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講演抄録/キーワード
講演名 2024-06-06 15:00
ポーラスターゲットを用いたホットカソードRFスパッタリングによる熱アシスト磁気記録媒体用MgO下地層の高速成膜
山田航太宮崎大輝廣川祐生Seong-Jae Jeon清水章弘日向慎太郎小川智之斉藤 伸東北大)・岩谷幸作豊島製作所)   エレソ技報アーカイブはこちら
抄録 (和) (開催日以降に掲載されます) 
(英) (Available after conference date)
キーワード (和) RFスパッタリング / ホットカソード法 / MgO薄膜 / 高速成膜 / 造孔材 / ポーラス構造材料 / 熱応力 /  
(英) RF sputtering / hot cathode / MgO thin film / high rate deposition / pore forming material / porous structure target / high thermal stress tolerant /  
文献情報 信学技報
資料番号  
発行日 2024-05-30 (MRIS) 
ISSN Online edition: ISSN 2432-6380
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研究会情報
研究会 MRIS ITE-MMS  
開催期間 2024-06-06 - 2024-06-07 
開催地(和) 東北大通研 
開催地(英) Tohoku Univ., RIEC 
テーマ(和) 記録システム・ヘッド・媒体+一般 
テーマ(英) recording system/head/media, etc. 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 MRIS 
会議コード 2024-06-MRIS-MMS 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) ポーラスターゲットを用いたホットカソードRFスパッタリングによる熱アシスト磁気記録媒体用MgO下地層の高速成膜 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) High rate RF sputtering of MgO underlayer by hot cathode method with porous target for heat assisted magnetic recording media 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) RFスパッタリング / RF sputtering  
キーワード(2)(和/英) ホットカソード法 / hot cathode  
キーワード(3)(和/英) MgO薄膜 / MgO thin film  
キーワード(4)(和/英) 高速成膜 / high rate deposition  
キーワード(5)(和/英) 造孔材 / pore forming material  
キーワード(6)(和/英) ポーラス構造材料 / porous structure target  
キーワード(7)(和/英) 熱応力 / high thermal stress tolerant  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 山田 航太 / Kota Yamada / ヤマダ コウタ
第1著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 宮崎 大輝 / Daiki Miyazaki / ミヤザキ ダイキ
第2著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 廣川 祐生 / Yuki Hirokawa / ヒロカワ ユウキ
第3著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) Seong-Jae Jeon / Seong-Jae Jeon /
第4著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 清水 章弘 / Akihiro Shimizu / シミズ アキヒロ
第5著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) 日向 慎太郎 / Shintaro Hinata / ヒナタ シンタロウ
第6著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
第7著者 氏名(和/英/ヨミ) 小川 智之 / Tomoyuki Ogawa / オガワ トモユキ
第7著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
第8著者 氏名(和/英/ヨミ) 斉藤 伸 / Shin Saito / サイトウ シン
第8著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
第9著者 氏名(和/英/ヨミ) 岩谷 幸作 / Kosaku Iwatani / イワタニ コウサク
第9著者 所属(和/英) 豊島製作所 (略称: 豊島製作所)
TOSHIMA Manufacturing Co., Ltd. (略称: TOSHIMA Manufacturing Co., Ltd.)
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講演者 第1著者 
発表日時 2024-06-06 15:00:00 
発表時間 25分 
申込先研究会 MRIS 
資料番号  
巻番号(vol) vol. 
号番号(no)  
ページ範囲  
ページ数  
発行日 2024-05-30 (MRIS) 


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