振興会館10階第4会議室 |
開催地(英) |
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テーマ(和) |
メモリ技術と集積回路技術一般 |
テーマ(英) |
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講演論文情報の詳細 |
申込み研究会 |
ICD |
会議コード |
2023-04-ICD |
本文の言語 |
日本語 |
タイトル(和) |
CAAC-IGZO FET と 0.06μm2の酸化ハフニウム系強誘電体材料を用いた1T1C FeRAM |
サブタイトル(和) |
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タイトル(英) |
A c-axis aligned crystalline IGZO FET and a 0.06-um2 HfO2-based capacitor 1T1C FeRAM with high voltage tolerance and 10-ns write time |
サブタイトル(英) |
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キーワード(1)(和/英) |
IGZO / IGZO |
キーワード(2)(和/英) |
HZO / HZO |
キーワード(3)(和/英) |
ダマシン / damascene |
キーワード(4)(和/英) |
後工程 / BEOL |
キーワード(5)(和/英) |
1T1C / 1T1C |
キーワード(6)(和/英) |
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キーワード(7)(和/英) |
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キーワード(8)(和/英) |
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第1著者 氏名(和/英/ヨミ) |
遠藤 正己 / Masami Endo / エンドウ マサミ |
第1著者 所属(和/英) |
半導体エネルギー研究所 (略称: 半導体エネルギー研)
Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. (略称: SEL) |
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) |
沼田 至優 / Numata Shiyuu / ヌマタ シユウ |
第2著者 所属(和/英) |
半導体エネルギー研究所 (略称: 半導体エネルギー研)
Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. (略称: SEL) |
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) |
大嶋 和晃 / Ohshima Kazuaki / オオシマ カズアキ |
第3著者 所属(和/英) |
半導体エネルギー研究所 (略称: 半導体エネルギー研)
Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. (略称: SEL) |
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) |
恵木 勇司 / Egi Yuji / エギ ユウジ |
第4著者 所属(和/英) |
半導体エネルギー研究所 (略称: 半導体エネルギー研)
Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. (略称: SEL) |
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) |
井坂 史人 / Isaka Fumito / イサカ フミト |
第5著者 所属(和/英) |
半導体エネルギー研究所 (略称: 半導体エネルギー研)
Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. (略称: SEL) |
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) |
大野 敏和 / Ohno Toshikazu / オオノ トシカズ |
第6著者 所属(和/英) |
半導体エネルギー研究所 (略称: 半導体エネルギー研)
Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. (略称: SEL) |
第7著者 氏名(和/英/ヨミ) |
手塚 祐朗 / Tezuka Sachiaki / テヅカ サチアキ |
第7著者 所属(和/英) |
半導体エネルギー研究所 (略称: 半導体エネルギー研)
Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. (略称: SEL) |
第8著者 氏名(和/英/ヨミ) |
濱田 俊樹 / Hamada Toshiki / ハマダ トシキ |
第8著者 所属(和/英) |
半導体エネルギー研究所 (略称: 半導体エネルギー研)
Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. (略称: SEL) |
第9著者 氏名(和/英/ヨミ) |
古谷 一馬 / Furutani Kazuma / フルタニ カズマ |
第9著者 所属(和/英) |
半導体エネルギー研究所 (略称: 半導体エネルギー研)
Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. (略称: SEL) |
第10著者 氏名(和/英/ヨミ) |
津田 一樹 / Tsuda Kazuki / ツダ カズキ |
第10著者 所属(和/英) |
半導体エネルギー研究所 (略称: 半導体エネルギー研)
Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. (略称: SEL) |
第11著者 氏名(和/英/ヨミ) |
松嵜 隆徳 / Matsuzaki Takanori / マツザキ タカノリ |
第11著者 所属(和/英) |
半導体エネルギー研究所 (略称: 半導体エネルギー研)
Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. (略称: SEL) |
第12著者 氏名(和/英/ヨミ) |
大貫 達也 / Onuki Tatsuya / オオヌキ タツヤ |
第12著者 所属(和/英) |
半導体エネルギー研究所 (略称: 半導体エネルギー研)
Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. (略称: SEL) |
第13著者 氏名(和/英/ヨミ) |
村川 努 / Murakawa Tsutomu / ムラカワ ツトム |
第13著者 所属(和/英) |
半導体エネルギー研究所 (略称: 半導体エネルギー研)
Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. (略称: SEL) |
第14著者 氏名(和/英/ヨミ) |
國武 寛司 / Kunitake Hitoshi / クニタケ ヒトシ |
第14著者 所属(和/英) |
半導体エネルギー研究所 (略称: 半導体エネルギー研)
Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. (略称: SEL) |
第15著者 氏名(和/英/ヨミ) |
小林 正治 / Masaharu Kobayashi / コバヤシ マサハル |
第15著者 所属(和/英) |
東京大学 (略称: 東大)
The University of Tokyo (略称: The Univ. of Tokyo) |
第16著者 氏名(和/英/ヨミ) |
山崎 舜平 / Yamazaki Shunpei / ヤマザキ シュンペイ |
第16著者 所属(和/英) |
半導体エネルギー研究所 (略称: 半導体エネルギー研)
Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. (略称: SEL) |
第17著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第17著者 所属(和/英) |
(略称: )
(略称: ) |
第18著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第18著者 所属(和/英) |
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(略称: ) |
第19著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第19著者 所属(和/英) |
(略称: )
(略称: ) |
第20著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第20著者 所属(和/英) |
(略称: )
(略称: ) |
講演者 |
第1著者 |
発表日時 |
2023-04-10 09:30:00 |
発表時間 |
25分 |
申込先研究会 |
ICD |
資料番号 |
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巻番号(vol) |
vol.123 |
号番号(no) |
no.1 |
ページ範囲 |
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ページ数 |
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発行日 |
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