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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2024-08-30 12:40 ［招待講演］先端集積回路配線技術の動向とグラフェンの応用 ○上野和良（芝浦工大）  R2024-24 EMD2024-18 CPM2024-34 OPE2024-74 LQE2024-21 |
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| 抄録 | （和） | 最小配線幅が10nm以下となる2nmノード以降の配線では，現在用いられている銅配線の抵抗上昇やエレクトロマイグレーション（EM）信頼性劣化の問題から，銅配線を延命する技術と銅の代替材料のルテニウム(Ru)などの新材料配線技術の研究開発が並行して進められている．本稿ではその動向を概説するとともに，我々が研究を行ってきたグラフェンの配線やRFデバイスへの応用に関する研究を紹介する． |
| （英） | For LSI interconnects beyond the 2nm-node, where the minimum interconnect width will be 10nm or less, the problems of increased resistance and degradation of electromigration (EM) reliability of the currently used copper (Cu) interconnects have led to the use of technology to extend the Cu interconnects or ruthenium (Ru), an alternative material to Cu. Research and development of new material technology such as Ru is being carried out in parallel. In this paper, I will outline this trend and introduce our research on the application of graphene to interconnects and RF devices. | |
| キーワード | （和） | 集積回路 / 配線技術 / 多層グラフェン / RFデバイス / / / / |
| （英） | Integrated Circuit / Interconnect / Multilayer graphene / RF Device / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 124, no. 167, R2024-24, pp. 55-60, 2024年8月. | |
| 資料番号 | R2024-24 | |
| 発行日 | 2024-08-22 (R, EMD, CPM, OPE, LQE) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | R2024-24 EMD2024-18 CPM2024-34 OPE2024-74 LQE2024-21 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM LQE OPE EMD R |
| 開催期間 | 2024-08-29 - 2024-08-30 |
| 開催地（和） | 弘前大学文京町地区キャンパス 創立50周年記念会館 |
| 開催地（英） | Hirosaki University |
| テーマ（和） | 受光素子，変調器，光部品・電子デバイス実装・信頼性，及び一般 |
| テーマ（英） | Photodetectors, Modulators, Optical Electrical device packaging and reliability |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | R |
| 会議コード | 2024-08-CPM-LQE-OPE-EMD-R |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 先端集積回路配線技術の動向とグラフェンの応用 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Trends in Advanced LSI Interconnect Technology and Applications of Graphene |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 集積回路 / Integrated Circuit |
| キーワード(2)（和/英） | 配線技術 / Interconnect |
| キーワード(3)（和/英） | 多層グラフェン / Multilayer graphene |
| キーワード(4)（和/英） | RFデバイス / RF Device |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 上野 和良 / Kazuyoshi Ueno / ウエノ カズヨシ |
| 第1著者 所属（和/英） | 芝浦工業大学 (略称： 芝浦工大) Shibaura Institute of Technology (略称： SIT) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2024-08-30 12:40:00 |
| 発表時間 | 60分 |
| 申込先研究会 | R |
| 資料番号 | R2024-24, EMD2024-18, CPM2024-34, OPE2024-74, LQE2024-21 |
| 巻番号（vol） | vol.124 |
| 号番号（no） | no.167(R), no.168(EMD), no.169(CPM), no.170(OPE), no.171(LQE) |
| ページ範囲 | pp.55-60 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2024-08-22 (R, EMD, CPM, OPE, LQE) |
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