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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2023-12-22 13:00 ［ポスター講演］積層電極によるScAlN多層薄膜SMRを用いた二重モード型BAWフィルタ(DMB) ○柴田真之・柳谷隆彦（早大）  US2023-56 |
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| 抄録 | （和） | 現在スマートフォンのRFフィルタとして、弾性表面波を用いたSAW(Surface Acoustic Wave)フィルタと、バルク弾性波を用いたBAW(Bulk Acoustic Wave)フィルタが利用されている。特にBAWフィルタはSAWフィルタに比べて耐電力性が高い[1]ことから、将来的により高い周波数帯(5 GHz~)での利用が期待されている。SAWフィルタでは主に、SAW共振子をはしご型に接続したラダー型SAWフィルタ[2]と、SAW共振子同士の音響的な結合を利用したDMS(Double Mode type SAW)フィルタ[3]が広く利用されている。一方BAWフィルタで主に利用されている構成はBAW共振子をはしご型に接続したラダー型BAWフィルタのみであり、SAWフィルタにおけるDMSフィルタのような音響的な結合を利用したBAWフィルタはほとんど実用化されていない。BAW共振子同士の音響的な結合を利用したBAWフィルタとして、過去にSCF(Stacked Crystal Filter)[4]やCRF(Coupled Resonator Filter)[5]といった構造に関する研究は多く報告されているものの、通過帯域の調整が難しい等の利用からDMSフィルタほど広く利用されていない。そこで本研究では、BAW共振子同士の音響的な結合を利用した新しいBAWフィルタとして、分極反転多層構造および中間電極付き圧電薄膜多層構造を用いた、二重モード型BAW(Double Mode type BAW)フィルタを提案する。 |
| （英） | Surface acoustic wave (SAW) filters, which use surface acoustic waves, and bulk acoustic wave (BAW) filters, which use bulk acoustic waves, are used as RF filters in smartphones. SAW filters are mainly classified into two types: ladder-type SAW filters, in which SAW resonators are connected in a ladder-like structure [2], and double mode type SAW (DMS) filters, which use acoustic coupling between SAW resonators [3]. On the other hand, ladder-type BAW filters, in which BAW resonators are connected in a ladder-like structure, are the most commonly used BAW filters, and BAW filters using acoustic coupling like DMS filters in SAW filters are rarely used in practical applications. Although many studies have been reported on SCF (Stacked Crystal Filter) [4] and CRF (Coupled Resonator Filter) [5] structures, they are not as widely used as DMS filters due to difficulties adjusting the bandwidth. In this study, we propose a new BAW filter that uses acoustic coupling between BAW resonators, a double mode type BAW (DMB) filter that employs a polarization-inverted multilayer structure and a piezoelectric thin-film multilayer structure with intermediate electrodes. | |
| キーワード | （和） | DMSフィルタ / BAWフィルタ / バンドパスフィルタ / ScAlN / 分極反転多層薄膜 / 5G / / |
| （英） | DMS filter / BAW filter / Bandpass filter / ScAlN / Polarization-inverted multilayer / 5G / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 123, no. 321, US2023-56, pp. 1-6, 2023年12月. | |
| 資料番号 | US2023-56 | |
| 発行日 | 2023-12-15 (US) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | US2023-56 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | EA US |
| 開催期間 | 2023-12-22 - 2023-12-23 |
| 開催地（和） | 九州大学 大橋キャンパス デザインコモン 2階 |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | ＜音響・超音波サブソサイエティ合同研究会＞応用／電気音響，超音波一般 |
| テーマ（英） | [Joint Meeting on Acoustics and Ultrasonics Subsociety] Engineering/Electro Acoustics, Ultrasonics, etc. |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | US |
| 会議コード | 2023-12-EA-US |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 積層電極によるScAlN多層薄膜SMRを用いた二重モード型BAWフィルタ(DMB) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Double mode type BAW filter based on ScAlN multilayers SMR using stacked electrodes |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | DMSフィルタ / DMS filter |
| キーワード(2)（和/英） | BAWフィルタ / BAW filter |
| キーワード(3)（和/英） | バンドパスフィルタ / Bandpass filter |
| キーワード(4)（和/英） | ScAlN / ScAlN |
| キーワード(5)（和/英） | 分極反転多層薄膜 / Polarization-inverted multilayer |
| キーワード(6)（和/英） | 5G / 5G |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 柴田 真之 / Saneyuki Shibata / シバタ サネユキ |
| 第1著者 所属（和/英） | 早稲田大学 (略称： 早大) Waseda University (略称： Waseda Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 柳谷 隆彦 / Takahiko Yanagitani / ヤナギタニ タカヒコ |
| 第2著者 所属（和/英） | 早稲田大学 (略称： 早大) Waseda University (略称： Waseda Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2023-12-22 13:00:00 |
| 発表時間 | 120分 |
| 申込先研究会 | US |
| 資料番号 | US2023-56 |
| 巻番号（vol） | vol.123 |
| 号番号（no） | no.321 |
| ページ範囲 | pp.1-6 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2023-12-15 (US) |
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