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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2024-10-24 16:20 インピーダンス計測プラットフォームを用いたSiトレンチキャパシタの統計的容量計測 ○西牧良弥・齊藤宏河・間脇武蔵・黒田理人（東北大）  SDM2024-52 |
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| 抄録 | （和） | 本稿では，二次元アレイ状に形成された被測定素子(DUT)の容量特性を高速・高精度かつ統計的に計測可能な，インピーダンス計測プラットフォームを用いたSiトレンチキャパシタの統計的容量計測について報告する．トレンチキャパシタはSi基板上に溝を掘ることで表面積を拡大した三次元構造のキャパシタである．本プラットフォームにトレンチキャパシタを被測定素子として形成し，fFからpFオーダーの統計的容量計測を実証した．また，異なる構造を有するトレンチキャパシタを計測し，被測定素子のプロセス構造が本プラットフォームの容量計測技術に及ぼす影響を検証した． |
| （英） | A statistical capacitance evaluation of Si trench capacitors using the impedance measurement platform that enables high-speed and high-precision statistical capacitance measurement of device under tests (DUTs) formed in a 2D array is presented. Si trench capacitor is a 3D structured capacitor with enlarged surface areas formed by etching Si substrate compared to a planar capacitor. We formed Si trench capacitors on this platform as DUTs and achieved statistical capacitance measurements in the fF to pF range. In addition, we measured Si trench capacitors with different structures, and discussed the effect of the DUT structure on capacitance measurements. | |
| キーワード | （和） | 容量計測 / トレンチキャパシタ / アレイテスト回路 / プラットフォーム / / / / |
| （英） | Capacitance Measurement / Trench Capacitor / Array Test Circuit / Platform / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 124, no. 222, SDM2024-52, pp. 34-37, 2024年10月. | |
| 資料番号 | SDM2024-52 | |
| 発行日 | 2024-10-17 (SDM) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | SDM2024-52 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
| 開催期間 | 2024-10-24 - 2024-10-24 |
| 開催地（和） | 東北大学未来情報産業研究館５Ｆ |
| 開催地（英） | NICHe, Tohoku Univ. |
| テーマ（和） | プロセス科学と新プロセス技術 |
| テーマ（英） | Process Science and New Process Technology |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | SDM |
| 会議コード | 2024-10-SDM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | インピーダンス計測プラットフォームを用いたSiトレンチキャパシタの統計的容量計測 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Statistical Capacitance Evaluation of Si Trench Capacitor Using Impedance Measurement Platform |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 容量計測 / Capacitance Measurement |
| キーワード(2)（和/英） | トレンチキャパシタ / Trench Capacitor |
| キーワード(3)（和/英） | アレイテスト回路 / Array Test Circuit |
| キーワード(4)（和/英） | プラットフォーム / Platform |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 西牧 良弥 / Ryoya Nishimaki / ニシマキ リョウヤ |
| 第1著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 齊藤 宏河 / Koga Saito / サイトウ コウガ |
| 第2著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 間脇 武蔵 / Takezo Mawaki / マワキ タケゾウ |
| 第3著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 黒田 理人 / Rihito Kuroda / クロダ リヒト |
| 第4著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2024-10-24 16:20:00 |
| 発表時間 | 20分 |
| 申込先研究会 | SDM |
| 資料番号 | SDM2024-52 |
| 巻番号（vol） | vol.124 |
| 号番号（no） | no.222 |
| ページ範囲 | pp.34-37 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2024-10-17 (SDM) |
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