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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2023-07-20 15:15 Brillouin光散乱法によるScAlN薄膜の弾性定数テンソルの測定 ○内田拓希（早大）・市橋隼人（同志社大）・鈴木雅視（山梨大）・高柳真司・松川真美（同志社大）・柳谷隆彦（早大）  EMT2023-20 MW2023-38 OPE2023-20 EST2023-20 MWPTHz2023-16 |
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| 抄録 | （和） | Brillouin光散乱法は、膜厚情報に無依存にTime-of-flight を使わずにGHz帯の超音波速度を測定できるところが、他の方法に比べて大きな利点である。本研究ではBrillouin光散乱法により、電界一定c11 およびを電界一定c66を測定し、共振法を用いて電界一定c33 およびを電界一定c44を測定した。これにより電界一定c13 を除く弾性定数テンソル電界一定cij のSc濃度依存性をSc濃度0–63% (ScxAl1-xN: x=0–0.63)の範囲において測定した。この方法では、単結晶のようにブロック形状が用意できない薄膜試料に対しても、弾性表面波を使わずにバルク超音波速度のみを使って同一の試料から電界一定cijを除く弾性定数を独立に得ることができる。それぞれの定数測定の誤差が他の定数の誤差に影響しにくいため、弾性的性質の物性全体像を得るのに有効な方法である。 |
| （英） | Large piezoelectricity and high Q factor in ScAlN film is attractive for RF filter applications. . Elastic constant tensors of ScAlN thin films are important parameters to design the SAW and BAW filters. In this study, elastic constant tensors (except c13E) of ScxAl1-xN films in the wide concentration range of x=0–0.63 were measured from ultrasonic velocities. In-plane bulk longitudinal wave and shear wave velocities (V11E and V66E ) in the c-axis oriented (0001) ScAlN were measured by Brillouin light scattering method with RI[Theta]A geometry. In addition, the out-of plane BAW velocities (V33D and V44E ) and kt2 in the (0001) ScAlN films were determined from the minimum point of the longitudinal wave and shear wave conversion loss curves in the HBAR, respectively. | |
| キーワード | （和） | ScAlN薄膜 / 弾性定数 / 圧電薄膜 / Brillouin散乱法 / スパッタ成膜 / 薄膜共振子 / / |
| （英） | ScAlN films / Elastic constant / Piezoelectric thin films / Brillouin scattering / Film bulk acoustic resonators / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 123, no. 116, OPE2023-20, pp. 61-66, 2023年7月. | |
| 資料番号 | OPE2023-20 | |
| 発行日 | 2023-07-13 (EMT, MW, OPE, EST, MWPTHz) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | EMT2023-20 MW2023-38 OPE2023-20 EST2023-20 MWPTHz2023-16 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | EST MW EMT OPE MWPTHz IEE-EMT |
| 開催期間 | 2023-07-20 - 2023-07-21 |
| 開催地（和） | 室蘭工業大学 |
| 開催地（英） | Muroran Institute of Technology |
| テーマ（和） | 光・電波ワークショップ |
| テーマ（英） | Workshop on Optical and Microwave technologies |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | OPE |
| 会議コード | 2023-07-EST-MW-EMT-OPE-MWPTHz-EMT |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | Brillouin光散乱法によるScAlN薄膜の弾性定数テンソルの測定 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Elastic constant tensors cijE of (0001) ScxAl1-xN thin films (x=0-0.63) measured by Brillouin light scattering method |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | ScAlN薄膜 / ScAlN films |
| キーワード(2)（和/英） | 弾性定数 / Elastic constant |
| キーワード(3)（和/英） | 圧電薄膜 / Piezoelectric thin films |
| キーワード(4)（和/英） | Brillouin散乱法 / Brillouin scattering |
| キーワード(5)（和/英） | スパッタ成膜 / Film bulk acoustic resonators |
| キーワード(6)（和/英） | 薄膜共振子 / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 内田 拓希 / Hiroki Uchida / ウチダ ヒロキ |
| 第1著者 所属（和/英） | 早稲田大学 (略称： 早大) Waseda University (略称： Waseda Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 市橋 隼人 / Hayato Ichihashi / イチハシ ハヤト |
| 第2著者 所属（和/英） | 同志社大学 (略称： 同志社大) Doshisya University (略称： Doshisya Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 鈴木 雅視 / Masashi Suzuki / |
| 第3著者 所属（和/英） | 山梨大学 (略称： 山梨大) Yamanashi University (略称： Yamanashi Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 高柳 真司 / Shinji Takayanagi / |
| 第4著者 所属（和/英） | 同志社大学 (略称： 同志社大) Doshisya University (略称： Doshisya Univ.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 松川 真美 / Mami Matsukawa / |
| 第5著者 所属（和/英） | 同志社大学 (略称： 同志社大) Doshisya University (略称： Doshisya Univ.) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 柳谷 隆彦 / Takahiko Yanagitani / |
| 第6著者 所属（和/英） | 早稲田大学 (略称： 早大) Waseda University (略称： Waseda Univ.) |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2023-07-20 15:15:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | OPE |
| 資料番号 | EMT2023-20, MW2023-38, OPE2023-20, EST2023-20, MWPTHz2023-16 |
| 巻番号（vol） | vol.123 |
| 号番号（no） | no.114(EMT), no.115(MW), no.116(OPE), no.117(EST), no.118(MWPTHz) |
| ページ範囲 | pp.61-66 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2023-07-13 (EMT, MW, OPE, EST, MWPTHz) |
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