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| 講演名 | 2025-11-14 14:30 有機無機積層ガスバリア膜の試作と評価 ○國分耀義・宮澤 諒・三浦正範・廣瀬文彦（山形大）  EE2025-26 CPM2025-47 OME2025-27 |
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| 抄録 | （和） | 有機エレクトロニクスの長寿命化には、酸素や水蒸気の侵入を防ぐガスバリア封止が不可欠である。本研究では、室温原子層堆積（RT-ALD）法による無機酸化物膜（(Al2O3, TiO2）と有機膜（PMMA, レジスト）を組み合わせた、総厚30 nmの有機無機積層ガスバリア膜を作製し、その耐腐食性を塩酸腐食試験により評価した。結果、有機膜を中間層および最表層に配置した積層構造は、無機単層膜を上回る耐腐食性を示した。Al2O3/TiO2無機積層膜と有機膜の組み合わせにより、基準の耐腐食時間60分を達成した。また、有機膜としてレジストを導入したところ、PMMAを超える耐腐食性を確認した。本結果は、有機無機積層構造が有機エレクトロニクス用ガスバリア膜として有望であることを実証するものである。 |
| （英） | (Not available yet) | |
| キーワード | （和） | ガスバリア / 原子層堆積法 / 有機膜 / 塩酸腐食試験 / レジスト / / / |
| （英） | / / / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 125, no. 251, CPM2025-47, pp. 13-16, 2025年11月. | |
| 資料番号 | CPM2025-47 | |
| 発行日 | 2025-11-07 (EE, CPM, OME) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | EE2025-26 CPM2025-47 OME2025-27 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | EE OME CPM |
| 開催期間 | 2025-11-14 - 2025-11-14 |
| 開催地（和） | 山形大学工学部米沢キャンパス 有機EL研究センター（10号館） 4F大会議室 |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | エネルギー技術，半導体電力変換，電池，電気化学デバイス，材料，一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | CPM |
| 会議コード | 2025-11-EE-OME-CPM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 有機無機積層ガスバリア膜の試作と評価 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Fabrication of Organic-Inorganic Multilayer Gas Barrier Films |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | ガスバリア / |
| キーワード(2)（和/英） | 原子層堆積法 / |
| キーワード(3)（和/英） | 有機膜 / |
| キーワード(4)（和/英） | 塩酸腐食試験 / |
| キーワード(5)（和/英） | レジスト / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 國分 耀義 / Akiyoshi Kokubun / コクブン アキヨシ |
| 第1著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 宮澤 諒 / Ryo Miyazawa / ミヤザワ リョウ |
| 第2著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 三浦 正範 / Masanori Miura / ミウラ マサノリ |
| 第3著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 廣瀬 文彦 / Fumihiko Hirose / ヒロセ フミヒコ |
| 第4著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2025-11-14 14:30:00 |
| 発表時間 | 30分 |
| 申込先研究会 | CPM |
| 資料番号 | EE2025-26, CPM2025-47, OME2025-27 |
| 巻番号（vol） | vol.125 |
| 号番号（no） | no.250(EE), no.251(CPM), no.252(OME) |
| ページ範囲 | pp.13-16 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2025-11-07 (EE, CPM, OME) |
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