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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2023-12-01 16:15 ウェットエッチングしたAlNナノピラー上のUV-Bレーザーダイオードの光学特性評価 ○井本圭紀・近藤涼輔・山田凌矢・服部光希・西林到真・松原衣里・岩山 章・上山 智・竹内哲也・岩谷素顕（名城大）・三宅秀人（三重大）  ED2023-36 CPM2023-78 LQE2023-76 |
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| 抄録 | （和） | 我々のグループでは、周期的な構造を持ったAlNナノピラー上に結晶を成長させることにより、格子緩和した高品質AlGaNが作製可能であること、さらに、そのAlGaN上にレーザー構造を積層することでしきい値電流密度が低減することを報告してきた。本研究では、AlNナノピラーをTMAH水溶液でウェットエッチングすることにより光励起レーザーのしきい値パワー密度が低下することを見出した。さらに、そのAlGaNの転位密度や内部量子効率などを詳細に比較した結果について報告する。 |
| （英） | Our groups reported that we could fabricate high quality lattice relaxed AlGaN grown on periodic AlN nanopillars.and threshold current density of laser grown on its AlGaN template decreased. In this report, We realized reduction of threshold power density by using wet etching. In addition, we will report dislocation density and internal quantum efficiency in AlGaN | |
| キーワード | （和） | AlNナノピラー / AlGaN / 光励起レーザー / / / / / |
| （英） | AlN nanopillar / AlGaN / optical pumping laser / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 123, no. 290, LQE2023-76, pp. 98-101, 2023年11月. | |
| 資料番号 | LQE2023-76 | |
| 発行日 | 2023-11-23 (ED, CPM, LQE) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | ED2023-36 CPM2023-78 LQE2023-76 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | LQE ED CPM |
| 開催期間 | 2023-11-30 - 2023-12-01 |
| 開催地（和） | アクトシティ浜松 |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 窒化物半導体光・電子デバイス・材料，関連技術，及び一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | LQE |
| 会議コード | 2023-11-LQE-ED-CPM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | ウェットエッチングしたAlNナノピラー上のUV-Bレーザーダイオードの光学特性評価 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | The properties of UV-B laser diodes on AlN nanopillars by using wet etching method |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | AlNナノピラー / AlN nanopillar |
| キーワード(2)（和/英） | AlGaN / AlGaN |
| キーワード(3)（和/英） | 光励起レーザー / optical pumping laser |
| キーワード(4)（和/英） | / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 井本 圭紀 / Yoshinori Imoto / イモト ヨシノリ |
| 第1著者 所属（和/英） | 名城大学 (略称： 名城大) Meijo University (略称： Meijo Univ) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 近藤 涼輔 / Ryosuke Kondo / コンドウ リョウスケ |
| 第2著者 所属（和/英） | 名城大学 (略称： 名城大) Meijo University (略称： Meijo Univ) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 山田 凌矢 / Ryoya Yamada / ヤマダ リョウヤ |
| 第3著者 所属（和/英） | 名城大学 (略称： 名城大) Meijo University (略称： Meijo Univ) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 服部 光希 / Koki Hattori / ハットリ コウキ |
| 第4著者 所属（和/英） | 名城大学 (略称： 名城大) Meijo University (略称： Meijo Univ) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 西林 到真 / Toma Nishibayashi / ニシバヤシ トウマ |
| 第5著者 所属（和/英） | 名城大学 (略称： 名城大) Meijo University (略称： Meijo Univ) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 松原 衣里 / * * / |
| 第6著者 所属（和/英） | 名城大学 (略称： 名城大) Meijo University (略称： Meijo Univ) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） | 岩山 章 / Sho Iwayama / イワヤマ ショウ |
| 第7著者 所属（和/英） | 名城大学 (略称： 名城大) Meijo University (略称： Meijo Univ) |
| 第8著者 氏名（和/英/ヨミ） | 上山 智 / Satoshi Kamiyama / カミヤマ サトシ |
| 第8著者 所属（和/英） | 名城大学 (略称： 名城大) Meijo University (略称： Meijo Univ) |
| 第9著者 氏名（和/英/ヨミ） | 竹内 哲也 / Tetsuya Takeuchi / タケウチ テツヤ |
| 第9著者 所属（和/英） | 名城大学 (略称： 名城大) Meijo University (略称： Meijo Univ) |
| 第10著者 氏名（和/英/ヨミ） | 岩谷 素顕 / Motoaki Iwaya / イワヤ モトアキ |
| 第10著者 所属（和/英） | 名城大学 (略称： 名城大) Meijo University (略称： Meijo Univ) |
| 第11著者 氏名（和/英/ヨミ） | 三宅 秀人 / Hideto Miyake / ミヤケ ヒデト |
| 第11著者 所属（和/英） | 三重大学 (略称： 三重大) Mie University (略称： Mie Univ) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2023-12-01 16:15:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | LQE |
| 資料番号 | ED2023-36, CPM2023-78, LQE2023-76 |
| 巻番号（vol） | vol.123 |
| 号番号（no） | no.288(ED), no.289(CPM), no.290(LQE) |
| ページ範囲 | pp.98-101 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2023-11-23 (ED, CPM, LQE) |
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