| 電子情報通信学会 研究会発表申込システム 講演論文 詳細 |
技報閲覧サービス [ログイン] 技報アーカイブ |
| トップに戻る | 前のページに戻る | [Japanese] / [English] |
| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2024-08-30 13:40 チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)の長期絶縁破壊(TDDB)における機械的応力の影響 ○門田 靖・原田慎一（リコー）  R2024-25 EMD2024-19 CPM2024-35 OPE2024-75 LQE2024-22 |
|
| 抄録 | （和） | チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)は圧電体の中でも高い圧電性を有することから、様々なMicro Electro Mechanical Systems (MEMS) デバイスへと応用されている．MEMSデバイスの真性故障は，主にPZT膜で生じる絶縁破壊に律速される。PZT膜へのストレス因子としては温度と電圧であることは様々な報告から明らかである．PZT膜で絶縁破壊が生じる故障メカニズムに関しては，Ion-Driftモデルが提唱されているが，筆者らはいくつかのPZTには実験的に適用できないとの結果を得ることができた. ここでは、PZT膜の故障メカニズムとして機械的ストレスと電気的ストレスが融合したMechanical＆Electrical Combine modelモデルを考察した．このモデルは，電特性起因で発生する応力によりCrack及びVoidが発生し，その部分に繰り返し部分放電電流が流れ，放電ダメージ及び機械的ダメージが相互に反応することにより，最終的に絶縁破壊に至るメカニズムであると提案する． |
| （英） | Lead zirconate titanate (PZT) is one of the highest performance ferroelectric materials and has been applied to many systems as Micro Electro-Mechanical Systems (MEMS) devices due to its piezoelectric performance. Various research organizations have reported that the intrinsic failure of MEMS devices is long-term dielectric breakdown (TDDB) caused by temperature and voltage. However, the Ion (Hole)-Drift model was proposed as a detailed failure mechanism for TDDB, but the authors obtained experimental results that it is not applicable to some PZTs, and considered the Mechanical and Electrical Combine model, which combines mechanical and electrical stresses. Combine model, which combines mechanical and electrical stresses, have been developed. This model is based on a mechanism in which cracks and voids are generated not by stresses generated by external forces, but by stresses generated by piezoelectric characteristics, and partial discharge current repeatedly flows in these areas, leading to dielectric breakdown due to the combined progress of reactions caused by discharge damage and mechanical damage. Even in this known failure mechanism, we believe that other factors may have an influence. | |
| キーワード | （和） | 圧電膜 / チタン酸ジルコン酸鉛(PZT) / 長期絶縁破壊モデル / 機械的応力 / / / / |
| （英） | Piezoelectric film / lead zirconate titanate (PZT) / long-term dielectric breakdown model / mechanical stress / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 124, no. 167, R2024-25, pp. 61-66, 2024年8月. | |
| 資料番号 | R2024-25 | |
| 発行日 | 2024-08-22 (R, EMD, CPM, OPE, LQE) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | R2024-25 EMD2024-19 CPM2024-35 OPE2024-75 LQE2024-22 |
|
| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM LQE OPE EMD R |
| 開催期間 | 2024-08-29 - 2024-08-30 |
| 開催地（和） | 弘前大学文京町地区キャンパス 創立50周年記念会館 |
| 開催地（英） | Hirosaki University |
| テーマ（和） | 受光素子，変調器，光部品・電子デバイス実装・信頼性，及び一般 |
| テーマ（英） | Photodetectors, Modulators, Optical Electrical device packaging and reliability |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | R |
| 会議コード | 2024-08-CPM-LQE-OPE-EMD-R |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)の長期絶縁破壊(TDDB)における機械的応力の影響 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Effect of mechanical stress on long-term dielectric breakdown (TDDB) of lead zirconate titanate (PZT) |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 圧電膜 / Piezoelectric film |
| キーワード(2)（和/英） | チタン酸ジルコン酸鉛(PZT) / lead zirconate titanate (PZT) |
| キーワード(3)（和/英） | 長期絶縁破壊モデル / long-term dielectric breakdown model |
| キーワード(4)（和/英） | 機械的応力 / mechanical stress |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 門田 靖 / Yasushi Kadota / カドタ ヤスシ |
| 第1著者 所属（和/英） | (株)リコー 先端技術研究所 (略称： リコー) Advanced technology R&D Division, Ricoh Company, Ltd. (略称： RICOH) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 原田 慎一 / Shinichi Harada / |
| 第2著者 所属（和/英） | (株)リコー 先端技術研究所 (略称： リコー) Advanced technology R&D Division, Ricoh Company, Ltd. (略称： RICOH) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2024-08-30 13:40:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | R |
| 資料番号 | R2024-25, EMD2024-19, CPM2024-35, OPE2024-75, LQE2024-22 |
| 巻番号（vol） | vol.124 |
| 号番号（no） | no.167(R), no.168(EMD), no.169(CPM), no.170(OPE), no.171(LQE) |
| ページ範囲 | pp.61-66 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2024-08-22 (R, EMD, CPM, OPE, LQE) |
[研究会発表申込システムのトップページに戻る]