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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2025-02-28 13:45 ナノチャネル酸化チタン薄膜トランジスタによるUVセンサの試作と評価 ○中澤孝輔・宮澤 諒・大塚魁人・三浦正範・有馬ボシールアハンマド・廣瀬文彦（山形大）  CPM2024-86 |
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| 抄録 | （和） | 紫外光は人体に良い影響と悪影響の両面があり、健康被害を防ぐために紫外光センサの実用化が期待されている。近年、オゾン層の破壊による紫外線の増加も関心を高めている。一方で、紫外線は殺菌や半導体製造などの産業分野でも利用されており、高感度・高効率・高信頼性のUVセンサが求められている。酸化チタン薄膜トランジスタ（TiO2-TFT）が紫外線照射時に高い感度を示すことが報告されているが、さらなる高感度化には最適な膜厚の特定が課題となっている。本研究では、室温で製膜を行い、膜厚とUV応答の関係を調査した。 |
| （英） | Ultraviolet light has both positive and negative effects on the human body, and the practical application of ultraviolet light sensors is expected to prevent health hazards. In recent years, the increase in ultraviolet radiation due to the depletion of the ozone layer has also been of growing interest. On the other hand, ultraviolet light is also used in industrial fields such as sterilization and semiconductor manufacturing, and UV sensors with high sensitivity, high efficiency, and high reliability are required. Titanium oxide thin-film transistors (TiO2-TFT) have been reported to exhibit high sensitivity under UV irradiation, but identifying the optimum film thickness is a challenge for further increasing sensitivity. In this study, we investigated the relationship between film thickness and UV response by forming films at room temperature. | |
| キーワード | （和） | UVセンサ / 室温原子層堆積法 / 酸化チタン / 酸化チタン薄膜トランジスタ / / / / |
| （英） | UV Sensor / Room temperature atomic layer deposition / titanium oxide / Titanium oxide thin-film transistor / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 124, no. 386, CPM2024-86, pp. 12-14, 2025年2月. | |
| 資料番号 | CPM2024-86 | |
| 発行日 | 2025-02-21 (CPM) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | CPM2024-86 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
| 開催期間 | 2025-02-28 - 2025-02-28 |
| 開催地（和） | 日大駿河台キャンパス（S403（タワースコラ403室）) |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 電子部品材料 若手ミーティング |
| テーマ（英） | Young researcher meeting for Components and their materials |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | CPM |
| 会議コード | 2025-02-CPM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | ナノチャネル酸化チタン薄膜トランジスタによるUVセンサの試作と評価 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Test fabrication of UV sensors using nanometer thick TiO2 thin-film transistors |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | UVセンサ / UV Sensor |
| キーワード(2)（和/英） | 室温原子層堆積法 / Room temperature atomic layer deposition |
| キーワード(3)（和/英） | 酸化チタン / titanium oxide |
| キーワード(4)（和/英） | 酸化チタン薄膜トランジスタ / Titanium oxide thin-film transistor |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 中澤 孝輔 / Kyosuke Nakazawa / ナカザワ キョウスケ |
| 第1著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 宮澤 諒 / Ryo Miyazawa / ミヤザワ リョウ |
| 第2著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 大塚 魁人 / Kaito Otsuka / オオツカ カイト |
| 第3著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 三浦 正範 / Masanori Miura / ミウラ マサノリ |
| 第4著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 有馬 ボシールアハンマド / Bashir Ahmmad / アリマ ボシールアハンマド |
| 第5著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 廣瀬 文彦 / Fumihiko Hirose / ヒロセ フミヒコ |
| 第6著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2025-02-28 13:45:00 |
| 発表時間 | 15分 |
| 申込先研究会 | CPM |
| 資料番号 | CPM2024-86 |
| 巻番号（vol） | vol.124 |
| 号番号（no） | no.386 |
| ページ範囲 | pp.12-14 |
| ページ数 | 3 |
| 発行日 | 2025-02-21 (CPM) |
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