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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2024-01-25 14:25 MOCVD法におけるシミュレーションを活用したGaN成長条件の最適化 ○吉岡尚輝・畠中 奨・野々田亮平・小島善樹（三菱電機）  ED2023-66 MW2023-158 |
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| 抄録 | （和） | GaNの高電子移動度トランジスタ(High Electron Mobility Transistor : HEMT)は所望のデバイス特性を得るために、バッファ層のC濃度を制御する必要がある。しかしながら、C濃度の測定手段は二次イオン質量分析法(Secondary Ion Mass Spectrometry : SIMS)のみであるため、評価と成長条件の最適化には時間を要する。そこで、開発期間の短縮のために成長シミュレーション技術の活用を試みた。本報告では、成長シミュレーション技術の導入段階として、シミュレーションの計算結果と実験値の比較を行った結果について述べる。C濃度に対するトリメチルガリウム(TMGa)供給量依存性は、シミュレーション計算結果と実験値が概ね一致することを確認した。一方で、C濃度の基板表面温度および成長圧力依存性については、シミュレーション計算結果と実験値は一致せず、実際のリアクタ内の成長反応を再現できていないことを確認した。シミュレーション計算精度向上のためには、計算結果の詳細分析や成長モデルの修正が必要である。 |
| （英） | (Not available yet) | |
| キーワード | （和） | シミュレーション / 成長条件 / / / / / / |
| （英） | MOCVD / GaN / / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 123, no. 365, ED2023-66, pp. 4-6, 2024年1月. | |
| 資料番号 | ED2023-66 | |
| 発行日 | 2024-01-18 (ED, MW) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | ED2023-66 MW2023-158 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED MW |
| 開催期間 | 2024-01-25 - 2024-01-26 |
| 開催地（和） | 機械振興会館 |
| 開催地（英） | Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. |
| テーマ（和） | 化合物半導体ICおよび超高速・超高周波デバイス／マイクロ波一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | ED |
| 会議コード | 2024-01-ED-MW |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | MOCVD法におけるシミュレーションを活用したGaN成長条件の最適化 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Optimization of GaN MOCVD growth conditions using simulation |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | シミュレーション / MOCVD |
| キーワード(2)（和/英） | 成長条件 / GaN |
| キーワード(3)（和/英） | / |
| キーワード(4)（和/英） | / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 吉岡 尚輝 / Naoki Yoshioka / ヨシオカ ナオキ |
| 第1著者 所属（和/英） | 三菱電機株式会社 (略称： 三菱電機) Mitsubishi Electric Corporation (略称： Mitsubishi Elec. Corp.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 畠中 奨 / Susumu Hatakenaka / ハタケナカ ススム |
| 第2著者 所属（和/英） | 三菱電機株式会社 (略称： 三菱電機) Mitsubishi Electric Corporation (略称： Mitsubishi Elec. Corp.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 野々田 亮平 / Ryohei Nonoda / ノノダ リョウヘイ |
| 第3著者 所属（和/英） | 三菱電機株式会社 (略称： 三菱電機) Mitsubishi Electric Corporation (略称： Mitsubishi Elec. Corp.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 小島 善樹 / Yoshiki Kojima / コジマ ヨシキ |
| 第4著者 所属（和/英） | 三菱電機株式会社 (略称： 三菱電機) Mitsubishi Electric Corporation (略称： Mitsubishi Elec. Corp.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2024-01-25 14:25:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | ED |
| 資料番号 | ED2023-66, MW2023-158 |
| 巻番号（vol） | vol.123 |
| 号番号（no） | no.365(ED), no.366(MW) |
| ページ範囲 | pp.4-6 |
| ページ数 | 3 |
| 発行日 | 2024-01-18 (ED, MW) |
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