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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2025-11-14 14:00 アルゴンプラズマ励起法による酸化亜鉛原子層堆積膜の低温結晶化 ○小澤孝介・宮澤 諒・三浦正範・廣瀬文彦（山形大）  EE2025-25 CPM2025-46 OME2025-26 |
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| 抄録 | （和） | 酸化亜鉛(ZnO)は透明導電膜トランジスタやセンサに用いられており、フィルム上に形成できるとフレキシブルデバイスとしての応用が期待されるが、低温での結晶化が課題となっている。本研究では、低温結晶化を目的に、室温原子層堆積法(ALD)の各サイクル中に加湿アルゴンプラズマ処理で結晶化を促す方法を試みた。その結果、成膜後のプラズマ後処理法を上回る多結晶化を室温で達成した。さらに、膜成長率は従来法の約4倍に増大したが、組成分析により不純物の影響ではないと推定された。本プロセスがZnO薄膜の低温・高速・高品質成膜に極めて有効であることが示された。 |
| （英） | (Not available yet) | |
| キーワード | （和） | 室温原子層堆積法 / 低温結晶化 / アルゴンプラズマ / ZnO / / / / |
| （英） | / / / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 125, no. 251, CPM2025-46, pp. 9-12, 2025年11月. | |
| 資料番号 | CPM2025-46 | |
| 発行日 | 2025-11-07 (EE, CPM, OME) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | EE2025-25 CPM2025-46 OME2025-26 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | EE OME CPM |
| 開催期間 | 2025-11-14 - 2025-11-14 |
| 開催地（和） | 山形大学工学部米沢キャンパス 有機EL研究センター（10号館） 4F大会議室 |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | エネルギー技術，半導体電力変換，電池，電気化学デバイス，材料，一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | CPM |
| 会議コード | 2025-11-EE-OME-CPM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | アルゴンプラズマ励起法による酸化亜鉛原子層堆積膜の低温結晶化 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Low temperature crystallization of zinc oxide thin films deposited by RT ALD with in-situ Argon plasma process |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 室温原子層堆積法 / |
| キーワード(2)（和/英） | 低温結晶化 / |
| キーワード(3)（和/英） | アルゴンプラズマ / |
| キーワード(4)（和/英） | ZnO / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 小澤 孝介 / Kosuke Ozawa / オザワ コウスケ |
| 第1著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 宮澤 諒 / Ryo Miyazawa / ミヤザワ リョウ |
| 第2著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 三浦 正範 / Masanori Miura / ミウラ マサノリ |
| 第3著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 廣瀬 文彦 / Fumihiko Hirose / ヒロセ フミヒコ |
| 第4著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2025-11-14 14:00:00 |
| 発表時間 | 30分 |
| 申込先研究会 | CPM |
| 資料番号 | EE2025-25, CPM2025-46, OME2025-26 |
| 巻番号（vol） | vol.125 |
| 号番号（no） | no.250(EE), no.251(CPM), no.252(OME) |
| ページ範囲 | pp.9-12 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2025-11-07 (EE, CPM, OME) |
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