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| 講演名 | 2023-05-19 15:30 光学的線形判別フィルタを利用した誘電体表面の微細凹凸識別 ～ 微弱な散乱光の計測に向けたフィルタの設計アルゴリズム ～ ○島田慎吾・杉坂純一郎・平山浩一・安井 崇（北見工大）  EMT2023-6 |
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| 抄録 | （和） | 物体表面の凹凸を高精度で素早く識別するために，様々な光計測手法が提案されている．しかし，照明光の波長以下の微細な凹凸構造に対しては，回折限界の制約により正確に凹凸を識別することは困難である．著者らはこれまでに，誘電体表面の微細な欠陥の凹凸を識別するための光学フィルタを設計してきた．このフィルタは，Fisherの線形判別分析を光学的に実装することで，フィルタ透過後の光強度と閾値の比較によって凹凸を識別することが可能である．しかしこの設計法では，フィルタの透過率が極端に低くなり，欠陥からの微弱な散乱波を計測するのは現実的でない．本研究では，フィルタの透過率を考慮に入れた新しい設計アルゴリズムを提案する．Fisherの線形判別分析を利用して設計したフィルタと比較して，強度値がどの程度大きくなっているか検証する．また，散 乱波の電磁界解析を通して，欠陥形状と識別精度の関係も調査する． |
| （英） | Various optical measurement methods have been proposed to rapidly discriminate convexity or concavity of the defect on the dielectric surface with high accuracy. However, it is difficult to accurately discriminate the defects whose sizes are comparable to the illumination wavelength owing to the diffraction limit. To date, we have designed an optical filter by applying Fisher’s linear discriminant analysis, which can discriminate the defect by comparing the light intensity after passing through the filter. However, the transmittance of this filter is considerably low, and it is not for practical use. In this study, we propose a new filter-design algorithm considering the filter transmittance. We evaluate the transmitted intensity of the designed filter, and compare with that of the conventional filter. Scattered fields from the defect are also analyzed to investigate the discrimination accuracy for each defect shape. |
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| キーワード | （和） | 光計測 / 逆散乱解析 / 計算機合成ホログラム / 線形判別分析 / 境界要素法 / / / |
| （英） | optical measurement / inverse-scattering analysis / computer-generated hologram / linear discriminant analysis / boundary element method / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 123, no. 40, EMT2023-6, pp. 27-32, 2023年5月. | |
| 資料番号 | EMT2023-6 | |
| 発行日 | 2023-05-12 (EMT) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | EMT2023-6 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | EMT IEE-EMT |
| 開催期間 | 2023-05-19 - 2023-05-19 |
| 開催地（和） | 三菱電機株式会社 情報技術総合研究所 |
| 開催地（英） | Information Technology R & D Center, MITSUBISHI Electric Corp. |
| テーマ（和） | 電磁界理論一般 |
| テーマ（英） | Electromagnetic Theory, etc. |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | EMT |
| 会議コード | 2023-05-EMT-EMT |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 光学的線形判別フィルタを利用した誘電体表面の微細凹凸識別 |
| サブタイトル（和） | 微弱な散乱光の計測に向けたフィルタの設計アルゴリズム |
| タイトル（英） | Fine-Defect Discrimination on Dielectric Surface Using Optical Linear Discrimination Filter |
| サブタイトル（英） | Filter Design Algorithm for Measurement of Weak Scattered Light |
| キーワード(1)（和/英） | 光計測 / optical measurement |
| キーワード(2)（和/英） | 逆散乱解析 / inverse-scattering analysis |
| キーワード(3)（和/英） | 計算機合成ホログラム / computer-generated hologram |
| キーワード(4)（和/英） | 線形判別分析 / linear discriminant analysis |
| キーワード(5)（和/英） | 境界要素法 / boundary element method |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 島田 慎吾 / Shingo Shimada / シマダ シンゴ |
| 第1著者 所属（和/英） | 北見工業大学 (略称： 北見工大) Kitami Institute of Technology (略称： Kitami Inst. Tech.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 杉坂 純一郎 / Jun-ichiro Sugisaka / スギサカ ジュンイチロウ |
| 第2著者 所属（和/英） | 北見工業大学 (略称： 北見工大) Kitami Institute of Technology (略称： Kitami Inst. Tech.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 平山 浩一 / Koichi Hirayama / ヒラヤマ コウイチ |
| 第3著者 所属（和/英） | 北見工業大学 (略称： 北見工大) Kitami Institute of Technology (略称： Kitami Inst. Tech.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 安井 崇 / Takashi Yasui / ヤスイ タカシ |
| 第4著者 所属（和/英） | 北見工業大学 (略称： 北見工大) Kitami Institute of Technology (略称： Kitami Inst. Tech.) |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2023-05-19 15:30:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | EMT |
| 資料番号 | EMT2023-6 |
| 巻番号（vol） | vol.123 |
| 号番号（no） | no.40 |
| ページ範囲 | pp.27-32 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2023-05-12 (EMT) |
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