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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2023-07-20 15:40 非線形光学デバイスに向けたc軸平行ZnO薄膜のイオンビームアシストスパッタ成長 ○浴田航平・賈 軍軍・柳谷隆彦（早大）  EMT2023-21 MW2023-39 OPE2023-21 EST2023-21 MWPTHz2023-17 |
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| 抄録 | （和） | ウルツ鉱結晶のZnOやAlNは、中赤外域で透明であり、非線形光学効果を使ったレーザ波長変換デバイスへの応用が期待できる。非線形第２高調波の変換効率を最大にするためには、擬似位相整合構造が必要であり、c軸を基板に対して平行に反転成長した多層構造が求められる。エピタキシャル成長を使わないc軸平行成長を目指し、イオンビームアシストスパッタによりZnO薄膜およびAlN薄膜を作製した。ZnOおよびAlN薄膜の３次元的な結晶配向性はX線極点図により評価した。その結果、ZnO薄膜およびAlN薄膜はc軸が平行に成長し、かつイオンビームの照射方向c軸が成長することがわかった。 |
| （英） | Wurtzite crystals (such as ZnO and AlN) are attractive for applications in laser wavelength conversion devices using nonlinear optical effects. In order to obtain large harmonic conversion efficiency, the c-axis of the ZnO and AlN thin films need to be grown parallel to the substrate. The three dimensional crystalline orientations were examined by XRD pole figure.As the results, c-axis parallel growth in the ZnO and AlN thin films were observed. XRD pole figure revealed that the c-axis in the in-plane direction corresponds to the ion beam incident direction. | |
| キーワード | （和） | イオンビーム / ZnO薄膜 / AlN薄膜 / / / / / |
| （英） | Ion beam / ZnO films / AlN films / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 123, no. 116, OPE2023-21, pp. 67-70, 2023年7月. | |
| 資料番号 | OPE2023-21 | |
| 発行日 | 2023-07-13 (EMT, MW, OPE, EST, MWPTHz) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | EMT2023-21 MW2023-39 OPE2023-21 EST2023-21 MWPTHz2023-17 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | EST MW EMT OPE MWPTHz IEE-EMT |
| 開催期間 | 2023-07-20 - 2023-07-21 |
| 開催地（和） | 室蘭工業大学 |
| 開催地（英） | Muroran Institute of Technology |
| テーマ（和） | 光・電波ワークショップ |
| テーマ（英） | Workshop on Optical and Microwave technologies |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | OPE |
| 会議コード | 2023-07-EST-MW-EMT-OPE-MWPTHz-EMT |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 非線形光学デバイスに向けたc軸平行ZnO薄膜のイオンビームアシストスパッタ成長 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | IBAD c-axis parallel ZnO thin films for nonlinear optical device applications |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | イオンビーム / Ion beam |
| キーワード(2)（和/英） | ZnO薄膜 / ZnO films |
| キーワード(3)（和/英） | AlN薄膜 / AlN films |
| キーワード(4)（和/英） | / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 浴田 航平 / Kohei Ekida / エキダ コウヘイ |
| 第1著者 所属（和/英） | 早稲田大学 (略称： 早大) Waseda University (略称： Waseda Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 賈 軍軍 / Junjun Jia / ジャー ジュンジュン |
| 第2著者 所属（和/英） | 早稲田大学 (略称： 早大) Waseda University (略称： Waseda Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 柳谷 隆彦 / Takahiko Yanagitani / ヤナギタニ タカヒコ |
| 第3著者 所属（和/英） | 早稲田大学 (略称： 早大) Waseda University (略称： Waseda Univ.) |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2023-07-20 15:40:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | OPE |
| 資料番号 | EMT2023-21, MW2023-39, OPE2023-21, EST2023-21, MWPTHz2023-17 |
| 巻番号（vol） | vol.123 |
| 号番号（no） | no.114(EMT), no.115(MW), no.116(OPE), no.117(EST), no.118(MWPTHz) |
| ページ範囲 | pp.67-70 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2023-07-13 (EMT, MW, OPE, EST, MWPTHz) |
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