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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2023-05-19 13:00 ［招待講演］フレキシブル基板上に室温成膜した酸化亜鉛薄膜の繰返し曲げ耐久試験 ○前元利彦・大浦紀頼・和田英男・小山政俊・佐々誠彦・藤井彰彦（阪工大）  ED2023-1 CPM2023-1 SDM2023-18 |
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| 抄録 | （和） | 酸化物半導体のフレキシブル応用を目指して，基板を曲げても動作する酸化物薄膜デバイスの構造と，その曲げ耐久性の評価および曲げた際の破壊メカニズムについて調べたのでそれらの内容について報告する．シクロオレフィンポリマー (Cyclo Olefin Polymer: COP) をフレキシブル基板として用い，パルスレーザ堆積法を用いて酸化亜鉛系の薄膜を形成した．繰返し曲げ試験機を用いて試験を行った後，表面観察，結晶性評価，電気特性を測定し，基板厚さによる依存性を評価した．また，曲げ試験における試料の破壊メカニズムをナノインデンテーションの測定結果と併せて議論したので，それらの結果について報告する． |
| （英） | We investigated the device structure of oxide thin-film devices that can operate even when bending, the evaluation of their bending durability, and the fracture mechanism under bending to develop flexible applications of oxide semiconductors. ZnO thin-films were deposited on Cyclo-Olefin-Polymer (COP) substrates using the Pulsed Laser Deposition (PLD) method, and the thin-films were tested using a cyclic bending tester. After the cyclic bending tests, surface observations, crystallinity evaluations, and electrical property measurements were conducted, and the dependence on substrate thickness was evaluated. Using nanoindentation, we discussed the failure mechanism of the samples in the bending tests and determined the optimal sample structure for flexible devices. | |
| キーワード | （和） | 酸化物半導体 / 酸化亜鉛 / フレキシブル / シクロオレフィンポリマー / ナノインデンテーション / / / |
| （英） | Oxide Semiconductor / Zinc Oxide / Flexible / COP / Nanoindentation / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 123, no. 41, ED2023-1, pp. 1-6, 2023年5月. | |
| 資料番号 | ED2023-1 | |
| 発行日 | 2023-05-12 (ED, CPM, SDM) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | ED2023-1 CPM2023-1 SDM2023-18 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM ED SDM |
| 開催期間 | 2023-05-19 - 2023-05-19 |
| 開催地（和） | 名古屋工大 |
| 開催地（英） | Nagoya Institute of Technology |
| テーマ（和） | 機能性デバイス材料・作製・特性評価および関連技術 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | ED |
| 会議コード | 2023-05-CPM-ED-SDM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | フレキシブル基板上に室温成膜した酸化亜鉛薄膜の繰返し曲げ耐久試験 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Repeated bending endurance test of zinc oxide thin films deposited at room temperature on flexible substrates |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 酸化物半導体 / Oxide Semiconductor |
| キーワード(2)（和/英） | 酸化亜鉛 / Zinc Oxide |
| キーワード(3)（和/英） | フレキシブル / Flexible |
| キーワード(4)（和/英） | シクロオレフィンポリマー / COP |
| キーワード(5)（和/英） | ナノインデンテーション / Nanoindentation |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 前元 利彦 / Toshihiko Maemoto / マエモト トシヒコ |
| 第1著者 所属（和/英） | 大阪工業大学 (略称： 阪工大) Osaka Institute of Technology (略称： Osaka Inst. of Tech.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 大浦 紀頼 / Kazuyori Oura / オオウラ カズヨリ |
| 第2著者 所属（和/英） | 大阪工業大学 (略称： 阪工大) Osaka Institute of Technology (略称： Osaka Inst. of Tech.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 和田 英男 / Hideo Wada / ワダ ヒデオ |
| 第3著者 所属（和/英） | 大阪工業大学 (略称： 阪工大) Osaka Institute of Technology (略称： Osaka Inst. of Tech.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 小山 政俊 / Masatoshi Koyama / コヤマ マサトシ |
| 第4著者 所属（和/英） | 大阪工業大学 (略称： 阪工大) Osaka Institute of Technology (略称： Osaka Inst. of Tech.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 佐々 誠彦 / Shigehiko Sasa / ササ シゲヒコ |
| 第5著者 所属（和/英） | 大阪工業大学 (略称： 阪工大) Osaka Institute of Technology (略称： Osaka Inst. of Tech.) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 藤井 彰彦 / Ahikiko Fujii / フジイ アキヒコ |
| 第6著者 所属（和/英） | 大阪工業大学 (略称： 阪工大) Osaka Institute of Technology (略称： Osaka Inst. of Tech.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2023-05-19 13:00:00 |
| 発表時間 | 45分 |
| 申込先研究会 | ED |
| 資料番号 | ED2023-1, CPM2023-1, SDM2023-18 |
| 巻番号（vol） | vol.123 |
| 号番号（no） | no.41(ED), no.42(CPM), no.43(SDM) |
| ページ範囲 | pp.1-6 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2023-05-12 (ED, CPM, SDM) |
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