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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2024-07-11 16:50 GHz帯RFフィルタに向けたチタン酸鉛エピ薄膜共振子 ○下山 航・島野耀康・柳谷隆彦（早大）  EMT2024-19 MW2024-43 OPE2024-22 EST2024-20 MWPTHz2024-26 |
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| 抄録 | （和） | ブラッグ反射器共振子は放熱性があり耐電力性が高い。一方でブラッグ反射器の低音響インピーダンス層には主に非晶質のSiO2を用いるため、その上に単結晶圧電薄膜を成長させることは不可能である。そこで本研究では高い圧電性を持つチタン酸鉛の単結晶薄膜をブラッグ反射器上に転写した新たな共振子を報告する。 |
| （英） | Bragg reflector type resonators have good heat dissipation and high electrical resistance. On the other hand, it is impossible to grow a single crystal piezoelectric thin film on the low acoustic impedance layer of the Bragg reflector, which is mainly made of amorphous SiO2. In this study, we report a new resonator with a transferred lead titanate epitaxial films which has high piezoelectricity. | |
| キーワード | （和） | 圧電薄膜 / ブラッグ反射器 / 共振子 / チタン酸鉛 / / / / |
| （英） | Piezoelectric Thin Films / Bragg Reflector / Resonator / Lead Titanate / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 124, no. 96, MW2024-43, pp. 56-57, 2024年7月. | |
| 資料番号 | MW2024-43 | |
| 発行日 | 2024-07-04 (EMT, MW, OPE, EST, MWPTHz) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | EMT2024-19 MW2024-43 OPE2024-22 EST2024-20 MWPTHz2024-26 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | MW EMT OPE MWPTHz EST IEE-EMT |
| 開催期間 | 2024-07-11 - 2024-07-12 |
| 開催地（和） | 小樽市民会館 |
| 開催地（英） | otaru-shimin-kaikan |
| テーマ（和） | 光・電波ワークショップ |
| テーマ（英） | Workshop on Optical and Microwave technologies |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | MW |
| 会議コード | 2024-07-MW-EMT-OPE-MWPTHz-EST-EMT |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | GHz帯RFフィルタに向けたチタン酸鉛エピ薄膜共振子 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Lead Titanate Epitaxial Thin Film Resonator for GHz-Band RF Filters |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 圧電薄膜 / Piezoelectric Thin Films |
| キーワード(2)（和/英） | ブラッグ反射器 / Bragg Reflector |
| キーワード(3)（和/英） | 共振子 / Resonator |
| キーワード(4)（和/英） | チタン酸鉛 / Lead Titanate |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 下山 航 / Wataru Shimoyama / シモヤマ ワタル |
| 第1著者 所属（和/英） | 早稲田大学 (略称： 早大) Waseda University (略称： Waseda Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 島野 耀康 / Yohkoh Shimano / シマノ ヨウコウ |
| 第2著者 所属（和/英） | 早稲田大学 (略称： 早大) Waseda University (略称： Waseda Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 柳谷 隆彦 / Takahiko Yanagitani / ヤナギタニ タカヒコ |
| 第3著者 所属（和/英） | 早稲田大学 (略称： 早大) Waseda University (略称： Waseda Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2024-07-11 16:50:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | MW |
| 資料番号 | EMT2024-19, MW2024-43, OPE2024-22, EST2024-20, MWPTHz2024-26 |
| 巻番号（vol） | vol.124 |
| 号番号（no） | no.95(EMT), no.96(MW), no.97(OPE), no.98(EST), no.99(MWPTHz) |
| ページ範囲 | pp.56-57 |
| ページ数 | 2 |
| 発行日 | 2024-07-04 (EMT, MW, OPE, EST, MWPTHz) |
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