| 電子情報通信学会 研究会発表申込システム 講演論文 詳細 |
技報閲覧サービス [ログイン] 技報アーカイブ |
| トップに戻る | 前のページに戻る | [Japanese] / [English] |
| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2023-10-27 12:15 RF-DC結合形スパッタ法により作製されるAZO薄膜の面内方向の特性 ○清水英彦・高見洋輝（新潟大）  MRIS2023-20 CPM2023-54 OME2023-41 |
|
| 抄録 | （和） | (まだ登録されていません) |
| （英） | (Not available yet) | |
| キーワード | （和） | / / / / / / / |
| （英） | / / / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 123, no. 230, CPM2023-54, pp. 42-45, 2023年10月. | |
| 資料番号 | CPM2023-54 | |
| 発行日 | 2023-10-19 (MRIS, CPM, OME) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | MRIS2023-20 CPM2023-54 OME2023-41 |
|
| 研究会情報 | |
| 研究会 | MRIS CPM ITE-MMS OME |
| 開催期間 | 2023-10-26 - 2023-10-27 |
| 開催地（和） | 新潟大学(駅南キャンパスときめいと) |
| 開催地（英） | Niigata Univ. Ekiminami Campus |
| テーマ（和） | スピントロニクス・固体メモリ・機能性材料・薄膜プロセス・材料・デバイス＋一般 |
| テーマ（英） | Spintronics, Solid State Memory, Functional material, Thin film process, Material, Devices, etc. |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | CPM |
| 会議コード | 2023-10-MRIS-CPM-MMS-OME |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | RF-DC結合形スパッタ法により作製されるAZO薄膜の面内方向の特性 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | In-plane properties of AZO thin films deposited by RF-DC coupled magnetron sputtering method |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | / |
| キーワード(2)（和/英） | / |
| キーワード(3)（和/英） | / |
| キーワード(4)（和/英） | / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 清水 英彦 / Hidehiko Shimizu / シミズ ヒデヒコ |
| 第1著者 所属（和/英） | 新潟大学 (略称： 新潟大) Niigata University (略称： Niigata Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 高見 洋輝 / Hiroki Takami / タカミ ヒロキ |
| 第2著者 所属（和/英） | 新潟大学 (略称： 新潟大) Niigata University (略称： Niigata Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2023-10-27 12:15:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | CPM |
| 資料番号 | MRIS2023-20, CPM2023-54, OME2023-41 |
| 巻番号（vol） | vol.123 |
| 号番号（no） | no.229(MRIS), no.230(CPM), no.231(OME) |
| ページ範囲 | pp.42-45 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2023-10-19 (MRIS, CPM, OME) |
[研究会発表申込システムのトップページに戻る]