| 電子情報通信学会 研究会発表申込システム 講演論文 詳細 |
技報閲覧サービス [ログイン] 技報アーカイブ |
| トップに戻る | 前のページに戻る | [Japanese] / [English] |
| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2024-02-29 13:45 SiおよびN添加ダイヤモンドライクカーボン膜へのO添加の効果 ○山崎雄也・鈴木裕史・小林康之・中澤日出樹（弘前大）  CPM2023-105 |
|
| 抄録 | （和） | 高周波プラズマ化学気相成長法によりシリコン、窒素および酸素を共添加したダイヤモンドライクカーボン(Si-N-O-DLC)膜を作製し、作製時のCO2流量比[CO2/(CH4+CO2)]が膜の諸特性に及ぼす影響を調べた。膜構造はCO2流量比の増加により非晶質からナノ結晶グラファイトへと変化する傾向であった。CO2流量比の増加に伴い内部応力は緩和され、膜の密着性および臨界荷重が向上した。O添加によって膜の表面粗さはほとんど変化せず、高い表面平坦性および低い摩擦係数を示した。また、光学バンドギャップはCO2流量比の増加に伴い減少した。 |
| （英） | We have prepared silicon-, nitrogen- and oxygen-doped diamond-like carbon (Si–N–O-DLC) films via plasma-enhanced chemical vapor deposition and investigated the effects of CO2 flow ratio [CO2/(CH4+CO2)] on the film properties. As the CO2 flow ratio increased, the film structure tended to change from amorphous to nanocrystalline graphite. The internal stress decreased with increasing CO2 flow ratio whereby the film adhesion or critical load was improved. When the CO2 flow ratio varied, the surface roughness and friction coefficient remained low. Meanwhile, the optical bandgap decreased with increasing CO2 flow ratio. | |
| キーワード | （和） | ダイヤモンドライクカーボン膜 / 化学気相成長 / 機械的特性 / 光学的特性 / / / / |
| （英） | Diamond-like carbon / Chemical vapor deposition / Mechanical properties / Optical properties / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 123, no. 395, CPM2023-105, pp. 38-41, 2024年2月. | |
| 資料番号 | CPM2023-105 | |
| 発行日 | 2024-02-22 (CPM) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | CPM2023-105 |
|
| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
| 開催期間 | 2024-02-29 - 2024-02-29 |
| 開催地（和） | 山形大学工学部 |
| 開催地（英） | Yamagata University |
| テーマ（和） | 若手ミーティング （電子・部品・材料・一般） |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | CPM |
| 会議コード | 2024-02-CPM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | SiおよびN添加ダイヤモンドライクカーボン膜へのO添加の効果 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Effects of O doping on Si- and N-doped diamond-like carbon films |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | ダイヤモンドライクカーボン膜 / Diamond-like carbon |
| キーワード(2)（和/英） | 化学気相成長 / Chemical vapor deposition |
| キーワード(3)（和/英） | 機械的特性 / Mechanical properties |
| キーワード(4)（和/英） | 光学的特性 / Optical properties |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 山崎 雄也 / Yuya Yamazaki / ヤマザキ ユウヤ |
| 第1著者 所属（和/英） | 弘前大学 (略称： 弘前大) Hirosaki University (略称： Hirosaki Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 鈴木 裕史 / Yushi Suzuki / スズキ ユウシ |
| 第2著者 所属（和/英） | 弘前大学 (略称： 弘前大) Hirosaki University (略称： Hirosaki Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 小林 康之 / Yasuyuki Kobayashi / コバヤシ ヤスユキ |
| 第3著者 所属（和/英） | 弘前大学 (略称： 弘前大) Hirosaki University (略称： Hirosaki Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 中澤 日出樹 / Hideki Nakazawa / ナカザワ ヒデキ |
| 第4著者 所属（和/英） | 弘前大学 (略称： 弘前大) Hirosaki University (略称： Hirosaki Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2024-02-29 13:45:00 |
| 発表時間 | 15分 |
| 申込先研究会 | CPM |
| 資料番号 | CPM2023-105 |
| 巻番号（vol） | vol.123 |
| 号番号（no） | no.395 |
| ページ範囲 | pp.38-41 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2024-02-22 (CPM) |
[研究会発表申込システムのトップページに戻る]