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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2024-08-29 14:20 Si-Al2O3界面にSiO2薄膜層を導入したアルミナ膜のSi表面パッシベーション評価 ○渡邊良祐・安田啓人・島田 透（弘前大）・斎藤洋司（成蹊大）  R2024-14 EMD2024-8 CPM2024-24 OPE2024-64 LQE2024-11 |
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| 抄録 | （和） | ゾルゲル法で作製したAl2O3パッシベーション膜によるSi基板の表面パッシベーションに関する研究を行っている．Si-Al2O3界面にSiO2薄膜層を導入し，SiO2膜厚，キャリアライフタイム，C-V，AFM，FT-IR測定評価を行った．SiO2膜厚の違いによって，p-Si基板表面がアルミナ膜から受けるパッシベーション効果に変化が見られた．またSiO2膜の熱酸化温度によってSi-O-Siの結合成分が変化した． |
| （英） | (Not available yet) | |
| キーワード | （和） | ゾルゲル / パッシベーション膜 / シリコン太陽電池 / / / / / |
| （英） | Sol-gel / passivation films / silicon solar cells / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 124, no. 169, CPM2024-24, pp. 9-12, 2024年8月. | |
| 資料番号 | CPM2024-24 | |
| 発行日 | 2024-08-22 (R, EMD, CPM, OPE, LQE) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | R2024-14 EMD2024-8 CPM2024-24 OPE2024-64 LQE2024-11 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM LQE OPE EMD R |
| 開催期間 | 2024-08-29 - 2024-08-30 |
| 開催地（和） | 弘前大学文京町地区キャンパス 創立50周年記念会館 |
| 開催地（英） | Hirosaki University |
| テーマ（和） | 受光素子，変調器，光部品・電子デバイス実装・信頼性，及び一般 |
| テーマ（英） | Photodetectors, Modulators, Optical Electrical device packaging and reliability |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | CPM |
| 会議コード | 2024-08-CPM-LQE-OPE-EMD-R |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | Si-Al2O3界面にSiO2薄膜層を導入したアルミナ膜のSi表面パッシベーション評価 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Evaluation of surface passivation properties of alumina films with SiO2 thin interlayer between Si-Al2O3 interface |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | ゾルゲル / Sol-gel |
| キーワード(2)（和/英） | パッシベーション膜 / passivation films |
| キーワード(3)（和/英） | シリコン太陽電池 / silicon solar cells |
| キーワード(4)（和/英） | / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 渡邊 良祐 / Ryosuke Watanabe / ワタナベ リョウスケ |
| 第1著者 所属（和/英） | 弘前大学 (略称： 弘前大) Hirosaki University (略称： Hirosaki Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 安田 啓人 / Keito Yasuda / ヤスダ ケイト |
| 第2著者 所属（和/英） | 弘前大学 (略称： 弘前大) Hirosaki University (略称： Hirosaki Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 島田 透 / Toru Shimada / シマダ トオル |
| 第3著者 所属（和/英） | 弘前大学 (略称： 弘前大) Hirosaki University (略称： Hirosaki Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 斎藤 洋司 / Yoji Saito / サイトウ ヨウジ |
| 第4著者 所属（和/英） | 成蹊大学 (略称： 成蹊大) Seikei University (略称： Seikei Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2024-08-29 14:20:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | CPM |
| 資料番号 | R2024-14, EMD2024-8, CPM2024-24, OPE2024-64, LQE2024-11 |
| 巻番号（vol） | vol.124 |
| 号番号（no） | no.167(R), no.168(EMD), no.169(CPM), no.170(OPE), no.171(LQE) |
| ページ範囲 | pp.9-12 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2024-08-22 (R, EMD, CPM, OPE, LQE) |
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