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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2023-07-31 15:10 抵抗変化型メモリとしてのZrN電極を用いたMIM構造の検討 ○三浦豊生・佐藤 勝・武山真弓（北見工大）  CPM2023-14 |
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| 抄録 | （和） | 近年, 急速に進む情報社会において, 不揮発性メモリには, さらなる高性能化が求められているため, 次世代不揮発性メモリとして, 高密度化や大容量化が可能な抵抗変化型メモリが注目されている. そこで本研究では, ZrNを電極に用いたCu/SiOx/ZrN構造が抵抗変化型メモリとして機能するか検討した. その結果, I-V特性評価より, 動作電圧は3V以下で抵抗変化型メモリの動作を示した. |
| （英） | In the rapidly advancing information society, higher performance nonvolatile memories are demanded. In such a situation, Resistive Random Access Memory (ReRAM), which enables high density and large capacity, is attracting attention as an emerging memory. In this study, we investigated resistance switching of ReRAM with ZrN bottom electrode. As a result, according to I-V characterization of device, switching characteristics of below 3V are shown. | |
| キーワード | （和） | 次世代不揮発性メモリ / 抵抗変化型メモリ / ZrN / / / / / |
| （英） | emerging memory / Resistive Random Access Memory / ZrN / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 123, no. 142, CPM2023-14, pp. 11-12, 2023年7月. | |
| 資料番号 | CPM2023-14 | |
| 発行日 | 2023-07-24 (CPM) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | CPM2023-14 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
| 開催期間 | 2023-07-31 - 2023-08-01 |
| 開催地（和） | 北見工業大学 |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 電子部品・材料，一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | CPM |
| 会議コード | 2023-07-CPM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 抵抗変化型メモリとしてのZrN電極を用いたMIM構造の検討 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Investigation of MIM structure with ZrN electrode as Resistive Random Access Memory |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 次世代不揮発性メモリ / emerging memory |
| キーワード(2)（和/英） | 抵抗変化型メモリ / Resistive Random Access Memory |
| キーワード(3)（和/英） | ZrN / ZrN |
| キーワード(4)（和/英） | / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 三浦 豊生 / Toyoki Miura / ミウラ トヨキ |
| 第1著者 所属（和/英） | 北見工業大学 (略称： 北見工大) Kitami Institute of Technology (略称： Kitami Institute) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 佐藤 勝 / Masaru Sato / サトウ マサル |
| 第2著者 所属（和/英） | 北見工業大学 (略称： 北見工大) Kitami Institute of Technology (略称： Kitami Institute) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 武山 真弓 / Mayumi Takeyama / タケヤマ マユミ |
| 第3著者 所属（和/英） | 北見工業大学 (略称： 北見工大) Kitami Institute of Technology (略称： Kitami Institute) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2023-07-31 15:10:00 |
| 発表時間 | 20分 |
| 申込先研究会 | CPM |
| 資料番号 | CPM2023-14 |
| 巻番号（vol） | vol.123 |
| 号番号（no） | no.142 |
| ページ範囲 | pp.11-12 |
| ページ数 | 2 |
| 発行日 | 2023-07-24 (CPM) |
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