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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2024-02-29 15:20 自由電子レーザの発振条件変化による微細周期構造の変化 ○宮野祐弥・星野陽太・岩田展幸（日大）  CPM2023-110 |
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| 抄録 | （和） | 波長可変の自由電子レーザを，熱酸化膜 300 nmが積層された低抵抗N型シリコンウエハに照射した．波長1600 nm ~ 3500 nmにおいては，基本波のみを照射した．照射痕外周部にレーザ誘起表面周期構造(LIPSS)が形成されたことがわかった．波長3500 nmのFELでは，LIPSSの周期間隔は約630 nm程度であった．波長900～1200 nm では第二次高調波を照射した．照射領域全体にLIPSSが形成されていることがわかった．波長1100 nmでは，LIPSSの周期間隔が約850 nm程度であることが分かった． 本実験で形成されたLIPSSは熱酸化膜とシリコン基板界面のシリコン表面が変化して形成されたのではないかと考えている．FEL照射波長に対するLIPSSの周期構造の間隔は，波長が短くなるにつれて減少していることが分かった． |
| （英） | The free electron laser (FEL), the wavelength of which can be varied, is irradiated to the high-doped n-type Si with 300 nm thermal oxidized SiO2 at the surface. The fundamental FEL laser without harmonics is irradiated at the region of wavelength of 1600 nm ~ 3500 nm. At the surround of irradiated area, laser induced periodic surface structures (LLIP) is formed. The periodic interval is 630 nm with 3500 nm FEL. The Second harmonic generation (SHG) of the FEL at the region of 900 ~ 1200 nm is irradiated. The LLIP with the interval of 850 nm is formed using 1100 nm SHG at the whole of irradiated area. The periodic interval is reduced, decreasing the FEL wavelength. | |
| キーワード | （和） | LIPSS / 自由電子レーザ / / / / / / |
| （英） | LIPSS / Free Electron Laser / / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 123, no. 395, CPM2023-110, pp. 58-61, 2024年2月. | |
| 資料番号 | CPM2023-110 | |
| 発行日 | 2024-02-22 (CPM) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | CPM2023-110 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
| 開催期間 | 2024-02-29 - 2024-02-29 |
| 開催地（和） | 山形大学工学部 |
| 開催地（英） | Yamagata University |
| テーマ（和） | 若手ミーティング （電子・部品・材料・一般） |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | CPM |
| 会議コード | 2024-02-CPM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 自由電子レーザの発振条件変化による微細周期構造の変化 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Wavelength dependence of the periodic interval of the laser induced periodic surface structures using free electron laser |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | LIPSS / LIPSS |
| キーワード(2)（和/英） | 自由電子レーザ / Free Electron Laser |
| キーワード(3)（和/英） | / |
| キーワード(4)（和/英） | / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 宮野 祐弥 / Yuya Miyano / ミヤノ ユウヤ |
| 第1著者 所属（和/英） | 日本大学 (略称： 日大) Nihon University (略称： Nihon Univ) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 星野 陽太 / Yota Hoshino / ホシノ ヨウタ |
| 第2著者 所属（和/英） | 日本大学 (略称： 日大) Nihon University (略称： Nihon Univ) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 岩田 展幸 / Nobuyuki Iwata / イワタ ノブユキ |
| 第3著者 所属（和/英） | 日本大学 (略称： 日大) Nihon University (略称： Nihon Univ) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2024-02-29 15:20:00 |
| 発表時間 | 15分 |
| 申込先研究会 | CPM |
| 資料番号 | CPM2023-110 |
| 巻番号（vol） | vol.123 |
| 号番号（no） | no.395 |
| ページ範囲 | pp.58-61 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2024-02-22 (CPM) |
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