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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2023-07-07 12:00 サイズ上限を考慮して多角形を矩形に分割する手法 ○松﨑泰紀・藤吉邦洋（東京農工大）  CAS2023-22 VLD2023-22 SIP2023-38 MSS2023-22 |
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| 抄録 | （和） | 可変成形型電子ビーム露光装置の入力となる露光データは露光単位である矩形の集合でなければならず，レイアウトをサイズ上限以下のできるだけ少ない数の矩形に分割することが重要である．既存手法では超多項式時間を要したり，発見的手法を用いている．そこで，矩形数が最小となる解を失わずに分割を行う「最適単分割」を3種見出し，証明する．これらの最適単分割を貪欲な分割と組み合わせた手法や，ILPと組み合わせた手法について，計算機実験を行いその性能を調べた． |
| （英） | The exposure data, which serves as input for variable shaped-beam mask writing, must be a set of rectangles, and it is crucial to partition the layout into as few rectangles as possible, with keeping maximum size limit. We find three types of optimal single-partitions, that ensure partitioning without increasing the number of rectangles obtained, and proved theorems. Computational experiments to evaluate the performance of combining these optimal single-partitions with greedy partitioning to Kahng's ILP method was done. | |
| キーワード | （和） | レクトリニア多角形 / 矩形分割 / 最適単分割 / 電子ビーム露光装置 / / / / |
| （英） | Rectilinear Polygon / Fracture / Optimal Single-Partition / Variable Shaped-Beam Mask Writing / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 123, no. 97, CAS2023-22, pp. 107-112, 2023年7月. | |
| 資料番号 | CAS2023-22 | |
| 発行日 | 2023-06-29 (CAS, VLD, SIP, MSS) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | CAS2023-22 VLD2023-22 SIP2023-38 MSS2023-22 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | MSS CAS SIP VLD |
| 開催期間 | 2023-07-06 - 2023-07-07 |
| 開催地（和） | 小樽商科大学 3号館 102教室 |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | システムと信号処理および一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | CAS |
| 会議コード | 2023-07-MSS-CAS-SIP-VLD |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | サイズ上限を考慮して多角形を矩形に分割する手法 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Polygon Fracturing Method Considering Maximum Size Limit |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | レクトリニア多角形 / Rectilinear Polygon |
| キーワード(2)（和/英） | 矩形分割 / Fracture |
| キーワード(3)（和/英） | 最適単分割 / Optimal Single-Partition |
| キーワード(4)（和/英） | 電子ビーム露光装置 / Variable Shaped-Beam Mask Writing |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 松﨑 泰紀 / Taiki Matsuzaki / マツザキ タイキ |
| 第1著者 所属（和/英） | 東京農工大学 (略称： 東京農工大) Tokyo University of Agriculture and Technology (略称： TUAT) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 藤吉 邦洋 / Kunihiro Fujiyoshi / フジヨシ クニヒロ |
| 第2著者 所属（和/英） | 東京農工大学 (略称： 東京農工大) Tokyo University of Agriculture and Technology (略称： TUAT) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2023-07-07 12:00:00 |
| 発表時間 | 20分 |
| 申込先研究会 | CAS |
| 資料番号 | CAS2023-22, VLD2023-22, SIP2023-38, MSS2023-22 |
| 巻番号（vol） | vol.123 |
| 号番号（no） | no.97(CAS), no.98(VLD), no.99(SIP), no.100(MSS) |
| ページ範囲 | pp.107-112 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2023-06-29 (CAS, VLD, SIP, MSS) |
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