| 電子情報通信学会 研究会発表申込システム 講演論文 詳細 |
技報閲覧サービス [ログイン] 技報アーカイブ |
| トップに戻る | 前のページに戻る | [Japanese] / [English] |
| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2023-07-21 13:25 Mason等価回路シミュレーションを用いた圧電薄膜の電気機械結合係数の新規評価法の開発 ○島野耀康（早大）・矢田部浩平（東京農工大）・柳谷隆彦（早大）  EMT2023-56 MW2023-74 OPE2023-56 EST2023-56 MWPTHz2023-52 |
|
| 抄録 | （和） | 電気機械結合係数はRFフィルタの帯域や挿入損失を決定づける重要な評価指標である。実際のBAWデバイスではMoやRuなどの重い電極で圧電層を挟んでデバイス全体の実効的な電気機械結合係数keff2を向上させる方法が使われる。しかしながら基板付き薄膜共振子(HBAR)において、電極効果を含んだkeff2の直接評価は未だできていない。そこで本報告では基板を除去せずに信号処理によりFBAR特性を模擬し、通常の共振反共振法を用いてkeff2を直接抽出する新しい手法を提案する。 |
| （英） | The electromechanical coupling coefficient is one of the important parameters for determining the performances of RF filters, such as insertion loss and bandwidth. In terms of BAW devices, heavy metal (e.g., Mo or Ru) is used for electrodes to improve an effective electromechanical coupling coefficient keff2. However, in piezoelectric thin film/substrate structure (HBAR), a method for extracting keff2 including electrode effects has not been reported yet. In this study, we propose a new method for producing pseudo FBAR data from experimental data of HBAR without substrate removal but by using signal processing. In this new method, we can directly evaluate keff2 of HBAR using the resonance-antiresonance method. | |
| キーワード | （和） | 圧電体 / BAW / 電気機械結合係数 / / / / / |
| （英） | Piezoelectric material / BAW / Electromechanical coupling coefficient / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 123, no. 117, EST2023-56, pp. 241-242, 2023年7月. | |
| 資料番号 | EST2023-56 | |
| 発行日 | 2023-07-13 (EMT, MW, OPE, EST, MWPTHz) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | EMT2023-56 MW2023-74 OPE2023-56 EST2023-56 MWPTHz2023-52 |
|
| 研究会情報 | |
| 研究会 | EST MW EMT OPE MWPTHz IEE-EMT |
| 開催期間 | 2023-07-20 - 2023-07-21 |
| 開催地（和） | 室蘭工業大学 |
| 開催地（英） | Muroran Institute of Technology |
| テーマ（和） | 光・電波ワークショップ |
| テーマ（英） | Workshop on Optical and Microwave technologies |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | EST |
| 会議コード | 2023-07-EST-MW-EMT-OPE-MWPTHz-EMT |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | Mason等価回路シミュレーションを用いた圧電薄膜の電気機械結合係数の新規評価法の開発 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Development of new method for evaluating electromechanical coupling coefficient using Mason’s equivalent circuit model simulation |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 圧電体 / Piezoelectric material |
| キーワード(2)（和/英） | BAW / BAW |
| キーワード(3)（和/英） | 電気機械結合係数 / Electromechanical coupling coefficient |
| キーワード(4)（和/英） | / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 島野 耀康 / Yohkoh Shimano / シマノ ヨウコウ |
| 第1著者 所属（和/英） | 早稲田大学 (略称： 早大) Waseda University (略称： Waseda Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 矢田部 浩平 / Kohei Yatabe / ヤタベ コウヘイ |
| 第2著者 所属（和/英） | 東京農工大学 (略称： 東京農工大) Tokyo University of Agriculture and Technology (略称： Tokyo Univ. of Agri. and Tech.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 柳谷 隆彦 / Takahiko Yanagitani / ヤナギタニ タカヒコ |
| 第3著者 所属（和/英） | 早稲田大学 (略称： 早大) Waseda University (略称： Waseda Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2023-07-21 13:25:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | EST |
| 資料番号 | EMT2023-56, MW2023-74, OPE2023-56, EST2023-56, MWPTHz2023-52 |
| 巻番号（vol） | vol.123 |
| 号番号（no） | no.114(EMT), no.115(MW), no.116(OPE), no.117(EST), no.118(MWPTHz) |
| ページ範囲 | pp.241-242 |
| ページ数 | 2 |
| 発行日 | 2023-07-13 (EMT, MW, OPE, EST, MWPTHz) |
[研究会発表申込システムのトップページに戻る]